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Si(001)基片上反应射频磁控溅射ZnO薄膜的两步生长方法 被引量:4
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作者 谷建峰 刘志文 +3 位作者 刘明 付伟佳 马春雨 张庆瑜 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期2369-2376,共8页
利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当... 利用反应射频磁控溅射技术,采用两步生长方法制备了ZnO薄膜,探讨了基片刻蚀时间和低温过渡层沉积时间对ZnO薄膜生长行为的影响.研究结果表明,低温ZnO过渡层的沉积时间所导致的薄膜表面形貌的变化与过渡层在Si(001)表面的覆盖度有关.当低温过渡层尚未完全覆盖基片表面时,ZnO薄膜的表面岛尺度较小、表面粗糙度较大,薄膜应力较大;当低温过渡层完全覆盖Si(001)基片后,ZnO薄膜的表面岛尺度较大、表面粗糙度较小,薄膜应力较小.基片刻蚀时间对薄膜表面形貌的影响与低温过渡层的成核密度有关.随着刻蚀时间的增加,ZnO薄膜的表面粗糙度逐渐下降,表面形貌自仿射结构的关联长度逐渐减小. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 反应射频磁控溅射 两步生长 形貌分析
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两步生长法生长的In_xGa_(1-x)As/GaAs材料及性质 被引量:2
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作者 韩智明 缪国庆 +1 位作者 曾玉刚 张志伟 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期288-292,共5页
利用LP-MOCVD技术,采用两步生长法在Ga As(100)单晶衬底上外延生长InxGa1-xAs材料。通过扫描电子显微镜(SEM)与原子力显微镜(AFM)观察了缓冲层厚度对外延层表面形貌、表面粗糙度的影响;利用X射线衍射(XRD)分析了缓冲层厚度对外延层结晶... 利用LP-MOCVD技术,采用两步生长法在Ga As(100)单晶衬底上外延生长InxGa1-xAs材料。通过扫描电子显微镜(SEM)与原子力显微镜(AFM)观察了缓冲层厚度对外延层表面形貌、表面粗糙度的影响;利用X射线衍射(XRD)分析了缓冲层厚度对外延层结晶质量的影响;利用拉曼光谱分析了缓冲层厚度对外延层材料合金有序度的影响;通过透射电子显微镜(TEM)观察了外延层材料位错的分布状态,计算了外延层的位错密度。实验结果表明,两步生长法生长的InxGa1-xAs/Ga As异质结材料的缓冲层厚度存在一个最优值。 展开更多
关键词 两步生长法 GAAS INGAAS MOCVD
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两步生长和直接生长GaAs/Si单晶薄膜的比较 被引量:1
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作者 刘翔 吴长树 +5 位作者 张鹏翔 角忠华 赵德锐 陈庭金 廖仕坤 杨家明 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期128-131,共4页
报道了采用热壁外延 (HWE)技术 ,在 (10 0 ) ,(111)和 (2 11)三种典型Si表面通过两步生长和直接生长法制备GaAs单晶薄膜 ,经过拉曼光谱、霍尔测试和荧光光谱分析比较 ,得出结论 :(1)相同取向Si衬底 ,两步生长法制备的GaAs薄膜结晶质量... 报道了采用热壁外延 (HWE)技术 ,在 (10 0 ) ,(111)和 (2 11)三种典型Si表面通过两步生长和直接生长法制备GaAs单晶薄膜 ,经过拉曼光谱、霍尔测试和荧光光谱分析比较 ,得出结论 :(1)相同取向Si衬底 ,两步生长法制备的GaAs薄膜结晶质量比直接生长法制备的GaAs薄膜的要好 ;(2 )采用HWE技术在Si上异质外延GaAs薄膜 ,其表面缓冲层的生长是降低位错、提高外延质量的基础 ;(3)不同取向Si衬底对GaAs外延层结晶质量有影响 ,(2 11)面外延的GaAs薄膜质量最好 ,(10 0 )面次之 ,(111) 展开更多
关键词 两步生长 直接生长 GAAS/SI
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氧分压对化学气相沉积法合成ZnO纳米结构形貌的影响 被引量:8
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作者 冯程程 周明 +3 位作者 吴春霞 马伟伟 李刚 蔡兰 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期657-661,共5页
本文利用化学气相沉积(CVD)法在镀有Au(10 nm)膜的单晶Si(100)上制备了ZnO薄膜,并研究了不同的氧分压对ZnO形貌的影响。借助扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对样品的形貌、结晶质量和晶体生长取向进行了表征。结... 本文利用化学气相沉积(CVD)法在镀有Au(10 nm)膜的单晶Si(100)上制备了ZnO薄膜,并研究了不同的氧分压对ZnO形貌的影响。借助扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和透射电子显微镜(TEM)对样品的形貌、结晶质量和晶体生长取向进行了表征。结果表明:当O2分压较小的时候,O2只能与Zn团簇的某些界面发生反应并逐渐结晶生成层状的ZnO微米团簇。当O2分压较大的时候,ZnO通过二次生长形成由微米柱阵列和表面无序纳米线构成的分层复合结构,并且表面纳米线的密度随着氧分压的增加而增加。高分辨透射电镜(HRTEM)和选取电子衍射(SAED)分析表明,单根纳米线是沿[001]方向生长的ZnO单晶。 展开更多
关键词 氧化锌 化学气相沉积法 氧分压 二次生长
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碱式碳酸镁晶须的均相沉淀法制备及其生长机理研究 被引量:5
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作者 陈娟 黄志良 +2 位作者 陈常连 李文昭 徐伟荣 《武汉工程大学学报》 CAS 2015年第12期16-20,共5页
为了研究碱式碳酸镁晶须新的制备方法,扩大其作为阻燃剂的应用,采用以六水氯化镁和尿素为原料,通过均相沉淀法成功地制备了Mg5(CO3)4(OH)2·4H2O型碱式碳酸镁晶须.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、红外光谱等测试手段对所得晶须进... 为了研究碱式碳酸镁晶须新的制备方法,扩大其作为阻燃剂的应用,采用以六水氯化镁和尿素为原料,通过均相沉淀法成功地制备了Mg5(CO3)4(OH)2·4H2O型碱式碳酸镁晶须.采用X射线衍射、扫描电子显微镜、红外光谱等测试手段对所得晶须进行物相、形貌和结构分析.结果表明,当反应原料六水氯化镁与尿素的摩尔比值为1∶4,山梨醇作为有机模板剂时,在水浴时间为24 h,陈化时间为21 h,干燥时间为5 h的实验条件下,可以制备出长径比大于100,发育良好的碱式碳酸镁晶须.采用二维成核-台阶生长理论有效解释了碱式碳酸镁晶须的生长. 展开更多
关键词 碱式碳酸镁晶须 均相沉淀法 二维成核-台阶生长
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GaN grown on nano-patterned sapphire substrates 被引量:2
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作者 孔静 冯美鑫 +3 位作者 蔡金 王辉 王怀兵 杨辉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第4期26-29,共4页
High-quality gallium nitride (GaN) film was grown on nano-pattemed sapphire substrates (NPSS) and investigated using XRD and SEM. It was found that the optimum thickness of the GaN bulter layer on the NPSS is 15 n... High-quality gallium nitride (GaN) film was grown on nano-pattemed sapphire substrates (NPSS) and investigated using XRD and SEM. It was found that the optimum thickness of the GaN bulter layer on the NPSS is 15 nm, which is thinner than that on micro-patterned sapphire substrates (MPSS). An interesting phenomenon was observed for GaN film grown on NPSS:GaN mainly grows on the trench regions and little grows on the sidewalls of the patterns at the initial growth stage, which is dramatically different from GaN grown on MPSS. In addition. the electrical and optical properties of LEDs grown on NPSS were characterized. 展开更多
关键词 GAN nano-patterned sapphires (NPSS) LED two-step growth process
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High-density and narrow size-distribution InAs quantum dots formed by a modified two-step growth
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作者 黄社松 牛智川 +4 位作者 詹锋 倪海桥 赵欢 吴东海 孙征 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第1期323-327,共5页
We develop a modified two-step method of growing high-density and narrow size-distribution InAs/GaAs quantum dots (QDs) by molecular beam epitaxy. In the first step, high-density small InAs QDs are formed by optimiz... We develop a modified two-step method of growing high-density and narrow size-distribution InAs/GaAs quantum dots (QDs) by molecular beam epitaxy. In the first step, high-density small InAs QDs are formed by optimizing the continuous deposition amount. In the second step, deposition is carried out with a long growth interruption for every 0.1 InAs monolayer. Atomic force microscope images show that the high-density (~5.9 × 10^11 cm^-2) good size-uniformity InAs QDs are achieved. The strong intensity and narrow linewidth (27.7 meV) of the photoluminescence spectrum show that the QDs grown in this two-step method have a good optical quality. 展开更多
关键词 molecular beam epitaxy quantum dots a modified two-step growth
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LP-MOCVD两步生长法制备的InAs_(0.9)Sb_(0.1)/GaAs
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作者 谢建春 缪国庆 +5 位作者 金亿鑫 张铁民 宋航 蒋红 刘乃康 李志明 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期246-250,共5页
利用LP-MOCVD技术,采用两步生长法,在(100)GaAs单晶衬底上生长高质量的InAs0.9Sb0.1。用扫描电镜、X射线单晶衍射、Hall测量以及Raman光谱等方法对材料进行了表征。分析了缓冲层和外延层生长温度对外延层表面形貌的影响。获得了表面光亮... 利用LP-MOCVD技术,采用两步生长法,在(100)GaAs单晶衬底上生长高质量的InAs0.9Sb0.1。用扫描电镜、X射线单晶衍射、Hall测量以及Raman光谱等方法对材料进行了表征。分析了缓冲层和外延层生长温度对外延层表面形貌的影响。获得了表面光亮,室温载流子浓度为1.9×1017cm-3和迁移率为6214cm2/V.s的InAs0.9Sb0.1。在室温Raman光谱中观察到InAs0.9Sb0.1中InAs(LO)的233cm-1和InSb(LO)的187cm-1两种光学声子行为。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 INASSB 两步生长法 GAAS
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