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0.5m超薄镜主动支撑面形校正及实验
被引量：
11
1
作者
曾春梅
郭培基
余景池
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期570-578,共9页
为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证。分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确定了致...
为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证。分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确定了致动器作用力的优化目标,用求解非线性约束问题的优化算法——序列二次规划法计算了校正面形误差所需的致动器作用力,得到了超薄镜面形残余误差。仿真分析表明,对于归一化系数为1的初始球差、慧差、像散以及它们的叠加,用本文提供的致动器排布方式可以将面形误差校正到RMSλ/24以内,且对初级像散的校正能力最强,慧差和球差次之;竖直放置时的重力变形加上3种低阶像差的叠加也可被校正到RMSλ/24。在得到主动支撑的0.5m实验镜的初始面形结果后,重新计算了优化力和面形误差,结果表明,计算结果和实际装调结果基本一致,RMS约为λ/7。计算分析了超薄镜面形未能达到预期目标的原因,提出了适当增加致动器和提高超薄镜初始面形精度的改进方案,并最终使超薄镜面形达到RMSλ/20的要求。
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关键词
超薄镜
主动支撑
致动器
面形校正
序列二次规划法
有限元法
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职称材料
真空自励研磨抛光工艺的研究
被引量：
6
2
作者
张忠玉
王权陡
+1 位作者
周军
周德俭
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期238-241,共4页
详细地阐述了真空自励研磨抛光盘的工作方式、基本原理 ,并在对 12 0× 12 0mm厚径比小于 1/ 6 0的超薄镜面实际加工中 ,成功解决了磨头自身重力对工件变形的影响 ,降低了元件在加工中支撑要求 ,有效地解决了超薄元件的数控加工难题。
关键词
真空自励抛光盘
超薄镜
抛光
数字控制
空间光学系统
太空望远镜
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职称材料
题名
0.5m超薄镜主动支撑面形校正及实验
被引量：
11
1
作者
曾春梅
郭培基
余景池
机构
苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室
苏州大学现代光学技术研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第3期570-578,共9页
基金
江苏省高校自然科学研究计划资助项目(No.05KJA14003)
文摘
为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证。分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确定了致动器作用力的优化目标,用求解非线性约束问题的优化算法——序列二次规划法计算了校正面形误差所需的致动器作用力,得到了超薄镜面形残余误差。仿真分析表明,对于归一化系数为1的初始球差、慧差、像散以及它们的叠加,用本文提供的致动器排布方式可以将面形误差校正到RMSλ/24以内,且对初级像散的校正能力最强,慧差和球差次之;竖直放置时的重力变形加上3种低阶像差的叠加也可被校正到RMSλ/24。在得到主动支撑的0.5m实验镜的初始面形结果后,重新计算了优化力和面形误差,结果表明,计算结果和实际装调结果基本一致,RMS约为λ/7。计算分析了超薄镜面形未能达到预期目标的原因,提出了适当增加致动器和提高超薄镜初始面形精度的改进方案,并最终使超薄镜面形达到RMSλ/20的要求。
关键词
超薄镜
主动支撑
致动器
面形校正
序列二次规划法
有限元法
Keywords
ultra
-
thin
mirrors
active
support
actuator
figure
correction
Sequential
Quadratic
Programming
（SQP）
Finite
Element
Method（FEM）
分类号
TH751.1 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
真空自励研磨抛光工艺的研究
被引量：
6
2
作者
张忠玉
王权陡
周军
周德俭
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
驻二二八厂军代表室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001年第3期238-241,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 97780 2 7)
文摘
详细地阐述了真空自励研磨抛光盘的工作方式、基本原理 ,并在对 12 0× 12 0mm厚径比小于 1/ 6 0的超薄镜面实际加工中 ,成功解决了磨头自身重力对工件变形的影响 ,降低了元件在加工中支撑要求 ,有效地解决了超薄元件的数控加工难题。
关键词
真空自励抛光盘
超薄镜
抛光
数字控制
空间光学系统
太空望远镜
Keywords
vacuum
induced
lap
ultra
thin
mirrors
polishing
digital
control
分类号
TH751 [机械工程—仪器科学与技术]
TQ171.684 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
0.5m超薄镜主动支撑面形校正及实验
曾春梅
郭培基
余景池
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
11
下载PDF
职称材料
2
真空自励研磨抛光工艺的研究
张忠玉
王权陡
周军
周德俭
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2001
6
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职称材料
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