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基于飞秒激光的高速双光子刻写技术 被引量:7
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作者 杨顺华 丁晨良 +4 位作者 朱大钊 杨臻垚 刘勇 匡翠方 刘旭 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2023年第3期34-55,共22页
基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间... 基于飞秒激光的双光子聚合(two-photon polymerization,TPP)加工技术一直是三维微纳加工技术中的研究热点。随着生命科学、材料工程、微纳光学等领域对复杂、大面积微型三维器件制备需求的提升,TPP加工效率不足的问题日益严重,加工时间过长不仅造成加工结构的不稳定,更是严重阻碍这些重要三维器件的进一步推广应用。本文以TPP加工效率提升方面的研究工作为主线,分别从单光束刻写、并行多光束刻写、面曝光和体曝光四个方式进行总结与对比,阐述相应的光学系统设计、刻写策略、刻写精度与通量等方面的研究情况,总结各种技术的优势与劣势,同时展望未来发展趋势。 展开更多
关键词 飞秒激光直写 双光子光刻 单光束扫描 多焦点并行 面曝光 体曝光
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双光子光刻中感光材料的回顾与挑战(特邀)
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作者 董芸 何向明 徐宏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期254-277,共24页
双光子光刻是一种自上而下的微纳制造技术,具有超越衍射极限的空间分辨率,并且可通过激光直写构建三维立体结构,在微电子器件、微纳光学、生物医药、超材料等领域中都有着难以取代的应用价值。随着应用场景的扩展,双光子光刻胶的发展亟... 双光子光刻是一种自上而下的微纳制造技术,具有超越衍射极限的空间分辨率,并且可通过激光直写构建三维立体结构,在微电子器件、微纳光学、生物医药、超材料等领域中都有着难以取代的应用价值。随着应用场景的扩展,双光子光刻胶的发展亟须从聚合物材料扩展到无机、金属等多元材料体系。然而,如何利用引发剂的双光子吸收效应实现新材料的高效光致溶解性变化,以及如何开发新型光刻材料体系以实现更高的空间分辨率、刻写速率,仍是双光子光刻材料领域所面临的挑战。将从双光子感光材料的角度,回顾自由基型、阳离子型等双光子引发剂的分子设计和光敏特性,以及聚合物光刻胶和无机-有机复合光刻胶构建三维结构的策略和材料特点。通过对双光子感光材料中的材料体系、反应机理和引发剂体系的综述,以期为未来双光子光刻材料的选择和设计提供参考。 展开更多
关键词 双光子光刻 微纳制造 三维微结构 光刻胶 光敏剂 无机-有机杂化材料
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Small-world networks of neuroblastoma cells cultured in three-dimensional polymeric scaffolds featuring multi-scale roughness 被引量:1
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作者 Valentina Onesto Angelo Accardo +1 位作者 Christophe Vieu Francesco Gentile 《Neural Regeneration Research》 SCIE CAS CSCD 2020年第4期759-768,共10页
Understanding the mechanisms underlying cell-surface interaction is of fundamental importance for the rational design of scaffolds aiming at tissue engineering,tissue repair and neural regeneration applications.Here,w... Understanding the mechanisms underlying cell-surface interaction is of fundamental importance for the rational design of scaffolds aiming at tissue engineering,tissue repair and neural regeneration applications.Here,we examined patterns of neuroblastoma cells cultured in three-dimensional polymeric scaffolds obtained by two-photon lithography.Because of the intrinsic resolution of the technique,the micrometric cylinders composing the scaffold have a lateral step size of^200 nm,a surface roughness of around 20 nm,and large values of fractal dimension approaching 2.7.We found that cells in the scaffold assemble into separate groups with many elements per group.After cell wiring,we found that resulting networks exhibit high clustering,small path lengths,and small-world characteristics.These values of the topological characteristics of the network can potentially enhance the quality,quantity and density of information transported in the network compared to equivalent random graphs of the same size.This is one of the first direct observations of cells developing into 3D small-world networks in an artificial matrix. 展开更多
关键词 3D NEtwoRKS BIOMATERIALS nano-topography network topology neuro-regeneration SMALL-WORLD NEtwoRKS tissue engineering two-photon lithography
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双光子技术在光生酸剂中的应用研究
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作者 夏荣捷 金明 +2 位作者 万德成 潘海燕 浦鸿汀 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1854-1861,共8页
自2000年以来,双光子技术开始应用于光生酸剂体系中,并取得了一定的研究进展。双光子技术在光生酸剂中的应用主要有两种情况:一是单分子体系,即光生酸剂分子本身具有较高的双光子吸收截面,可以在双光子激发下产生光酸;二是双分子体系,... 自2000年以来,双光子技术开始应用于光生酸剂体系中,并取得了一定的研究进展。双光子技术在光生酸剂中的应用主要有两种情况:一是单分子体系,即光生酸剂分子本身具有较高的双光子吸收截面,可以在双光子激发下产生光酸;二是双分子体系,由具有较高吸收截面的敏化剂分子和光生酸剂分子组成,通过分子间电子转移的方式产生光酸。本文就这一类具有特殊光学性质的有机分子体系的构成及其应用进行了综述,介绍了不同类型的可以利用双光子技术的光生酸剂体系,总结了双光子技术在光生酸剂发展中面临的一些关键问题,展望了双光子技术在光生酸剂中的发展方向。 展开更多
关键词 双光子吸收 光生酸剂 双光子光刻 微构筑
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多芯光纤端面耦合微纳波导有机气体传感器
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作者 张思瑶 齐彦文 +5 位作者 冯胜飞 王新柯 孙文峰 叶佳声 韩鹏 张岩 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2018年第5期522-527,共6页
以多芯光纤端面为平台,在其上设计并采用双光子三维激光直写技术制备了由微柱、微棱镜、微椎体及微纳波导组成的光刻胶光路系统。实验研究了不同截面尺寸微纳波导对乙醇蒸气的光学传感响应特性。在波导截面尺寸优化后,获得标准大气压下... 以多芯光纤端面为平台,在其上设计并采用双光子三维激光直写技术制备了由微柱、微棱镜、微椎体及微纳波导组成的光刻胶光路系统。实验研究了不同截面尺寸微纳波导对乙醇蒸气的光学传感响应特性。在波导截面尺寸优化后,获得标准大气压下,22℃的饱和乙醇蒸气的时间响应为1.54nm/s,最低的乙醇蒸气探测浓度为27.3g/m3,最高乙醇浓度变化响应的灵敏度为3.7×10-13 m/(g·m-3)。该器件具备小型化、远程化及操作简便等优点,有望应用于空间狭小、被检测物难以接触的环境。 展开更多
关键词 光学工程 光纤传感 模间干涉 纳米光学 双光子光刻
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多芯光纤端面上对称耦合双环微腔气体传感特性研究 被引量:1
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作者 赵庆玲 冯胜飞 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2022年第1期28-33,共6页
光纤传感具有耐高温、抗腐蚀、无需供电、灵敏度高和可集成等优点,在光纤端面上设计制备微纳传感结构是实现探针式光纤传感器的重要途径.本文以七芯光纤端面作为平台,在其上设计了微纳波导对称耦合的双环微腔光学系统.环形微腔与微纳波... 光纤传感具有耐高温、抗腐蚀、无需供电、灵敏度高和可集成等优点,在光纤端面上设计制备微纳传感结构是实现探针式光纤传感器的重要途径.本文以七芯光纤端面作为平台,在其上设计了微纳波导对称耦合的双环微腔光学系统.环形微腔与微纳波导间隔一定距离,实现倏逝波耦合,波导中的光耦合进入腔内激发其高品质因子回音壁共振.当外界气体刺激改变微腔光学参数后,共振波长发生改变,从而实现对气体的传感.采用3D双光子光刻技术在多芯光纤端面上实现系统的制备.实验上观测到共振模式的品质因子最高可达2.66×10^(4),其对酒精蒸气的传感灵敏度为2.08×10^(−6)pm. 展开更多
关键词 光纤传感 3D双光子光刻技术 微腔光学 微腔传感
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基于光栅耦合悬空薄膜波导的折射率传感器
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作者 韩晶 冯胜飞 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2018年第2期26-32,共7页
提出了一种纳米光栅耦合悬空薄膜波导液体折射率传感器件设计方案.纳米光栅位于悬空薄膜波导上表面,被分析液体位于波导下表面.这种薄膜波导将光栅和被分析液体分离开的传感方案,避免了液体与纳米光栅的接触导致其衍射效率下降的问题,... 提出了一种纳米光栅耦合悬空薄膜波导液体折射率传感器件设计方案.纳米光栅位于悬空薄膜波导上表面,被分析液体位于波导下表面.这种薄膜波导将光栅和被分析液体分离开的传感方案,避免了液体与纳米光栅的接触导致其衍射效率下降的问题,同时增加了被分析液体与波导的接触面积,从而增强器件的传感性能.本文首先采用数值模拟方法分析器件各个参数对其传感性能的影响.分析表明,当波导模式越靠近瑞利反常波长时,器件灵敏度越高.然后实验采用3D双光子光刻技术在悬空氮化硅薄膜波导上制备光刻胶纳米光栅.最后通过自搭建光纤光谱测试系统对器件传感性能进行表征,验证了设计方案的可行性. 展开更多
关键词 波导模式 瑞利反常 纳米光栅 3D双光子光刻技术 悬空薄膜波导 折射率传感
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微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析 被引量:6
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作者 王翔 赵钢 +2 位作者 郭锐 李国锋 黄文浩 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1051-1055,共5页
微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微... 微机电系统的发展,对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术,难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。 展开更多
关键词 微细加工 微细光成形 双光子微细光成形 LIGA 微细电铸
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