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新型激光加工微盲孔能力研究
1
作者 罗炜艳 曹子鲲 上官昌平 《印制电路信息》 2024年第10期1-10,共10页
现有CO_(2)激光无法满足印制电路板精细化布线对应的微小孔径加工要求,应开发其他类型激光钻孔。基于ABF、BT、PI这3种材料,探究355 nm纳秒紫外(Nano UV)、515 nm皮秒绿光(Pico Green)激光和248 nm ArF准分子激光3种激光加工微盲孔的能... 现有CO_(2)激光无法满足印制电路板精细化布线对应的微小孔径加工要求,应开发其他类型激光钻孔。基于ABF、BT、PI这3种材料,探究355 nm纳秒紫外(Nano UV)、515 nm皮秒绿光(Pico Green)激光和248 nm ArF准分子激光3种激光加工微盲孔的能力。综合分析激光加工后孔径、锥度、悬铜、玻纤突出等关键指标表现,结果显示:Nano UV和准分子激光基于ABF、BT 2种材料可加工最小孔径为10μm,基于PI材料可加工最小孔径为15μm;Pico Green基于3种材料可加工最小孔径均为15μm。但Nano UV属于紫外波段纳秒激光器,加工带玻纤材料不具备优势。Pico Green更适用于加工带玻纤和带铜箔材料且加工后表观良好无溅铜。同时,3种激光对板材热效应影响均小于CO_(2)激光,材料形变差异在0.01%左右,对于密集区微盲孔加工友好。 展开更多
关键词 高密度印制电路板 激光钻孔 Nano UV激光 Pico Green激光 准分子激光
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纯石英光纤的高功率紫外激光传输特性 被引量：4
2
作者 张国轩 李锡善 +4 位作者 徐世祥 董景兴 魏运荣 孙明武 高杞建 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第10期1068-1073,共6页
报道了几种国产阶跃型纯石英光纤在传输ＸｅＣｌ（３０８ｕｍ）准分子激光时的损耗特性及其破坏阈值的实验研究结果，同时也报道了这些光纤的弯曲损耗和弯曲断裂特性．结果表明，这些紫外级石英光纤，最小的透过损耗约为０．３３ｄＢ／... 报道了几种国产阶跃型纯石英光纤在传输ＸｅＣｌ（３０８ｕｍ）准分子激光时的损耗特性及其破坏阈值的实验研究结果，同时也报道了这些光纤的弯曲损耗和弯曲断裂特性．结果表明，这些紫外级石英光纤，最小的透过损耗约为０．３３ｄＢ／ｍ，表面破坏阈值约为１０Ｊ／ｃｍ２． 展开更多
关键词 石英玻璃 光纤 紫外激光 传输
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紫外准分子激光损伤典型光学材料的特性分析 被引量：2
3
作者 王玺 李志明 +1 位作者 谢运涛 聂劲松 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期692-698,共7页
根据已经建立的紫外准分子激光损伤典型光学材料的理论模型,研究了准分子激光对透明光学材料(石英玻璃)和非透明光学材料(K9玻璃)的损伤特性,并结合实验结果证实了理论模型的有效性。研究表明:在准分子激光对非透明光学材料辐照下,激光... 根据已经建立的紫外准分子激光损伤典型光学材料的理论模型,研究了准分子激光对透明光学材料(石英玻璃)和非透明光学材料(K9玻璃)的损伤特性,并结合实验结果证实了理论模型的有效性。研究表明:在准分子激光对非透明光学材料辐照下,激光光斑半径越大,产生的热应力和温度越小;脉宽越小,产生的热应力越大;随着脉冲数的增加,温度和热应力都逐渐增大。值得注意的是,当重频增加至45 Hz以上时,熔融损伤阈值开始低于应力损伤阈值,这说明当重频增加到一定程度时,非透明光学材料将首先产生熔融损伤,而不再是应力损伤。在准分子激光对透明光学材料辐照下,杂质微粒的半径和掩埋深度对光学材料温度场分布有着重要影响。但当杂质半径和掩埋深度超过一定的数值时,杂质粒子的存在与表面温度并无联系。理论模型能够较好地解释石英玻璃前/后表面相同的初始损伤形貌特征。 展开更多
关键词 激光损伤 紫外准分子激光 典型光学材料
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紫外超短脉冲的准分子激光放大技术
4
作者 张艳琳 游利兵 +4 位作者 王宏伟 王琪 胡泽雄 范军 方晓东 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期677-686,共10页
由于具有波长短、聚焦特性好、峰值功率高等优势,紫外超短脉冲在超快科学、强场物理等领域具有重要的应用价值。准分子激光工作气体作为增益介质在放大紫外超短脉冲方面具有独特的优势,利用准分子激光放大紫外超短脉冲获得高强度的激光... 由于具有波长短、聚焦特性好、峰值功率高等优势,紫外超短脉冲在超快科学、强场物理等领域具有重要的应用价值。准分子激光工作气体作为增益介质在放大紫外超短脉冲方面具有独特的优势,利用准分子激光放大紫外超短脉冲获得高强度的激光输出为紫外激光的应用提供了新的可能性。概括介绍了准分子激光放大的特点,进而基于准分子的放大特性分单元介绍了紫外超短准分子激光放大技术,并对深紫外超短脉冲脉宽的测量进行了简单阐述。 展开更多
关键词 激光技术 紫外超短脉冲 准分子激光放大 脉宽测量
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氟化氪短脉冲激光的放大和组束研究 被引量：3
5
作者 王钊 张骥 +4 位作者 李静 高智星 胡凤明 田宝贤 班晓娜 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期81-84,共4页
为充分利用氟化氪(KrF)准分子激光放大器的长泵浦时间,探索提高激光输出效率的方法,开展紫外超短脉冲在KrF准分子激光器中多脉冲放大和组束的实验研究。采用双脉冲放大方案研究激光脉冲时间间隔对输出能量的影响,确定延时时间,提高脉冲... 为充分利用氟化氪(KrF)准分子激光放大器的长泵浦时间,探索提高激光输出效率的方法,开展紫外超短脉冲在KrF准分子激光器中多脉冲放大和组束的实验研究。采用双脉冲放大方案研究激光脉冲时间间隔对输出能量的影响,确定延时时间,提高脉冲总能量并有效抑制自发辐射(ASE)。实现了单次放大4个紫外超短脉冲,获得了近4倍于单脉冲放大的输出能量。并探索紫外超短激光脉冲的组束技术,成功应用光学角多路的方法将两个亚皮秒的紫外激光脉冲进行精确组束。 展开更多
关键词 紫外超短激光 准分子激光 氟化氪激光 激光放大 脉冲组束
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步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法研究 被引量：1
6
作者 刘世元 吴小健 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1192-1197,共6页
提出了一种以生产率、剂量精度与激光器使用成本三者最佳匹配为优化目标的步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法及其数学模型,通过将激光器重复频率作为可调参量并引入有效脉冲个数的概念,获得了有效剂量区间内任意给定剂量所应采... 提出了一种以生产率、剂量精度与激光器使用成本三者最佳匹配为优化目标的步进扫描投影光刻机剂量控制参量优化新算法及其数学模型,通过将激光器重复频率作为可调参量并引入有效脉冲个数的概念,获得了有效剂量区间内任意给定剂量所应采取的优化策略并给出了剂量控制参量的具体计算方法。理论推导和模拟计算结果表明,新算法既保持了原算法在生产率和剂量精度优化方面的优势,又改进了原算法在激光器成本优化目标上的缺陷。随着准分子激光器及其剂量控制技术的进一步发展,新算法可望更能显示出其优越性并具有更广阔的应用前景。 展开更多
关键词 深紫外准分子激光 剂量控制 扫描曝光 光刻术 优化算法
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