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超纯水电解加工机理及工艺基础 被引量:8
1
作者 鲍怀谦 徐家文 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期626-629,共4页
In order to develop green manufacturing and microfabrication,an innovative electrochemical machining method was introduced,that is the electrochemical machining(ECM)technology in ultra-pure water.The relative relation... In order to develop green manufacturing and microfabrication,an innovative electrochemical machining method was introduced,that is the electrochemical machining(ECM)technology in ultra-pure water.The relative relationship of water dissociation and current density under the function of strong acid cation exchange membrane was studied,and the mechanism of electrochemical machining in ultra-pure water was also explored.On the basis of theoretical analysis,the significance of two turning points of the voltage-current density characteristic curve was presented.As the result of water dissociation and machining experiments,the factors affecting current density were determined. 展开更多
关键词 超纯水 电解加工 阳离子交换膜
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超纯水微细电解加工的基础研究 被引量:4
2
作者 李颖 徐家文 彭思平 《电加工与模具》 2005年第3期27-29,共3页
简要介绍了离子交换树脂间超纯水的电离过程,试验研究了超纯水电解加工的机理和可行性,并对实验结果进行了探讨。
关键词 电解加工 超纯水 基础研究 微细 离子交换树脂 电离过程 试验研究
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用电去离子方法去除高纯水中硅的研究 被引量:7
3
作者 闻瑞梅 张亚峰 +1 位作者 邓守权 范伟 《工业水处理》 CAS CSCD 2004年第10期27-29,共3页
研究了电压、pH、流量等因素对EDI去除高纯水中硅的影响,探讨了EDI装置对高纯水中硅的去除机理,并对传统工艺与EDI的除硅效果进行了对比。实验结果表明:在pH、流量等因素不变的情况下,电压的增加有利于EDI对硅的脱除;在电压、流量等因... 研究了电压、pH、流量等因素对EDI去除高纯水中硅的影响,探讨了EDI装置对高纯水中硅的去除机理,并对传统工艺与EDI的除硅效果进行了对比。实验结果表明:在pH、流量等因素不变的情况下,电压的增加有利于EDI对硅的脱除;在电压、流量等因素不变的情况下,EDI对硅的脱除率随着pH的增加先增加,然后有所下降;在电压、pH等因素不变的情况下,流量的增加不利于EDI对硅的脱除。 展开更多
关键词 电去离子 高纯水
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实验室纯水系统设计经验 被引量:6
4
作者 王楹 张颖 《中国给水排水》 CAS CSCD 北大核心 2013年第18期97-99,共3页
针对目前国内科研实验室对纯水水质的高标准需求,结合实际工程设计,介绍了在实验室设计过程中应注意的事项,包括纯水的水质要求和制备方法,实验室纯水用量和储存,实验室纯水管路分配设计和管材选择以及在运行过程中的水质监控等,同时设... 针对目前国内科研实验室对纯水水质的高标准需求,结合实际工程设计,介绍了在实验室设计过程中应注意的事项,包括纯水的水质要求和制备方法,实验室纯水用量和储存,实验室纯水管路分配设计和管材选择以及在运行过程中的水质监控等,同时设计过程中还应该结合不同类型项目综合考虑上述各部分之间的关系并得出具体解决办法,同时满足业主要求和相关标准,为此类项目的纯水系统设计积累经验。 展开更多
关键词 实验室纯水系统 超纯水 反渗透 电去离子技术
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兆位电路用高纯水、气和化学试剂的质量控制 被引量:7
5
作者 闻瑞梅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第5期24-30,共7页
本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性能的影响,研究了半导体器件工艺中氯化氢、氨、氮及硅烷气体中氧、水、二氧化碳、总碳氢化物等杂质对VLSI... 本文阐述了高纯水、高纯气和高纯化学试剂的质量对兆位电路的影响,研究了高纯水中颗粒、金属、非金属、细菌以及总有机炭对VLSI性能的影响,研究了半导体器件工艺中氯化氢、氨、氮及硅烷气体中氧、水、二氧化碳、总碳氢化物等杂质对VLSI工艺的影响;研究了化学试剂中杂质对VLSI工艺的影响。 展开更多
关键词 纯水 纯气 化学试剂 集成电路 工艺
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ICP-MS快速检测超纯水中43种元素新方法
6
作者 余少丹 《广州化工》 CAS 2024年第1期122-125,共4页
电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)检测超纯水中43项超痕量金属杂质。将传统多仪器简化成一台ICP-MS,多次数实验减至一次,1天检验周期压缩至2 h。保证检验准确性及精密度的同时,达到降本增效的目的。实验结果证明:新检测方法实验校正曲线线... 电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)检测超纯水中43项超痕量金属杂质。将传统多仪器简化成一台ICP-MS,多次数实验减至一次,1天检验周期压缩至2 h。保证检验准确性及精密度的同时,达到降本增效的目的。实验结果证明:新检测方法实验校正曲线线性相关系数>0.999;检验回收率99.1%~104.8%;实验数据相对标准偏差<5%。该方法操作简便,分析速度快,结果准确可靠,可满足超纯水的43项元素快速检测需求。 展开更多
关键词 ICP-MS检测 超纯水 43项元素 快速检验 降本增效
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不同实验用水对高锰酸盐指数测定的影响 被引量:2
7
作者 王秋敏 张功能 冷喆 《绿色科技》 2023年第4期104-107,114,共5页
高锰酸盐指数能反映水中有机和无机还原性物质含量,是地表水监测的一项重要指标。但在测定高锰酸盐指数的时候可能会遇到停水、停电或其他原因导致的制水机故障,耽误实验进度。因此,有必要寻找测定高猛酸盐指数的替代用水。采用国标方法... 高锰酸盐指数能反映水中有机和无机还原性物质含量,是地表水监测的一项重要指标。但在测定高锰酸盐指数的时候可能会遇到停水、停电或其他原因导致的制水机故障,耽误实验进度。因此,有必要寻找测定高猛酸盐指数的替代用水。采用国标方法,分别在使用超纯水、纯水和市售纯净水3种用水的条件下测定标准样品的高锰酸盐指数,分析了用水对测定结果的影响。结果表明:不同实验用水测得的高锰酸盐指数结果无显著差异(P<0.05),3种实验用水在测定高锰酸盐指数的时候可以互相替代。研究结果可为常规监测高锰酸盐指数提供参考。 展开更多
关键词 高锰酸盐指数 纯水 超纯水 市售纯净水 标准样品
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模拟熟宣纸古旧字画修复过程中超纯水有限洗涤脱酸的研究 被引量:6
8
作者 欧美 李玉虎 邢慧萍 《文物保护与考古科学》 2011年第4期41-44,共4页
为了克服熟宣纸古旧书画修复后变脆的缺点,本工作以生宣纸制成的熟宣纸为样品,通过加速老化,模拟古旧字画现状,根据文物保护"最小介入原则",以超纯水为溶剂对样品进行缓慢有限洗涤脱酸实验。通过pH值、色差、耐折度的测定分... 为了克服熟宣纸古旧书画修复后变脆的缺点,本工作以生宣纸制成的熟宣纸为样品,通过加速老化,模拟古旧字画现状,根据文物保护"最小介入原则",以超纯水为溶剂对样品进行缓慢有限洗涤脱酸实验。通过pH值、色差、耐折度的测定分析得出,用超纯水针对熟宣纸脱酸,不引入新的杂质,且环保、低成本,减少了对古旧书画的损害。 展开更多
关键词 宣纸 超纯水 保护
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利用市政再生水制备超纯水的实验验证
9
作者 王永盛 王萌 《科学技术创新》 2023年第14期64-67,共4页
目前国内制备超纯水多采用“混凝+UF+RO+EDI”等处理工艺,原水一般是地表水或地下水,但是利用市政污水厂的再生水制备超纯水的研究和应用实属罕见。针对该地区再生水水质,建立了一套“臭氧均相氧化+RO+EDI”实验装置,其RO产水电导率<... 目前国内制备超纯水多采用“混凝+UF+RO+EDI”等处理工艺,原水一般是地表水或地下水,但是利用市政污水厂的再生水制备超纯水的研究和应用实属罕见。针对该地区再生水水质,建立了一套“臭氧均相氧化+RO+EDI”实验装置,其RO产水电导率<2.77μs/cm、EDI产水电阻率>18 MΩ·m,RO浓水和EDI极水可全部作为循环水场的补水。实验过程中有发现企业现有设备设施存在的缺陷,实验结果可用于指导将来工业化详细设计。 展开更多
关键词 再生水 超纯水 RO EDI 全膜法
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一步法生产高品质霜霉威盐酸盐水剂的工业化方法
10
作者 项磊 《科技创新与生产力》 2023年第12期105-107,共3页
本文回顾了霜霉威盐酸盐水剂的历史发展及其合成工艺路线,重点介绍了一步法高品质霜霉威盐酸盐水剂工业化生产工艺,分析和比较了该生产工艺的合理性与优越性。
关键词 霜霉威 霜霉威盐酸盐 一步法 超纯水 氮气 高品质
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基于双极膜水解离的超纯水电解加工研究 被引量:2
11
作者 刘云飞 朱荻 曲宁松 《电加工与模具》 2007年第3期24-26,65,共4页
研究了双极膜在超纯水中的工作特性,提出了应用双极膜水解离进行超纯水电解加工的方法,并进行了加工实验。结果表明:在强电场作用下,双极膜促使了水的解离,电流密度可达到2.8 A/cm2,实现了小孔的超纯水电解加工。
关键词 电解加工 双极膜 水解离 超纯水
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超纯水在稳态强磁场实验装置中的应用 被引量:2
12
作者 丁少华 欧阳峥嵘 《广州化工》 CAS 2010年第10期175-177,共3页
强磁场实验装置是国家发改委批准的国家"十一五"重大科技基础建设项目之一,是一项国家大科学工程,具有国际先进水平,可为众多学科领域的科学研究提供强磁场极端实验环境和实验手段的大型综合科学实验装置。中国科学院强磁场... 强磁场实验装置是国家发改委批准的国家"十一五"重大科技基础建设项目之一,是一项国家大科学工程,具有国际先进水平,可为众多学科领域的科学研究提供强磁场极端实验环境和实验手段的大型综合科学实验装置。中国科学院强磁场中心将与美国、法国、荷兰、日本并列成为世界五大稳态强磁场科学中心之一。超纯水冷却系统作为强磁场实验室的电源、水冷、低温、控制系统等四大技术装备系统重要组成部分,主要为40T(特斯拉)级稳态强磁场实验装置的水冷磁体和20MW(兆瓦)高功率高稳定度电源提供去离子水冷却系统。此外,为保证水质(电阻率)稳定性还专门设置了循环提纯系统。本项目中去离子水冷却系统充分体现了环保和节能的设计思路,其中包括反渗透系统(RO)浓缩水回收利用、NaOH自动精确投加,以及无酸碱废液排放的电再生去离子装置(CEDI)等。 展开更多
关键词 特斯拉 超纯水 提纯系统 材料污染 清洁施工 无酸碱废液排放
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用于高纯水制备中外压式毛细管超过滤器 被引量:2
13
作者 闻瑞梅 岩堀博 +1 位作者 桂常敦 高岷 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第5期105-108,共4页
本文介绍了外压式毛细管超过滤器的结构、性能,并与内压式毛细管超过滤器进行了对比。外压式毛细管超过滤器完全可以除去70 以上的胶体、二氧化硅、细菌和内毒素,是适应VLSI需要的最佳终端设备。
关键词 高纯水 外压式 超过滤器 集成电路
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超纯水制备 被引量:2
14
作者 张志坤 高学理 高从堦 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期79-82,共4页
采用预处理+2级反渗透+ED I+混床工艺制备超纯水。实验结果证明,出水Ca2+质量浓度小于2μg/L,Na+质量浓度小于5μg/L,S iO2质量浓度小于5μg/L,电阻率稳定在17 MΩ.cm,能满足生产要求。
关键词 超纯水 反渗透 电去离子 混床
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光伏行业超纯水制备工程实例 被引量:2
15
作者 乐晨 张其盛 +1 位作者 张林 钮成超 《南方农机》 2019年第22期229-230,233,共3页
文章针对光伏行业超纯水需求,以自来水为水源,设计采用盘式过滤+超滤+两级反渗透+EDI+抛光混床组合工艺,制备电阻率大于18MΩ·cm的超纯水应用于生产。采用盘式过滤及超滤降低自来水悬浮物浓度和浊度,利用两级反渗透进行初级脱盐并... 文章针对光伏行业超纯水需求,以自来水为水源,设计采用盘式过滤+超滤+两级反渗透+EDI+抛光混床组合工艺,制备电阻率大于18MΩ·cm的超纯水应用于生产。采用盘式过滤及超滤降低自来水悬浮物浓度和浊度,利用两级反渗透进行初级脱盐并去除COD,应用EDI技术进行深度脱盐,最后采用抛光混床进一步降低电导率。工程实际运行表明,该工艺流程较为合理,具有占地面积小、稳定性好、运行成本低等优点,最终所产纯水水质满足企业生产用水标准。 展开更多
关键词 光伏行业 超纯水 反渗透
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一种超纯水综采设备的改造及应用 被引量:2
16
作者 范艳霞 《陕西煤炭》 2020年第5期163-165,192,共4页
由于综采设备使用的乳化液用量大,对地下水资源和环境有危害,针对神东煤炭集团公司使用的综采设备进行改造,提出用超纯水替代乳化液,主要针对液压支架、泵站的改造和超纯水制备装置的购置,通过对相关综采设备的改造,经济和社会效益显著... 由于综采设备使用的乳化液用量大,对地下水资源和环境有危害,针对神东煤炭集团公司使用的综采设备进行改造,提出用超纯水替代乳化液,主要针对液压支架、泵站的改造和超纯水制备装置的购置,通过对相关综采设备的改造,经济和社会效益显著,达到了预期效果。 展开更多
关键词 超纯水 液压支架 泵站 改造 成本
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集成电路制造厂化学机械研磨废水回用技术 被引量:1
17
作者 王雯佳 章婷婷 《上海船舶运输科学研究所学报》 2019年第3期85-90,共6页
采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Aluminium Chloride,PAC)作为混凝剂,在添加浓度为0.5‰、反应pH值为8.0时,可有效降低化学机械研磨废水中溶解... 采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Aluminium Chloride,PAC)作为混凝剂,在添加浓度为0.5‰、反应pH值为8.0时,可有效降低化学机械研磨废水中溶解硅的初始浓度;配合板式膜过滤和反渗透工艺,最终产水的导电度小于50 μs/cm,浊度小于1.0 NTU,溶解硅浓度小于0.001‰。产水的水质优于自来水,可回用至超纯水系统作为超纯水制备的原水。 展开更多
关键词 化学机械研磨废水 混凝 板式膜 反渗透 回收水 超纯水
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超纯水水质要求与集成线路
18
作者 沈志平 《净水技术》 CAS 2002年第S1期95-96,共2页
介绍半导体及集成线路生产中的超纯水水质的要求,并介绍了ASTMD5127-99《电子及半导体工业的水质要求》
关键词 超纯水 线径宽度 总有机碳(TOC) 颗粒物 溶解氧(DO)
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超纯水的制备
19
作者 胡曼玲 谌吉洪 +1 位作者 王伟 黄松林 《湖南医科大学学报》 CSCD 1989年第2期129-130,共2页
本文介绍超纯水的制备方法。所得超纯水经电感偶合等离子体发射光谱、荧光分光及高效液相色谱等方法分析测定,并与美国Mallinckrodt公司出产的超纯水比较。该水纯度很高,成本较低廉,适合于医学研究中诸如细胞培养等高要求用水。
关键词 超纯水 分离 提纯
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柔性AMOLED显示屏中水处理工艺概述
20
作者 张勇 《洁净与空调技术》 2020年第1期45-49,共5页
柔性AMOLED具有自发光、较低耗电量、广视角、极高反应速度等优点快速占据了显示领域,由于柔性AMOLED对水质的要求较高,因而与之配套的水处理工艺也需要全面提升设计及规划。本工艺首次对超纯水进行分质供水,针对不同使用情况供应不同... 柔性AMOLED具有自发光、较低耗电量、广视角、极高反应速度等优点快速占据了显示领域,由于柔性AMOLED对水质的要求较高,因而与之配套的水处理工艺也需要全面提升设计及规划。本工艺首次对超纯水进行分质供水,针对不同使用情况供应不同超纯水;同时,机能水中臭氧水、二氧化碳水以及氢气水广泛地使用在AMOLED工艺制程中的清洗单元,强化清洗效果;显示行业中居高设计80%的回收率,将大幅降低自来水补水量,减少运行费用。 展开更多
关键词 柔性AMOLED 超纯水 机能水 回收率80%
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