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无色透明聚酰亚胺薄膜近五年的研究进展 被引量:10
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作者 庞勃 吴志强 +3 位作者 周会会 王汝敏 张秋禹 陈妍慧 《高分子通报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期163-171,共9页
无色透明聚酰亚胺(CPI)薄膜具有优异的柔韧性、耐热性和高透明度,是最有潜力应用于柔性光电器件的高分子材料.本文综述了CPI的聚合方法、种类,对比了全芳香型CPI、半芳香型CPI及全脂肪族/脂环族型CPI的优缺点,重点介绍了半芳香型CPI的... 无色透明聚酰亚胺(CPI)薄膜具有优异的柔韧性、耐热性和高透明度,是最有潜力应用于柔性光电器件的高分子材料.本文综述了CPI的聚合方法、种类,对比了全芳香型CPI、半芳香型CPI及全脂肪族/脂环族型CPI的优缺点,重点介绍了半芳香型CPI的研究进展,并对CPI在柔性显示屏的盖板、柔性显示器件的基板以及薄膜太阳能电池组件等方面的先进应用进行了概述. 展开更多
关键词 无色 透明 聚酰亚胺 柔性基底 光学显示
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高光效LED灯丝球泡灯的光学性能研究 被引量:8
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作者 龚三三 秦会斌 刘丹 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第2期112-116,共5页
基于板上芯片(COB)封装技术,提出了一种360°出光的新型发光二极管(LED)灯丝球泡灯,其封装基板采用透明基板。研究了不同封装材料及芯片对其LED光通量、光效和色温的影响。首先介绍了LED灯丝球泡灯的结构、优点,然后分析了影响LED... 基于板上芯片(COB)封装技术,提出了一种360°出光的新型发光二极管(LED)灯丝球泡灯,其封装基板采用透明基板。研究了不同封装材料及芯片对其LED光通量、光效和色温的影响。首先介绍了LED灯丝球泡灯的结构、优点,然后分析了影响LED光学性能的因素,最后进行相关性能测试。测得采用玻璃/蓝宝石基板封装的LED灯丝的光通量分别为467.29和471.69 lm;光效分别为110.06和111.79 lm/W;显色指数分别为84.1和81.9。测试结果表明,采用透明基板封装的LED灯丝球泡灯不仅能有效调节色温,而且能显著提高LED的光通量、光效和显色指数。 展开更多
关键词 透明基板 LED灯丝球泡灯 光通量 光效 封装
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透明衬底铜铟镓硒太阳电池的背接触优化研究
3
作者 孟赫 姚毅峰 +3 位作者 马静怡 杨逍 刘芳芳 刘玮 《真空与低温》 2024年第5期504-511,共8页
近年来,透明衬底太阳电池凭借着双面透光、发电量潜力大的优势,应用于建筑集成光伏等众多新兴场景,引起广泛关注。其中,铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池具有高吸收系数、可柔性化等优点,被认为是透明衬底太阳电池的理想选择之一。然而,透明... 近年来,透明衬底太阳电池凭借着双面透光、发电量潜力大的优势,应用于建筑集成光伏等众多新兴场景,引起广泛关注。其中,铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池具有高吸收系数、可柔性化等优点,被认为是透明衬底太阳电池的理想选择之一。然而,透明衬底与CIGS吸收层背界面能带不匹配及其在高温工艺中易生成GaO_(X)副产物,导致衬底与吸收层之间难以实现良好的欧姆接触。针对该问题,引入了不同厚度的薄Mo层作为FTO透明衬底与CIGS之间的中间层,研究了其对太阳电池性能的影响。研究结果表明,薄Mo层的引入促进了CIGS薄膜元素的均匀扩散,提高了薄膜的结晶质量。随着Mo层厚度增加,背界面的缺陷态密度和势垒高度逐渐降低,背界面处载流子复合减少,但透射率损失增大。40 nm厚度的Mo层在确保衬底透射率不降低的同时,能够显著提升太阳电池的性能。研究结果为进一步优化CIGS太阳电池的设计提供了有益的参考。 展开更多
关键词 铜铟镓硒太阳电池 透明衬底 界面复合
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石英上Al纳米阵列的制备及荧光增强性能
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作者 王子恒 李金华 +1 位作者 楚学影 张烨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第14期2052-2059,共8页
针对透明衬底上紫外共振金属纳米阵列制备的技术需求,在不导电石英衬底上,采用电子束曝光制备Al纳米阵列,并对其形貌及性能进行研究。在电子束曝光过程中,引入Cr金属层克服衬底不导电问题。采用曝光剂量测试和加工参数调节优化纳米棒形... 针对透明衬底上紫外共振金属纳米阵列制备的技术需求,在不导电石英衬底上,采用电子束曝光制备Al纳米阵列,并对其形貌及性能进行研究。在电子束曝光过程中,引入Cr金属层克服衬底不导电问题。采用曝光剂量测试和加工参数调节优化纳米棒形貌。采用时域有限差分法分析Al纳米棒在325 nm紫外光激发下的电场分布,并以Langmuir-Blodgett(L-B)技术将CdSe/ZnS量子点沉积在Al纳米阵列表面进一步明确其荧光增强性能。结果表明,1200μc/cm^(2)剂量下制备的Al纳米棒尺寸分布均匀,最终获得了取向互相垂直的四个区域集成的Al纳米阵列。光学性质分析表明,Al纳米棒阵列可使CdSe/ZnS量子点的荧光强度增强约1.7倍。仿真结果表明,紫外光辐照下Al纳米棒末端电场强度明显高于纳米棒两侧,明确了量子点发光增强机理。成功在不导电衬底上获得多取向集成的、对量子点具有显著荧光增强效果的Al纳米阵列,为背光激发下量子点发光调控和偏振调制提供了一种新策略。 展开更多
关键词 透明衬底 量子点 荧光增强 时域有限差分法
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晶片键合在AlGaInP发光二极管中的应用 被引量:1
5
作者 潘教青 黄柏标 《激光与光电子学进展》 CSCD 2003年第7期50-53,共4页
(Al_xGa_(1-x))_(0.5)In_(0.5)P高亮度发光二极管是在GaAs衬底上匹配外延的,它的外量子效率受限于吸收光线的GaAs衬底。LED晶片键合技术可以把LED外延片和GaP透明衬底、金属镜面衬底或蓝宝石衬底结合以提高出光效率。本文对上述三种晶... (Al_xGa_(1-x))_(0.5)In_(0.5)P高亮度发光二极管是在GaAs衬底上匹配外延的,它的外量子效率受限于吸收光线的GaAs衬底。LED晶片键合技术可以把LED外延片和GaP透明衬底、金属镜面衬底或蓝宝石衬底结合以提高出光效率。本文对上述三种晶片键合的器件制备过程和器件特点进行了描述。 展开更多
关键词 晶片键合 ALGAINP 发光二极管 GAAS衬底 LED
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Thickness determination of MoS2,MoSe2,WS2 and WSe2 on transparent stamps used for deterministic transfer of 2D materials 被引量:3
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作者 Najme S. Taghavi Patricia Gant +7 位作者 Peng Huang Iris Niehues Robert Schmidt Steffen Michaelis de Vasconcellos Rudolf Bratschitsch Mar Garcia-Hernandez Riccardo Frisenda Andres Castellanos-Gomez 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第7期1691-1695,共5页
Here,we propose a method to determine the thickness of the most common transition metal dichalcogenides (TMDCs) placed on the surface of transparent stamps,used for the deterministic placement of two-dimensional mater... Here,we propose a method to determine the thickness of the most common transition metal dichalcogenides (TMDCs) placed on the surface of transparent stamps,used for the deterministic placement of two-dimensional materials,by analyzing the red,green and blue channels of transmission-mode optical microscopy images of the samples.In particular,the blue channel transmittance shows a large and monotonic thickness dependence,making it a very convenient probe of the flake thickness.The method proves to be robust given the small flake-to-flake variation and the insensitivity to doping changes of MoS2.We also tested the method for MoSe2,WS2 and WSe2.These results provide a reference guide to identify the number of layers of this family of materials on transparent substrates only using optical microscopy. 展开更多
关键词 transition metal DICHALCOGENIDES optical identification transparent substrate trasmittance
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微流控芯片透光性基底SU8曝光工艺 被引量:1
7
作者 朱学林 郭育华 +2 位作者 刘刚 田扬超 褚家如 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期426-430,共5页
研究了在透光性基底上直接光刻SU8光刻胶制作可实现光集成微流控芯片的工艺,讨论了基底厚度、透光性和样品承载台表面反射性等因素对透光性基底上SU8光刻图形质量的影响。研究结果表明,通过减少样品承载台表面对紫外光的反射,可有效的... 研究了在透光性基底上直接光刻SU8光刻胶制作可实现光集成微流控芯片的工艺,讨论了基底厚度、透光性和样品承载台表面反射性等因素对透光性基底上SU8光刻图形质量的影响。研究结果表明,通过减少样品承载台表面对紫外光的反射,可有效的解决光刻胶内非定义曝光区域出现感光交联的问题。 展开更多
关键词 微流控芯片 透光性基底 SU8光刻
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透明衬底透明膜椭偏数据处理分析 被引量:2
8
作者 肖国辉 黄佐华 +1 位作者 刘昌宁 黄妙娜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期247-249,288,共4页
为了解决迭代法在反演透明衬底透明膜找偏参量时的出错问题,采用理论与实验相结合的方法,对透明衬底透明膜椭偏数据处理进行了理论分析和实验验证,找到了当薄膜折射率接近衬底折射率时,椭偏数据反演就会出错的原因。据此提出了分段遍寻... 为了解决迭代法在反演透明衬底透明膜找偏参量时的出错问题,采用理论与实验相结合的方法,对透明衬底透明膜椭偏数据处理进行了理论分析和实验验证,找到了当薄膜折射率接近衬底折射率时,椭偏数据反演就会出错的原因。据此提出了分段遍寻迭代搜索法,以LABVIEW为开发工具,成功设计和编写了相应的数据处理程序,最后对一些样品进行了实际测量反演并与文献结果作了比较。结果表明,该程序能正确反演透明衬底单层透明膜的参量,并具有反演速度快、精确度可达0.03nm、稳定性好等特点。 展开更多
关键词 测量与计量 分段迭代法 透明衬底 透明膜 椭偏
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Characterization of ZnO:Al films deposited by r.f. magnetron-sputtering at low temperature 被引量:1
9
作者 郝晓涛 马瑾 +5 位作者 马洪磊 田茂华 曹宝成 叶丽娜 程传福 滕树云 《Science China Mathematics》 SCIE 2002年第3期394-399,共6页
Transparent conducting ZnO: Al thin films with good adhesion and low resistivity have been prepared on organic substrates and Corning 7059 glass substrates by r.f. magnetron-sputtering technique at low substrate tempe... Transparent conducting ZnO: Al thin films with good adhesion and low resistivity have been prepared on organic substrates and Corning 7059 glass substrates by r.f. magnetron-sputtering technique at low substrate temperature (25-210℃). Structural and photoelectric properties of the deposited films are investigated. The deposited films are polycrystalline with hexagonal structure and a preferred orientation with the c-axis perpendicular to the substrate. Only the (002) peak is observed. High quality films with resistivity as low as 1.0 × 10-3Ω·cm and 8.4 × 10-4Ω·cm, the average transmit-tance over 74% and 85% in the wavelength range of the visible spectrum have been obtained on different substrates. 展开更多
关键词 organic substrate aluminum doped zinc oxide film transparent CONDUCTIVE film.
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基于PET基底透明屏蔽膜的制备研究 被引量:2
10
作者 付秀华 郭贵新 刘禹冰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第4期36-40,共5页
为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求,在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响,选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性,经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度、烘烤时间及温度等参... 为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求,在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响,选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性,经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度、烘烤时间及温度等参数,从而得到高质量的图形结构.采用磁控溅射法制备透明屏蔽膜,通过优化溅射功率、溅射气压等参数使膜/基结合更牢固.最后得到线宽为3μm、周期为250μm的金属网栅透明屏蔽膜.采用分光光度计测得其在300~2 200nm波段的平均透过率为77%;采用屏蔽室法测得其在2~18GHz频段的电磁屏蔽效率为12dB以上. 展开更多
关键词 薄膜 透明屏蔽 金属网栅 光刻工艺 磁控溅射 PET基底
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柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用 被引量:2
11
作者 邵景珍 董伟伟 +2 位作者 陶汝华 邓赞红 方晓东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期675-680,共6页
柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方... 柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方法,最后对柔性透明导电氧化物薄膜在各个领域的开发应用和未来的重点研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 透明 导电 氧化物薄膜 柔性衬底
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室温光荧光谱分析中的几个典型问题 被引量:1
12
作者 刘英斌 赵润 +3 位作者 林琳 陈宏泰 杨红伟 崔崎 《微纳电子技术》 CAS 2008年第6期338-341,共4页
根据光荧光谱的测试原理,针对具体的化合物半导体材料的层次结构,归纳、总结出两个实用的分析模型:光荧光谱的厚度干涉模型和透明衬底发光模型。应用厚度干涉模型,对GaN外延材料、带DBR结构的MQW材料的光荧光谱曲线进行了分析,并解释了A... 根据光荧光谱的测试原理,针对具体的化合物半导体材料的层次结构,归纳、总结出两个实用的分析模型:光荧光谱的厚度干涉模型和透明衬底发光模型。应用厚度干涉模型,对GaN外延材料、带DBR结构的MQW材料的光荧光谱曲线进行了分析,并解释了AlGaInP LED结构PL扫描图的强度分布。应用透明衬底发光模型,分析并解释了InGaAs材料的发光强度图案。实验结果表明,这两个分析模型能很好地解释薄膜外延层的PL光谱曲线,能够分析光荧光谱的曲线形状和强度分布与材料结构及表面状态的关系,对判断材料品质有较大帮助,具有一定的实用价值。 展开更多
关键词 光荧光扫描 多量子阱 厚度干涉条纹 透明衬底 室温
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基底温度对直流磁控溅射ITO透明导电薄膜性能的影响 被引量:21
13
作者 曾维强 姚建可 +1 位作者 贺洪波 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2031-2035,共5页
用直流磁控溅射法制备透明导电锡掺杂氧化铟(ITO)薄膜,靶材为ITO陶瓷靶,组分为m(In2O3):m(SnO2)=9∶1。运用分光光度计、四探针测试仪研究了基底温度对薄膜透过率、电阻率的影响,并用X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行结构分析。计算了晶面间... 用直流磁控溅射法制备透明导电锡掺杂氧化铟(ITO)薄膜,靶材为ITO陶瓷靶,组分为m(In2O3):m(SnO2)=9∶1。运用分光光度计、四探针测试仪研究了基底温度对薄膜透过率、电阻率的影响,并用X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行结构分析。计算了晶面间距和晶粒尺寸,分析了薄膜的力学性质。实验结果表明,在实验设备条件下,直流磁控溅射ITO陶瓷靶制备ITO薄膜时,适当的基底温度(200℃)能在保证薄膜85%以上高可见光透过率下,获得最低的电阻率,即基底温度有个最佳值。薄膜的结晶度随着基底温度的提高而提高。 展开更多
关键词 薄膜 ITO透明导电膜 基底温度 直流磁控溅射
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柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景 被引量:14
14
作者 何维凤 赵玉涛 +1 位作者 李素敏 李长生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期32-36,共5页
随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应... 随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势。 展开更多
关键词 透明导电膜 透明导电薄膜 柔性衬底 电子器件 小型化 更新换代 未来发展 硬质 制备 工业应用
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衬底温度对直流磁控溅射法沉积ZnO∶Ti薄膜性能的影响 被引量:13
15
作者 刘汉法 张化福 +2 位作者 郭美霞 史晓菲 周爱萍 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期95-99,共5页
利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响。结果表明,衬底温度对TZO薄膜的结构、应力和电阻率有重要影响。TZO... 利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化锌(ZnO∶Ti,TZO)透明导电薄膜。研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影响。结果表明,衬底温度对TZO薄膜的结构、应力和电阻率有重要影响。TZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜。在衬底温度为100℃时,实验获得的TZO薄膜电阻率具有最小值2.95×10-4Ω.cm,400℃时薄膜出现孪晶,随着温度的升高,薄膜应力具有减小的趋势。实验制备的TZO薄膜附着性能良好,可见光区平均透过率都超过91%。 展开更多
关键词 ZnO∶Ti薄膜 透明导电薄膜 衬底温度 磁控溅射
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基于旁路监听的数据库安全审计系统 被引量:13
16
作者 杨磊 毕红军 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2015年第8期138-142,共5页
通过分析数据库安全审计机制,提出一种基于旁路监听的数据库安全审计系统框架,并实现了针对Oracle数据库的安全审计系统。涉及Java网络抓包、TNS协议解析、SQL语法解析和数据库安全检测等技术实现,提出一种发现用户正常行为规则的异常... 通过分析数据库安全审计机制,提出一种基于旁路监听的数据库安全审计系统框架,并实现了针对Oracle数据库的安全审计系统。涉及Java网络抓包、TNS协议解析、SQL语法解析和数据库安全检测等技术实现,提出一种发现用户正常行为规则的异常检测算法。系统实验结果表明该系统能有效对Oracle数据库进行实时安全审计,并实现了数据库操作行为的安全检测。 展开更多
关键词 数据库安全审计 旁路监听 透明网络底层(TNS)协议 结构化查询语言(SQL)语法解析 安全检测
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掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究 被引量:8
17
作者 刘汉法 张化福 +1 位作者 袁玉珍 袁长坤 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1092-1095,共4页
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表... 利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。在靶衬间距为4.6 cm时,实验获得的ZnO∶Ti薄膜电阻率具有最小值4.18×10-4Ω.cm。实验制备的ZnO∶Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过92%。ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。 展开更多
关键词 掺钛氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 靶衬间距
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Effect of substrate temperature on the stability of transparent conducting cobalt doped ZnO thin films 被引量:8
18
作者 Said Benramache Boubaker Benhaoua Foued Chabane 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2012年第9期18-21,共4页
Transparent conducting Co doped ZnO thin films have been fabricated by Ultrasonic spray. The thin films were deposited at three different substrate temperatures of 300, 350 and 400 ℃. The obtained films had a hexagon... Transparent conducting Co doped ZnO thin films have been fabricated by Ultrasonic spray. The thin films were deposited at three different substrate temperatures of 300, 350 and 400 ℃. The obtained films had a hexagonal wurtzite structure with a strong (002) preferred orientation. The maximum crystallite size value of the film deposited at 350 ℃ is 55.46 nm. Spectrophotometer (UV-vis) of a Co doped ZnO film deposited at 350 ℃ shows an average transmittance of about 90%. The band gap energy increased from 3.351 to 3.362 eV when the substrate temperature increased from 300 to 350 ℃. The electrical conductivity of the films deposited at 300, 350 and 400 ℃ were 7.424, 7.547 and 6.743 (Ω·cm)^-1 respectively. The maximum activation energy value of the films at 350 ℃ was 1.28 eV, indicating that the films exhibit a n-type semiconducting nature. 展开更多
关键词 ZnO:Co films transparent conducting films ultrasonic spray deposition substrate temperature band gap energy
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柔性透明导电膜衬底材料的研究进展 被引量:9
19
作者 鲁云华 康文娟 +2 位作者 胡知之 王永飞 房庆旭 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期27-29,共3页
综述了柔性透明导电膜材料的应用以及可用作柔性透明导电膜衬底材料的种类、存在的问题和可行的解决方法。介绍了柔性透明导电膜材料的优点、应用和国内外研究现状。重点介绍了可用作柔性透明导电膜衬底的聚合物材料—聚酰亚胺和聚酯,... 综述了柔性透明导电膜材料的应用以及可用作柔性透明导电膜衬底材料的种类、存在的问题和可行的解决方法。介绍了柔性透明导电膜材料的优点、应用和国内外研究现状。重点介绍了可用作柔性透明导电膜衬底的聚合物材料—聚酰亚胺和聚酯,分析了各自的特点。通过分析柔性衬底存在的不足,寻求可行的解决方法,使柔性衬底可以更好地满足导电膜对衬底材料的要求,为柔性衬底材料的设计提供依据。 展开更多
关键词 透明导电膜 柔性衬底 应用 聚酰亚胺 聚酯
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微波等离子体化学气相沉积工艺对透明金刚石膜质量的影响 被引量:6
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作者 周健 余卫华 +1 位作者 汪建华 袁润章 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期445-449,共5页
在自制的 2 4 50MHz/5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置中研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子体化学气相沉积金刚石膜质量的影响 ,研究了提高成核密度和沉积速率的方法 ,用SEM ,XRD ,FTIR ,Raman和AFM分析了金刚石膜... 在自制的 2 4 50MHz/5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置中研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子体化学气相沉积金刚石膜质量的影响 ,研究了提高成核密度和沉积速率的方法 ,用SEM ,XRD ,FTIR ,Raman和AFM分析了金刚石膜的质量 .结果表明 :用纳米金刚石粉研磨单晶硅基片 ,在沉积气压 6.0kPa,CH4 /H2 的体积流量比为 0 .75%时 ,可沉积出红外透光率达 68% ,表面粗糙度为 1 1 4 .1 0nm的透明金刚石膜 ,其透光率接近Ⅱa 天然金刚石 . 展开更多
关键词 透明金刚石膜 微波等离子体 化学气相沉积
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