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SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型 被引量：3
1
作者 侯彦青 聂陟枫 +4 位作者 谢刚 马文会 戴永年 俞小花 宋东明 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期3627-3634,共8页
提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或... 提出SiHCl_3-H_2体系多晶硅化学气相沉积的传递-动力学模型(TKM),同时考虑传递过程和表面化学反应动力学对硅沉积速率的影响。研究硅沉积过程受表面化学反应速率限制和传递速率限制的边界条件,并且研究表面化学反应速率受氢气浓度限制或SiHCl_3(TCS)浓度限制的边界条件,提出同时受氢气浓度限制和TCS浓度限制的边界条件。为了验证TKM的有效性,应用该模型计算硅棒长度为2 m、硅棒直径为10 cm、气流速度为0.67 m/s、硅棒表面温度为1 398 K、常压(0.1 MPa)条件下,不同H_2/SiHCl_3配比下的硅沉积速率。研究结果表明:通过TKM的计算结果与Habuka所测得的实验数据比较,相对误差为3.6%(小于10%),表明该模型准确可靠。 展开更多
关键词 传递-动力学模型 多晶硅 化学气相沉积 硅沉积速率 传递现象
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腹膜透析中物质跨腹膜转运的数学模型 被引量：1
2
作者 单亦升 张梅 汪涛 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期692-694,共3页
腹膜是生物半透膜。我们综述了腹膜透析过程中溶质和水跨腹膜转运的几种数学模型,包括膜模型、三孔模型、扩展三孔模型、分布模型。它们分别从不同方面揭示了腹膜的物质转运机理。重点介绍了三孔模型。
关键词 腹膜透析 跨腹膜转运 数学模型
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