超声喷雾法制备大面积太阳电池TCO膜及其工艺研究 被引量：3

1

作者 赵庚申 王庆章 +1 位作者 郭天勇 赵二刚 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1317-1321,共5页

对基于超声喷雾热分解工艺制备400 mm×400 mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,... 对基于超声喷雾热分解工艺制备400 mm×400 mm大面积太阳电池TCO膜和制备大面积SnO2∶F薄膜工艺作了研究,包括温度、掺杂比、酒精含量、载气流量和喷射距离等工艺参数对薄膜性能的影响。并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了5.96%。 展开更多

关键词 超声喷雾热分解 太阳电池TCO膜 掺氟二氧化锡薄膜 掺杂比

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衬底温度对超声喷雾法制备大面积绒面SnO_2：F薄膜特性影响的研究 被引量：2

2

作者 赵庚申 梁凯 +1 位作者 郭天勇 王庆章 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期758-761,共4页

详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温... 详细研究了衬底温度对超声喷雾热分解工艺制备的大面积绒面SnO2:F薄膜的影响和薄膜微结构与薄膜电学、光学性能之间的关系。试验曲线和SEM图的研究结果表明,将衬底温度从370℃提高到470℃以上薄膜结晶程度大大提高,晶粒尺寸明显增大;温度在470℃左右绒度达到13%。文章同时对超声喷雾热分解工艺制备大面积绒面SnO2:F薄膜做了工艺探索,并将实验制得的薄膜用于制备非晶硅薄膜电池,其效率达到了6.46%。 展开更多

关键词 太阳电池 绒面 SnO2:F薄膜 超声喷雾热分解

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衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究 被引量：13

3

作者 边继明 李效民 +1 位作者 高相东 于伟东 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期641-646,共6页

以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温... 以醋酸锌水溶液为前驱体,采用改进的超声喷雾热解法在Si(100)衬底上沉积ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明,在衬底温度为500℃下所得ZnO薄膜表面均匀光滑,属六方纤锌矿结构,且沿c轴择优生长,晶粒尺寸的为40～50nm;衬底温度对ZnO薄膜生长过程影响显著,随衬底温度的升高,薄膜生长速率存在一极限值,且ZnO薄膜的c轴取向趋势增强,晶粒尺寸得到细化. 展开更多

关键词 氧化锌 薄膜 超声雾化热分解

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超声喷雾热解法制备ZnO薄膜及性能研究 被引量：5

4

作者 周佳 韩高荣 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期576-579,共4页

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM）分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在450～500℃下制备的... 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液，使用自制的超声喷雾热解系统在玻璃基板上制备得到了ZnO薄膜。经X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM）分析得到ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌。测试结果表明，ZnO薄膜为六角纤锌矿结构，在450～500℃下制备的薄膜显示出良好的结晶性能，并且沿（002）晶面择优取向生长，薄膜具有优良的均匀性和致密性。同时，制备得到的薄膜在可见光区也表现出80％以上的高透过率。 展开更多

关键词 ZNO 超声喷雾热解法 取向生长 XRD

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衬底温度对ZnO纳米结构的影响 被引量：5

5

作者 张霞 张晓丹 +2 位作者 边楠 杨瑞霞 赵颖 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期200-203,共4页

利用超声喷雾热解(USP)技术,以普通玻璃为衬底,制备了不同衬底温度下的系列ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对ZnO结构的影响。结果表明,薄膜的微观结构随衬底温度变化显著。在410℃获得了ZnO纳米棒,纳米棒直径... 利用超声喷雾热解(USP)技术,以普通玻璃为衬底,制备了不同衬底温度下的系列ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对ZnO结构的影响。结果表明,薄膜的微观结构随衬底温度变化显著。在410℃获得了ZnO纳米棒,纳米棒直径在50 nm左右,沿c轴择优生长,结晶质量较好。 展开更多

关键词 超声喷雾热解(usp) ZNO纳米棒 衬底温度

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超声喷雾热解法制备ZnO:Eu薄膜 被引量：4

6

作者 李菁 张海明 +2 位作者 李芹 高波 朱彦君 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1367-1370,共4页

以醋酸锌（Zn（CH3COO）2）、氯化铕（EuCl3）水溶液为前驱体,采用超声喷雾热解（USP）方法在ITO导电玻璃衬底上沉积Eu掺杂ZnO（ZnO：Eu）薄膜。通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和光致发光（PL）谱对ZnO：Eu薄膜的形貌、结构和... 以醋酸锌（Zn（CH3COO）2）、氯化铕（EuCl3）水溶液为前驱体,采用超声喷雾热解（USP）方法在ITO导电玻璃衬底上沉积Eu掺杂ZnO（ZnO：Eu）薄膜。通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和光致发光（PL）谱对ZnO：Eu薄膜的形貌、结构和光学性质进行了研究。SEM测试结果表明,超声喷雾热解法制备的ZnO：Eu薄膜为致密的纳米颗粒薄膜,ZnO：Eu晶粒尺寸约在200~250 nm。XRD图谱表明,ZnO：Eu薄膜具有很好的六角纤锌矿结构,且在2θ=47.28°处出现Eu2O3的衍射峰。激发光谱表明,ZnO：Eu薄膜在280、373和393 nm处有较强的紫外吸收。PL谱表明,当用280 nm激发光激发时,ZnO：Eu薄膜在613 nm处具有较强的红光发射。 展开更多

关键词 Eu掺杂ZnO(ZnO:Eu)薄膜 超声喷雾热解(usp) 光致发光(PL)

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超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜 被引量：2

7

作者 温媛 杨成韬 张树人 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2007年第3期311-314,共4页

采用超声雾化气相沉积工艺,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在SiO2/Si衬底上成功的制备出ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌进行分析,发现随着衬底温度升高,ZnO薄膜c轴取... 采用超声雾化气相沉积工艺,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在SiO2/Si衬底上成功的制备出ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌进行分析,发现随着衬底温度升高,ZnO薄膜c轴取向趋势增强,表面趋于光滑平整。研究表明,在前驱体溶液浓度为0.1 mol/L,衬底温度为320℃,载气流量为0.1 L/min,喷口到衬底的距离为60 cm、沉积30 min的实验条件下,生长出的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,且具有的高度c轴取向。 展开更多

关键词 氧化锌 薄膜 超声雾化

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前驱体浓度对超声雾化热解法制备ZnO薄膜性能的影响 被引量：1

8

作者 周佳 韩高荣 李敏睿 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期120-122,共3页

采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制... 采用超声雾化技术,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在加热的玻璃衬底上制备得到ZnO薄膜。研究了不同前驱体溶液浓度和不同加热温度条件下制得的ZnO薄膜的微观结构和光学性能。测试结果表明,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,在合适的条件下可以制备出沿(002)晶面取向生长的样品,具有优良的均匀性和致密性。同时在可见光区也表现出80％以上的高透过率。 展开更多

关键词 ZNO 超声雾化热解法 取向生长

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竖直向上式喷雾热分解法制备ZnO薄膜及衬底温度对其性能的影响 被引量：1

9

作者 黎波 孟祥杰 任维义 《西华师范大学学报（自然科学版）》 2014年第1期63-67,共5页

以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用CQUT USP-Ⅱ型双源超声热解喷涂薄膜制备系统在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)和紫外-可见分光光度计测试了薄膜的晶体结构和光学性能,着重考察了衬底温度... 以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,使用CQUT USP-Ⅱ型双源超声热解喷涂薄膜制备系统在玻璃衬底上制备得到了温度在350℃到450℃范围内的ZnO薄膜.通过X射线衍射(XRD)和紫外-可见分光光度计测试了薄膜的晶体结构和光学性能,着重考察了衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响.结果表明:温度对薄膜质量的影响较大;制备的ZnO薄膜为六角铅锌矿结构,400℃时薄膜结晶性能好,沿c轴择优取向生长;所制备的薄膜在可见光区透过率高达86%以上,在紫外光区吸收强烈;最后,用Tauc关系计算了薄膜温度在350℃到450℃范围内的帯隙能量. 展开更多

关键词 ZNO薄膜 超声雾化热解法(usp) 微观结构 光学性质

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超声喷雾热解法制备CeO_2薄膜及性能研究 被引量：1

10

作者 刘晨 刘胜利 +2 位作者 王海云 程杰 李兴鳌 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3019-3024,共6页

以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温... 以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85%的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收。 展开更多

关键词 CEO2 择优生长取向 超声喷雾热解 透过率

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Cd_(1-x)Zn_xS薄膜结构表征与光电化学性能研究 被引量：1

11

作者 谢锐 郭烈锦 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期936-940,共5页

利用超声喷雾热分解方法在ITO导电玻璃上成功制备了高质量低成本的Cd1-xZnxS薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见光谱(UV-vis)等表征手段对其进行了结构、形貌和光学性质表征,并采用锁相放大技术研究了Cd1-xZnxS电极的... 利用超声喷雾热分解方法在ITO导电玻璃上成功制备了高质量低成本的Cd1-xZnxS薄膜,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见光谱(UV-vis)等表征手段对其进行了结构、形貌和光学性质表征,并采用锁相放大技术研究了Cd1-xZnxS电极的光电流作用谱图。结果表明,利用喷雾热分解方法能制备出结晶完好均匀致密的Cd1-xZnxS薄膜,其中CdS呈六角相,Cd1-xZnxS(0<x<1)为固溶体结构,随着Zn含量的增多Cd1-xZnxS的带隙线性增大。在0.1mol/L Na2SO3和0.1mol/L Na2S的混合电解质溶液中,0.3V(相对于饱和甘汞电极)电极电势下CdS具有最高的光电流转换效率(IPCE),在420nm处超过了20%。 展开更多

关键词 喷雾热分解 光电化学 硫锌镉 氢 半导体

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CdS薄膜结构表征与光电化学性能研究 被引量：1

12

作者 苏进展 李明涛 +1 位作者 张西民 郭烈锦 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第E02期568-573,共6页

以超声喷雾热分解方法成功地制备了低成本高质量的CdS薄膜，用XRD、SEM、拉曼光谱、紫外可见吸收光谱，研究了4个不同沉积温度下制备的CdS薄膜的结构性质，并对其进行光电化学产氢性能测试。实验发现，薄膜结晶程度随着沉积温度的升高... 以超声喷雾热分解方法成功地制备了低成本高质量的CdS薄膜，用XRD、SEM、拉曼光谱、紫外可见吸收光谱，研究了4个不同沉积温度下制备的CdS薄膜的结构性质，并对其进行光电化学产氢性能测试。实验发现，薄膜结晶程度随着沉积温度的升高而增加，但禁带宽度保持不变。SEM测试显示薄膜均匀致密。表明此方法是一种有效的半导体薄膜电极制备方法。光电化学活性随着沉积温度的升高先增大后减小，在300℃为最佳，在187mW/cm^2的光照下此温度制备的电极的光电流密度饱和值约为4．imA／cm^2，且在电极电势为-0．13V（vsSCE）处的能量转化效率为0．68％。 展开更多

关键词 喷雾热分解 光电化学 CDS 太阳能制氢

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用超声喷雾热分解法制备p型Zn_(1-x)Mg_xO薄膜

13

作者 边楠 张晓丹 +2 位作者 张霞 赵颖 杨瑞霞 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期196-199,共4页

利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3。系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂... 利用超声喷雾热分解(USP)技术,采用N-Al共掺法,在eagle2000衬底上制备出了电学特性较好的p型Zn0.93Mg0.07O薄膜:电阻率为18.43Ω.cm、迁移率是0.362 cm2/(V.s)、载流子浓度为1.24×1018cm-3。系统分析了前驱溶液中Al掺杂量或Mg掺杂量变化时对p型Zn1-xMgxO薄膜电学特性和结构特性的影响。紫外可见光透射测试表明:Zn1-xMgxO薄膜在紫外-可见光范围内的透过率达到了80%。 展开更多

关键词 超声喷雾热分解(usp) N-Al共掺 p型Zn1-xMgxO薄膜 透过率

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冰乙酸在超声喷雾热分解法制备ZnO薄膜中的作用

14

作者 焦宝臣 张晓丹 +2 位作者 魏长春 孙建 赵颖 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期540-544,共5页

采用超声喷雾热分解技术（USP）,以二水醋酸锌（Zn（CH3COO）2.2H2O）为原材料,在无碱玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。对前驱液pH值、ZnO薄膜结构特性、表面形貌、电学和光学特性的研究结果表明,冰乙酸对ZnO薄膜生长速率具有重要影响。X射线... 采用超声喷雾热分解技术（USP）,以二水醋酸锌（Zn（CH3COO）2.2H2O）为原材料,在无碱玻璃衬底上制备了ZnO薄膜。对前驱液pH值、ZnO薄膜结构特性、表面形貌、电学和光学特性的研究结果表明,冰乙酸对ZnO薄膜生长速率具有重要影响。X射线衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）测试显示,所有样品均未六角纤锌矿结构,呈（002）晶面择优生长;当冰乙酸掺入量大于0.02及其以上工艺条件时,获得的薄膜具有六角片状表面形貌;ZnO薄膜电阻率可达到10-1Ω.cm,同时在400~2 000 nm的宽谱范围内的透过率能够达到80%以上。 展开更多

关键词 超声喷雾热分解法(usp) ZNO 冰乙酸

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