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不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展
被引量：
2
1
作者
陶化文
黄玲琴
朱靖
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第10期737-747,759,共12页
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。...
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。首先,介绍了常用于制备层状MoS2薄膜的化学气相沉积(CVD)法和高温热分解法;然后,综述了在Si、塑料、GaN、GaAs、Si纳米线、蓝宝石、SiO2/Si和SiC等不同衬底上制备层状MoS2薄膜的方法,利用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、X射线光电子能谱等测试方法对各衬底上制备的MoS2薄膜结构和性能进行了表征;同时讨论了相应的异质结器件的特性及应用,并对高质量MoS2薄膜在光电探测器、气体传感器、压电器件等光电子和纳电子器件中的应用进行了展望。
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关键词
二维层状
mos
2
GAN
蓝宝石
SiC
化学气相沉积(CVD)法
高温热分解法
异质结
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职称材料
题名
不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展
被引量：
2
1
作者
陶化文
黄玲琴
朱靖
机构
江苏师范大学电气工程及自动化学院
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020年第10期737-747,759,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(61604063,11547136)
江苏师范大学研究生科研创新计划项目(2020XKT078)。
文摘
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。首先,介绍了常用于制备层状MoS2薄膜的化学气相沉积(CVD)法和高温热分解法;然后,综述了在Si、塑料、GaN、GaAs、Si纳米线、蓝宝石、SiO2/Si和SiC等不同衬底上制备层状MoS2薄膜的方法,利用原子力显微镜、X射线衍射、拉曼光谱、X射线光电子能谱等测试方法对各衬底上制备的MoS2薄膜结构和性能进行了表征;同时讨论了相应的异质结器件的特性及应用,并对高质量MoS2薄膜在光电探测器、气体传感器、压电器件等光电子和纳电子器件中的应用进行了展望。
关键词
二维层状
mos
2
GAN
蓝宝石
SiC
化学气相沉积(CVD)法
高温热分解法
异质结
Keywords
two
-
dimensional
layered
mos
2
GaN
sapphire
SiC
chemical
vapor
deposition(CVD)method
high
temperature
thermal
decomposition
method
heterojunction
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展
陶化文
黄玲琴
朱靖
《半导体技术》
CAS
北大核心
2020
2
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