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基于PSD的非接触式二维动态角度精密测量系统 被引量：4
1
作者 李波 董文博 +3 位作者 肖爱民 于梦溪 葛文奇 何建国 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期787-796,共10页
非接触式角度测量广泛用于机械制造、精密测量、航空航天等领域。在一种高速振镜的二维角度测试装置中,需要大范围(±10°)、高速率(80 kHz)、高精度的非接触式二维角度测量方式,传统的动态角度测量方式都不能满足要求。基于PS... 非接触式角度测量广泛用于机械制造、精密测量、航空航天等领域。在一种高速振镜的二维角度测试装置中,需要大范围(±10°)、高速率(80 kHz)、高精度的非接触式二维角度测量方式,传统的动态角度测量方式都不能满足要求。基于PSD的高速响应特性,设计了光电反射式二维动态角度高精度测量系统,可以取得更好的技术指标。首先,采用高精度的PSD检测器和激光器等光学器件,可以实现高精度、大范围的非接触式角度测量;此外,利用坐标系变换得到二维机械角度与PSD输出二维位移的关系,并通过FPGA和高速AD采集板实现了高速数据采样,利用数字滤波的方法,大程度的降低了系统的噪声;通过数据插值的方法,对测量数据进行矫正,极大的降低了系统的误差,实现了大范围二维角度的系统误差都在较低水平。通过实验测试,系统可以实现±10°摆角范围的测量,采样频率可达到125 kHz,噪声达到0.001°,系统误差最大0.007°。满足了大范围、高速率、高精度的角度测量要求。 展开更多
关键词 PSD 精密测量 二维角度测量 高速采样 数据插值
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结合激光准直的二维转角动态测量系统 被引量：9
2
作者 楼志斌 赵辉 +2 位作者 刘权 郑超 陶卫 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第3期561-568,共8页
为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法。首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件。接... 为了克服现有二维转角动态测量方法结构复杂、成本昂贵的缺点,提出了结合激光准直的二维转角动态测量方法。首先,根据二维转角测量的关键问题提出基于激光准直的测量方法,采用准直激光作为测量基准,以远端的位置探测器作为检测器件。接着,设计测量系统和各组成模块,根据测量要求对系统中的关键模块进行设计和优化。然后,具体设计系统中的测量算法,完成测量模型建立。最后,在±2°范围内进行实验测试和分析。实验结果表明:系统可动态测量,稳定性好,测量重复性误差为1μrad,X轴非线性误差为1.8%,Y轴非线性误差为1.7%,动态带载响应频率在±0.01°内优于200Hz,基本满足二维转角测量的高精度、高重复性、高稳定性的要求。 展开更多
关键词 激光准直 二维转角 动态测量 光斑位置
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基于双镜反射法的亚角秒级小角度测量 被引量：2
3
作者 马韬 王卫华 +1 位作者 曹赫扬 吴刚祥 《飞控与探测》 2019年第5期84-89,共6页
针对工程应用中对静态或低频动态微小角度的高精度测量需求,基于双平面镜多次反射增大光线反射角的方法构建了一种二维偏转角度测量装置。分析了双镜反射法的计算原理,提出了一种评价测角不确定度的方法,进行了光路仿真和实测数据的比对... 针对工程应用中对静态或低频动态微小角度的高精度测量需求,基于双平面镜多次反射增大光线反射角的方法构建了一种二维偏转角度测量装置。分析了双镜反射法的计算原理,提出了一种评价测角不确定度的方法,进行了光路仿真和实测数据的比对,结果表明:利用该方法的测角装置可实现优于0.1″的测角精度,且测量结果稳定可靠,适用于静态或低频动态微小角度的精确测量。 展开更多
关键词 双镜反射 小角度测量 亚角秒 低频小角度 二维角度测量
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分辨率优于0.1arcsec的二维微小角度传感器的系统设计
4
作者 赵文勇 刘庆纲 +1 位作者 陈庆 何博涛 《航空精密制造技术》 2007年第3期12-14,共3页
设计一种新型二维微小角度传感器,可实现实时二维角度的测量。并采用基于DSP的检测电路进行高速数据采集处理,使系统的测量精度和响应速度满足了当前在线检测的需求,角度测量>±600arcsec,测量分辨率优于0.1arcsec。
关键词 二维角度测量 内反射 DSP 数据采集
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直线导轨二维转角同时测量装置的研制 被引量：10
5
作者 匡萃方 冯其波 +2 位作者 刘斌 张斌 陈士谦 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期965-968,共4页
提出了一种同时测量直线导轨二维转角的简单方法。基于半导体激光器(LD)、单模光纤组件的激光基准,建立了直线导轨运动副二维转角相关测量模型。分析了俯仰角、偏摆角的误差分离和实时测量原理。通过稳定性、重复性和比对实验验证了所... 提出了一种同时测量直线导轨二维转角的简单方法。基于半导体激光器(LD)、单模光纤组件的激光基准,建立了直线导轨运动副二维转角相关测量模型。分析了俯仰角、偏摆角的误差分离和实时测量原理。通过稳定性、重复性和比对实验验证了所提系统的可靠性。实验结果表明,系统测角分辨率优于0.5"。 展开更多
关键词 二维转角 偏仰角 偏摆角 同时测量 直线导轨 激光测量
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