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TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展
被引量:
2
1
作者
史晓伟
白佳海
+3 位作者
王前
杜庆洋
张雍
魏春城)
《耐火材料》
CAS
北大核心
2020年第1期77-81,共5页
TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响...
TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。
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关键词
TiB2-BN-AlN复相陶瓷
蒸发舟
导电陶瓷
致密度
导电性
抗弯强度
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职称材料
题名
TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展
被引量:
2
1
作者
史晓伟
白佳海
王前
杜庆洋
张雍
魏春城)
机构
山东理工大学材料科学与工程学院
山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司
出处
《耐火材料》
CAS
北大核心
2020年第1期77-81,共5页
基金
山东省自然科学基金资助项目(ZR2018MEM018)
淄博校城融合计划支持项目(2017ZBXC059)
文摘
TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。
关键词
TiB2-BN-AlN复相陶瓷
蒸发舟
导电陶瓷
致密度
导电性
抗弯强度
Keywords
titanium
diboride
-
boron
nitride
-
aluminium
nitride
composite
ceramics
evaporators
conductive
ceramics
density
conductivity
bending
strength
分类号
TQ175 [化学工程—硅酸盐工业]
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作者
出处
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被引量
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1
TiB2-BN-AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展
史晓伟
白佳海
王前
杜庆洋
张雍
魏春城)
《耐火材料》
CAS
北大核心
2020
2
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