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中频交流反应溅射TiO_2薄膜的制备及性能研究 被引量：7
1
作者 侯亚奇 庄大明 +1 位作者 张弓 吴敏生 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第6期457-460,共4页
利用中频交流磁控溅射设备用金属Ti靶制备出了TiO2 薄膜。用椭偏仪测试了TiO2 薄膜的厚度和折射率 ,用俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和紫外及可见光分光光度计分别测试了TiO2 薄膜的表面成分、表面形貌、晶体结构及其紫外... 利用中频交流磁控溅射设备用金属Ti靶制备出了TiO2 薄膜。用椭偏仪测试了TiO2 薄膜的厚度和折射率 ,用俄歇电子能谱、扫描电子显微镜、X射线衍射仪和紫外及可见光分光光度计分别测试了TiO2 薄膜的表面成分、表面形貌、晶体结构及其紫外及可见光透射谱 ,并初步探讨了工艺因素对薄膜性质的影响。实验结果表明 :所制备的氧化钛薄膜O/Ti比符合化学计量比 ,而且O/Ti比随O2 流量的变化不大 ;TiO2 薄膜结构主要为锐钛矿型 ;薄膜表面致密 ;TiO2 薄膜光学性能较好 ,透射比较高 ;但O2 流量较低时透射比明显下降。 展开更多
关键词 TIO2薄膜 中频交流磁控溅射 光催化降解 锐钛矿 二氧化钛薄膜 制备 有机物 光学性能 光催化剂
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退火温度对TiO_2薄膜光学性能的影响 被引量：1
2
作者 侯亚奇 庄大明 +2 位作者 张弓 赵明 吴敏生 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第11期1441-1443,共3页
为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响。利用分光光度计测得石英玻璃基体TiO2薄膜试样的透射谱和反射谱,用包络线法和经验公式法计算出薄膜的光学常数。结果表明:T... 为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响。利用分光光度计测得石英玻璃基体TiO2薄膜试样的透射谱和反射谱,用包络线法和经验公式法计算出薄膜的光学常数。结果表明:TiO2薄膜的折射率随退火温度的上升而增加,低温退火时薄膜消光系数略有减小,500℃退火时TiO2薄膜具有最优的光学性能。 展开更多
关键词 退火温度 二氧化钛薄膜 光学性能 中频交流磁控溅射 薄膜光学
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TiO_2复合薄膜光生亲水及防结雾性能研究 被引量：3
3
作者 侯亚奇 庄大明 +3 位作者 张弓 孙涛磊 江雷 吴敏生 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期329-333,共5页
利用中频交流磁控溅射技术制备了TiO2 薄膜、Ag/TiO2 复合薄膜和TiO2 :MoO3 复合薄膜 ,研究了TiO2 薄膜的光生亲水性和防结雾特性 ,讨论Ag及MoO3 对TiO2 薄膜光生亲水性的影响。发现 :制备的TiO2 薄膜有良好的光生亲水性和防结雾效果 ,... 利用中频交流磁控溅射技术制备了TiO2 薄膜、Ag/TiO2 复合薄膜和TiO2 :MoO3 复合薄膜 ,研究了TiO2 薄膜的光生亲水性和防结雾特性 ,讨论Ag及MoO3 对TiO2 薄膜光生亲水性的影响。发现 :制备的TiO2 薄膜有良好的光生亲水性和防结雾效果 ,同时薄膜越厚其光生亲水性越明显。 80 0nm的TiO2 薄膜在TUV辐照 3min后其接触角可下降至 2°以下。Ag/TiO2 复合薄膜是一种接触角在较大范围内可变的薄膜材料 ,紫外辐射可使其接触角在 12 0°到 0°间调节。而TiO2 :MoO3 复合薄膜的光生亲水性则远比TiO2 薄膜差。 展开更多
关键词 TIO2薄膜 AG/TIO2 亲水性 复合薄膜 接触角 磁控溅射技术 发现 中频 薄膜材料 性能研究
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中频交流反应溅射TiO_2薄膜制备及光催化性能研究 被引量：1
4
作者 侯亚奇 张弓 +1 位作者 庄大明 吴敏生 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1073-1079,共7页
利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜,利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌,并利用多种降解对象研究了TiO2薄膜的光催化降解性能.结果发现:利用Ar/O2混合气体反应溅射纯Ti靶制备的TiO2薄膜符合化学计量... 利用中频交流反应磁控溅射技术制备TiO2薄膜,利用AES、XRD和SEM分析了制得的TiO2薄膜的成分、结构和表面形貌,并利用多种降解对象研究了TiO2薄膜的光催化降解性能.结果发现:利用Ar/O2混合气体反应溅射纯Ti靶制备的TiO2薄膜符合化学计量比,呈现柱状生长.TiO2薄膜均为锐钛矿相,晶粒随薄膜厚度增加逐渐长大.制得的TiO2薄膜对亚甲基蓝、甲基橙和敌敌畏都具有确实的光催化降解效果,同时具有很好的光催化性能稳定性. 展开更多
关键词 TIO2薄膜 中频交流磁控溅射 光催化降解 亚甲基蓝 甲基橙
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不同氩气流量下溅射所得TiO_x薄膜的结构和光学性能
5
作者 刘春伟 黄美东 +2 位作者 杜姗 唐晓红 吕长东 《天津师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2014年第2期27-30,共4页
为探究不同氩气流量对TiOx薄膜结构和光学性能的影响,采用常温反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备TiOx薄膜样品,利用X线衍射分析样品的晶体结构,通过原子力显微镜观察样品表面结构,使用光栅光谱仪测试样品透射率,并计算得到薄... 为探究不同氩气流量对TiOx薄膜结构和光学性能的影响,采用常温反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备TiOx薄膜样品,利用X线衍射分析样品的晶体结构,通过原子力显微镜观察样品表面结构,使用光栅光谱仪测试样品透射率,并计算得到薄膜沉积速率和消光系数等光学参数.实验结果表明:氩气流量对TiOx薄膜的光学性能具有较为明显的影响,随着氩气流量的增加,薄膜的光学厚度和沉积速率随之增加,而折射率有微小增加,消光系数受氩气流量的影响不大. 展开更多
关键词 氧化钛薄膜 磁控溅射 氩气流量 透射谱 折射率
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电泳法制备纳米TiO_2薄膜光催化性能的研究 被引量：1
6
作者 张颖 姚明明 +2 位作者 卢萍 于婷 孙国新 《中国粉体技术》 CAS 2006年第5期19-23,共5页
采用电泳法在导电玻璃上镀纳米TiO2薄膜,制得的TiO2薄膜经高温烧结后进行光降解实验。通过XRD、SEM、DTA、EDS等测试分析,确定了超细微粒TiO2的外观形貌和结构特征。实验结果表明,该法制得的TiO2薄膜具有一定的厚度、均匀平整、粗糙度... 采用电泳法在导电玻璃上镀纳米TiO2薄膜,制得的TiO2薄膜经高温烧结后进行光降解实验。通过XRD、SEM、DTA、EDS等测试分析,确定了超细微粒TiO2的外观形貌和结构特征。实验结果表明,该法制得的TiO2薄膜具有一定的厚度、均匀平整、粗糙度好。极性溶剂种类、胶体浓度、电泳电压、电泳时间、镀膜次数及掺杂离子等影响电泳成膜质量及膜对甲基橙溶液的光降解效果。 展开更多
关键词 电泳 纳米二氧化钛薄膜 光催化
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