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CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究
被引量：
1
1
作者
祝贵兵
池弘福
吴剑锋
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》
CAS
2012年第1期70-74,共5页
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升...
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升降温速率、进出炉速率,使硅片翘曲度降低,线宽非均匀性由±4%降低到±2%。
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关键词
CCD
热工艺
翘曲度
光刻条宽
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职称材料
拖带大型无动力船舶通过内河桥梁水域关键技术分析
被引量：
4
2
作者
高嫱
郭国平
刘成勇
《船海工程》
2011年第2期161-163,167,共4页
通过对大型无动力拖带船队的运动特点,内河桥梁水域通航环境的特点以及大型船队操纵的复杂性进行分析,以拖带5.7万t级无动力海船通过南京长江大桥为例,对大型无动力船拖带船队的拖船配置、拖带方式、起拖时机、拖带演习、拖航期间的安...
通过对大型无动力拖带船队的运动特点,内河桥梁水域通航环境的特点以及大型船队操纵的复杂性进行分析,以拖带5.7万t级无动力海船通过南京长江大桥为例,对大型无动力船拖带船队的拖船配置、拖带方式、起拖时机、拖带演习、拖航期间的安全维护、拖带作业的注意事项和应急预案等关键技术进行分析。
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关键词
大型无动力船体
内河桥梁水域
净空高度
净空宽度
拖带作业方式
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职称材料
拖带大型无动力船舶通过苏通大桥的风险与防范对策研究
被引量：
1
3
作者
鲍宏杨
《南通航运职业技术学院学报》
2016年第4期26-30,共5页
针对苏通大桥桥区水域通航环境复杂、拖带大型无动力船舶操纵性能受限的特点,文章分析了拖带大型无动力船舶通过苏通大桥时的通航风险及原因,并提出了相应的防范对策,以确保拖航编队通过苏通大桥时的安全。
关键词
大型无动力船舶
拖带
苏通大桥
风险
对策
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职称材料
题名
CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究
被引量：
1
1
作者
祝贵兵
池弘福
吴剑锋
机构
浙江海洋学院海运学院
浙江国际海运职业技术学院
出处
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》
CAS
2012年第1期70-74,共5页
基金
浙江省教育厅项目（Y201018962）
舟山市科技局项目（092020）
文摘
针对光刻线宽均匀性控制问题,研究了硅片翘曲度对光刻线宽均匀性的影响。采用翘曲度测试仪研究热工艺过程中硅片翘曲度的变化。研究结果表明,硅片翘曲度对线宽均匀性产生重要的影响,翘曲度大,则线宽均匀性降低。通过优化栅氧化工艺的升降温速率、进出炉速率,使硅片翘曲度降低,线宽非均匀性由±4%降低到±2%。
关键词
CCD
热工艺
翘曲度
光刻条宽
Keywords
unpowered
ship
mooring
security
analysis
分类号
U675.92 [交通运输工程—船舶及航道工程]
下载PDF
职称材料
题名
拖带大型无动力船舶通过内河桥梁水域关键技术分析
被引量：
4
2
作者
高嫱
郭国平
刘成勇
机构
武汉理工大学航运学院
出处
《船海工程》
2011年第2期161-163,167,共4页
文摘
通过对大型无动力拖带船队的运动特点,内河桥梁水域通航环境的特点以及大型船队操纵的复杂性进行分析,以拖带5.7万t级无动力海船通过南京长江大桥为例,对大型无动力船拖带船队的拖船配置、拖带方式、起拖时机、拖带演习、拖航期间的安全维护、拖带作业的注意事项和应急预案等关键技术进行分析。
关键词
大型无动力船体
内河桥梁水域
净空高度
净空宽度
拖带作业方式
Keywords
large-scale
unpowered
ship
bridge
areas
of
inland
waterways
clear
height
clear
width
towing
method
分类号
U675.93 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
拖带大型无动力船舶通过苏通大桥的风险与防范对策研究
被引量：
1
3
作者
鲍宏杨
机构
南通航运职业技术学院航海系
出处
《南通航运职业技术学院学报》
2016年第4期26-30,共5页
文摘
针对苏通大桥桥区水域通航环境复杂、拖带大型无动力船舶操纵性能受限的特点,文章分析了拖带大型无动力船舶通过苏通大桥时的通航风险及原因,并提出了相应的防范对策,以确保拖航编队通过苏通大桥时的安全。
关键词
大型无动力船舶
拖带
苏通大桥
风险
对策
Keywords
Large
unpowered
ship
Towing
Sutong
Bridge
Navigational
risk
Countermeasures
分类号
U676.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
CCD热工艺过程的硅片翘曲优化研究
祝贵兵
池弘福
吴剑锋
《浙江海洋学院学报（自然科学版）》
CAS
2012
1
下载PDF
职称材料
2
拖带大型无动力船舶通过内河桥梁水域关键技术分析
高嫱
郭国平
刘成勇
《船海工程》
2011
4
下载PDF
职称材料
3
拖带大型无动力船舶通过苏通大桥的风险与防范对策研究
鲍宏杨
《南通航运职业技术学院学报》
2016
1
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职称材料
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参考文献
引证文献
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