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高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究
被引量：
1
1
作者
张津
姚汉民
+1 位作者
唐小平
胡淞
《微细加工技术》
EI
1999年第3期35-40,共6页
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
关键词
逐场调焦调平
耦合传递矩阵
IC
光刻
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职称材料
无耦合空间移动并联机构型综合
被引量：
3
2
作者
张彦斌
赵浥夫
+2 位作者
李跃松
王增辉
丁丁
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期325-332,316,共9页
为解决利用一般型综合方法得到的并联机构具有强运动学耦合性的问题,基于驱动力螺旋理论提出了一种无耦合空间移动并联机构型综合的系统方法。首先建立了无耦合移动并联机构运动输入输出关系的数学模型;然后根据机构速度雅可比矩阵为对...
为解决利用一般型综合方法得到的并联机构具有强运动学耦合性的问题,基于驱动力螺旋理论提出了一种无耦合空间移动并联机构型综合的系统方法。首先建立了无耦合移动并联机构运动输入输出关系的数学模型;然后根据机构速度雅可比矩阵为对角阵的条件推导出分支运动链驱动力螺旋和主动运动螺旋的形式;再根据互易积原理建立了分支运动链非主动运动螺旋的确定方法,给出了分支运动链型综合准则和步骤;最后将所综合的3条分支运动链按照指定的配置方式将动平台和静平台连接起来即可得到具有预期运动特性的机构。本文共综合出60种具有对称结构的无耦合空间移动并联机构,其中非过约束机构有47种,含有惰性副的有29种。所得到的部分机构的雅可比矩阵为单位阵,且其条件数恒等于1。这些机构具有较好的运动和力学传递性能,进一步丰富和完善了并联机构的型综合理论。
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关键词
并联机构
型综合
驱动力螺旋理论
无耦合
雅可比矩阵
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职称材料
弹性矩形板下横观各向同性多层地基分析
被引量：
5
3
作者
艾智勇
曹国军
《岩土力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S2期59-63,共5页
利用弹性矩形板与多层地基表面的竖向位移协调条件与光滑接触条件,由横观各向同性多层地基应力与位移非耦合的传递矩阵解,推导出弹性矩形板下竖向应力和位移的解析解。在此基础上,编制了相应的程序,并进行了数值计算。计算结果表明:矩...
利用弹性矩形板与多层地基表面的竖向位移协调条件与光滑接触条件,由横观各向同性多层地基应力与位移非耦合的传递矩阵解,推导出弹性矩形板下竖向应力和位移的解析解。在此基础上,编制了相应的程序,并进行了数值计算。计算结果表明:矩形板刚度对板底竖向位移及板中心下的竖向应力有着较为显著的影响;板底竖向位移及板中心下的竖向应力随着板刚度的增加而减小,相同荷载作用下横观各向同性地基与均匀各向同性地基模型的计算结果差异较大,实际工程中很有必要采用更符合土体性质的横观各向同性地基模型。
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关键词
横观各向同性地基
弹性矩形板
非耦合传递矩阵
解析解
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职称材料
银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元的耦合
4
作者
唐飞
王帅
+2 位作者
陈宪锋
唐斌
巢小刚
《量子光学学报》
北大核心
2016年第1期88-92,共5页
利用传输矩阵研究了银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元(TPPs)的耦合态。我们的数值结果表明当光子晶体的周期数n>10时,存在两本征波长相同的非耦合Tamm等离子体极化激元(非耦合TPPs),当n≤10时,两非耦合Tamm等离子体极化...
利用传输矩阵研究了银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元(TPPs)的耦合态。我们的数值结果表明当光子晶体的周期数n>10时,存在两本征波长相同的非耦合Tamm等离子体极化激元(非耦合TPPs),当n≤10时,两非耦合Tamm等离子体极化激元发生耦合,劈裂成两本征波长不同的耦合Tamm等离子体极化激元。随着n的减小,两耦合Tamm等离子体极化激元(耦合TPPs)间的劈裂能量增大,当n=3时,劈裂能量达到287.5meV。从银-光子晶体-银结构中的实时电场分布可以得到:本征波长较长的耦合TPP由两非耦合TPPs对称耦合产生,而本征波长较短的耦合TPP由两非耦合TPPs反对称耦合产生。
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关键词
非耦合Tamm等离子体极化激元(非耦合TPP)
耦合Tamm等离子体极化激元(耦合TPP)
传输矩阵
对称耦合
反对称耦合
原文传递
题名
高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究
被引量：
1
1
作者
张津
姚汉民
唐小平
胡淞
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《微细加工技术》
EI
1999年第3期35-40,共6页
文摘
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
关键词
逐场调焦调平
耦合传递矩阵
IC
光刻
Keywords
Field
by
field
focusing
and
leveling
Coupling
transfer
matrix
uncoupling
matrix
uncoupl
e
control
分类号
TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
无耦合空间移动并联机构型综合
被引量：
3
2
作者
张彦斌
赵浥夫
李跃松
王增辉
丁丁
机构
河南科技大学机电工程学院
出处
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期325-332,316,共9页
基金
国家自然科学基金项目(50905055)
河南省高校科技创新团队支持计划项目(15IRTSTHN008)
+1 种基金
河南科技大学重大科技项目培育基金项目(2015XTD012)
河南科技大学研究生创新基金项目(CXJJ-2016-ZR03)
文摘
为解决利用一般型综合方法得到的并联机构具有强运动学耦合性的问题,基于驱动力螺旋理论提出了一种无耦合空间移动并联机构型综合的系统方法。首先建立了无耦合移动并联机构运动输入输出关系的数学模型;然后根据机构速度雅可比矩阵为对角阵的条件推导出分支运动链驱动力螺旋和主动运动螺旋的形式;再根据互易积原理建立了分支运动链非主动运动螺旋的确定方法,给出了分支运动链型综合准则和步骤;最后将所综合的3条分支运动链按照指定的配置方式将动平台和静平台连接起来即可得到具有预期运动特性的机构。本文共综合出60种具有对称结构的无耦合空间移动并联机构,其中非过约束机构有47种,含有惰性副的有29种。所得到的部分机构的雅可比矩阵为单位阵,且其条件数恒等于1。这些机构具有较好的运动和力学传递性能,进一步丰富和完善了并联机构的型综合理论。
关键词
并联机构
型综合
驱动力螺旋理论
无耦合
雅可比矩阵
Keywords
parallel
mechanism
structural
synthesis
actuation
wrench
screw
theory
uncoupl
ed
Jacobian
matrix
分类号
TH112 [机械工程—机械设计及理论]
TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
弹性矩形板下横观各向同性多层地基分析
被引量：
5
3
作者
艾智勇
曹国军
机构
同济大学地下建筑与工程系
同济大学教育部岩土及地下工程重点实验室
出处
《岩土力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第S2期59-63,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50578121)
文摘
利用弹性矩形板与多层地基表面的竖向位移协调条件与光滑接触条件,由横观各向同性多层地基应力与位移非耦合的传递矩阵解,推导出弹性矩形板下竖向应力和位移的解析解。在此基础上,编制了相应的程序,并进行了数值计算。计算结果表明:矩形板刚度对板底竖向位移及板中心下的竖向应力有着较为显著的影响;板底竖向位移及板中心下的竖向应力随着板刚度的增加而减小,相同荷载作用下横观各向同性地基与均匀各向同性地基模型的计算结果差异较大,实际工程中很有必要采用更符合土体性质的横观各向同性地基模型。
关键词
横观各向同性地基
弹性矩形板
非耦合传递矩阵
解析解
Keywords
transversely
isotropic
soil
elastic
rectangular
plate
uncoupl
ed
transfer
matrix
analytical
solution
分类号
P634.1 [天文地球—地质矿产勘探]
TU45 [天文地球—地质学]
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职称材料
题名
银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元的耦合
4
作者
唐飞
王帅
陈宪锋
唐斌
巢小刚
机构
常州大学数理学院
出处
《量子光学学报》
北大核心
2016年第1期88-92,共5页
基金
国家自然科学基金(61107055)
文摘
利用传输矩阵研究了银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元(TPPs)的耦合态。我们的数值结果表明当光子晶体的周期数n>10时,存在两本征波长相同的非耦合Tamm等离子体极化激元(非耦合TPPs),当n≤10时,两非耦合Tamm等离子体极化激元发生耦合,劈裂成两本征波长不同的耦合Tamm等离子体极化激元。随着n的减小,两耦合Tamm等离子体极化激元(耦合TPPs)间的劈裂能量增大,当n=3时,劈裂能量达到287.5meV。从银-光子晶体-银结构中的实时电场分布可以得到:本征波长较长的耦合TPP由两非耦合TPPs对称耦合产生,而本征波长较短的耦合TPP由两非耦合TPPs反对称耦合产生。
关键词
非耦合Tamm等离子体极化激元(非耦合TPP)
耦合Tamm等离子体极化激元(耦合TPP)
传输矩阵
对称耦合
反对称耦合
Keywords
uncoupl
ed
Tamm
plasmon
polariton（
uncoupl
ed
TPP）
coupled
Tam
plasmon
polariton（coupled
TPP）
transfer
matrix
symmetric
coupling
asymmetric
coupling
分类号
O437 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究
张津
姚汉民
唐小平
胡淞
《微细加工技术》
EI
1999
1
下载PDF
职称材料
2
无耦合空间移动并联机构型综合
张彦斌
赵浥夫
李跃松
王增辉
丁丁
《农业机械学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
3
弹性矩形板下横观各向同性多层地基分析
艾智勇
曹国军
《岩土力学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
下载PDF
职称材料
4
银-光子晶体-银结构中两Tamm等离子体极化激元的耦合
唐飞
王帅
陈宪锋
唐斌
巢小刚
《量子光学学报》
北大核心
2016
0
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