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基于过焦扫描光学显微术的套刻误差检测方法研究
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作者 刘浩 王劲松 +3 位作者 石俊凯 李冠楠 陈晓梅 周维虎 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期123-130,共8页
针对套刻误差测量,提出了一种基于过焦扫描光学显微技术(TSOM)结合深度学习模型的测量方法,利用传统光学显微镜采集不同偏移量的套刻标识图像,建立TSOM图集,通过卷积神经网络模型对套刻标识偏移量进行回归预测,最终得到套刻误差预测结... 针对套刻误差测量,提出了一种基于过焦扫描光学显微技术(TSOM)结合深度学习模型的测量方法,利用传统光学显微镜采集不同偏移量的套刻标识图像,建立TSOM图集,通过卷积神经网络模型对套刻标识偏移量进行回归预测,最终得到套刻误差预测结果的误差小于0.1 nm,重复精度(3σ)优于0.25 nm。实验结果表明,基于TSOM结合深度学习的测量方法实现了亚纳米级精度套刻误差测量。该方法可以为优化光刻工艺提供有力的支撑。 展开更多
关键词 测量 套刻误差 过焦扫描光学显微技术 深度学习 无损检测
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基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法 被引量：2
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作者 王娜 刘立拓 +4 位作者 宋晓娇 王德钊 王盛阳 李冠楠 周维虎 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期112-119,共8页
微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(... 微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(TSOM)的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台,沿光轴对亚表面缺陷进行扫描,得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠,生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。 展开更多
关键词 亚表面缺陷 缺陷检测 过焦扫描光学显微镜 深度定位
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