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M5211-6-UM 型立式硼扩散设备研制
1
作者 吴志明 郭浩 赵志然 《有色设备》 2023年第3期21-24,共4页
M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺,具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点。本文介绍了该型号设备的结构组成及性能,给出了能耗和工艺结果,结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平,具备产业化条件。
关键词 硼扩散 石英舟 方阻均匀性
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“SE+PERC”单晶硅太阳电池发射极方阻均匀性提升工艺的研究
2
作者 高荣刚 王丽婷 +3 位作者 周啸颖 王守志 韩林芝 张书 《太阳能》 2023年第10期45-54,共10页
针对“SE+PERC”单晶硅太阳电池制备过程中,管式扩散炉扩散后硅片发射极方阻均匀性差的问题,在扩散工艺的“预沉积”步骤设计小氮气(N_(2))流量、氧气(O_(2))流量、炉内压强参数变化实验,研究小N_(2)流量、O_(2)流量和炉内压强变化对发... 针对“SE+PERC”单晶硅太阳电池制备过程中,管式扩散炉扩散后硅片发射极方阻均匀性差的问题,在扩散工艺的“预沉积”步骤设计小氮气(N_(2))流量、氧气(O_(2))流量、炉内压强参数变化实验,研究小N_(2)流量、O_(2)流量和炉内压强变化对发射极方阻、方阻均匀性及太阳电池电性能的影响。研究结果表明:通过调整小N_(2)流量、O_(2)流量及扩散过程中的炉内压强可以有效提高发射极方阻均匀性,并提高太阳电池的光电转换效率。在小N_(2)流量为1000 sccm、O_(2)流量为600 sccm、炉内压强为80 kPa的工艺条件下可实现发射极的方阻均匀性最佳,均值为4.94%;此时“SE+PERC”单晶硅太阳电池的光电转换效率为23.11%。 展开更多
关键词 太阳电池 选择性发射极 钝化发射极背接触 管式扩散 气体流量 炉内压强 方阻均匀性 电性能
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