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一种下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏装置 被引量：11
1
作者 卢耀文 李得天 +6 位作者 齐京 董云宁 王欢 闫睿 杨传森 延峰 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期1-5,共5页
为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s... 为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 累积比较法 标准气体流量 非线性
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质谱仪在空间行波管生产中的超灵敏度检漏应用 被引量：1
2
作者 刘晋允 赵世柯 +4 位作者 梁晓峰 于文杰 魏晶慧 于海兵 汪洋 《真空与低温》 2021年第3期214-217,共4页
保证极低的漏率是生产高可靠、长寿命空间行波管的必要条件。本文针对空间行波管微小漏孔常发生堵塞的问题,结合空间行波管的实际生产过程,在排气台上建立了一种超灵敏度检漏手段。通过漏率为1.8×10^(-8) Pa·m^(3)/s的标准漏... 保证极低的漏率是生产高可靠、长寿命空间行波管的必要条件。本文针对空间行波管微小漏孔常发生堵塞的问题,结合空间行波管的实际生产过程,在排气台上建立了一种超灵敏度检漏手段。通过漏率为1.8×10^(-8) Pa·m^(3)/s的标准漏孔和一支漏气的空间行波管对检漏性能和可靠性进行了测试与验证。结果表明,该系统的检漏下限为1.9×10^(-14) Pa·m^(3)/s,采用动态检漏法的检漏下限为8.3×10^(-12) Pa·m^(3)/s。上述超灵敏度检漏方法在生产过程中可有效地定位经烘烤后暴露出的漏孔,包括在大气环境下易堵塞的漏孔(10-10 Pa·m^(3)/s)、材料或焊缝缺陷导致的漏孔等,为完成高可靠空间行波管的封离提供有效保障。 展开更多
关键词 空间行波管 长寿命 超灵敏度检漏 四极质谱仪
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超灵敏度检漏仪校准技术进展
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作者 王汐月 卢耀文 +5 位作者 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期390-395,共6页
本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取... 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10−11 Pa·m^(3)/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10−14 Pa·m^(3)/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10−10~10−12)Pa·m^(3)/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10−16 Pa·m3/s范围内漏率,解决了目前超灵敏度检漏仪全量程的校准难题,将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内,提升了长寿命真空器件的可靠性。 展开更多
关键词 超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠
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超灵敏度真空检漏技术进展 被引量：2
4
作者 董云宁 闫睿 +11 位作者 梁进智 魏萌萌 余荣 崔健 崔玉妹 佟亚珍 王欢 王汐月 陈俊儒 杨传森 齐京 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期647-653,共7页
文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限... 文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m^(3)/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^(3)/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 展开更多
关键词 超灵敏度真空检漏 累积比较法 检漏下限 检漏精度 真空器件
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