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三维表面形貌测量中的共聚焦显微成像技术研究进展 被引量：4
1
作者 王玥颖 刘旭 郝翔 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第8期127-138,共12页
随着精密仪器制造和半导体加工产业的蓬勃发展,对微小结构表面形貌的观察和测量是现代科学研究的一个重要方向。激光扫描共聚焦显微成像技术因高分辨率、高信噪比和优秀的层切能力在三维表面形貌测量领域备受青睐。介绍共聚焦显微成像... 随着精密仪器制造和半导体加工产业的蓬勃发展,对微小结构表面形貌的观察和测量是现代科学研究的一个重要方向。激光扫描共聚焦显微成像技术因高分辨率、高信噪比和优秀的层切能力在三维表面形貌测量领域备受青睐。介绍共聚焦显微成像技术的基本原理,并对适用于三维表面形貌测量领域的共聚焦显微成像方法进行综述,包括共聚焦成像的不同扫描方法、不同探测手段及基于光谱的共聚焦成像技术。最后,对共聚焦显微成像技术未来的发展趋势进行展望。 展开更多
关键词 共聚焦显微成像技术 三维表面形貌测量 扫描成像 轴向定位
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基于数字图像相关法的透明液滴形貌测量方法
2
作者 谭新韵 沈丽骊 孙晨 《实验力学》 CSCD 北大核心 2024年第1期7-16,共10页
对固体表面液滴形貌的测量与分析是探究固-液相互作用、表面性能表征中的重要环节。然而,透明液滴通常在光学系统中难以成像,从而为其全场形貌测量带来了极大困难。为此,本文提出了一种透明液滴三维形貌测量方法,以液滴诱发图像位移结... 对固体表面液滴形貌的测量与分析是探究固-液相互作用、表面性能表征中的重要环节。然而,透明液滴通常在光学系统中难以成像,从而为其全场形貌测量带来了极大困难。为此,本文提出了一种透明液滴三维形貌测量方法,以液滴诱发图像位移结合折射成像规律实现液滴形貌的测量。首先,通过数字图像相关法测量液滴导致的固体表面图像位移;其次,建立基于折射成像的物理模型,确立图像位移与液面高度之间的关系;最后,由实验测量到的图像位移,结合物理模型求解液面高度,实现液滴三维形貌的重建。实验结果表明,所提出的方法能够准确地测量固体表面的液滴三维形貌,并且适用于不规则液面的测量。 展开更多
关键词 液滴 三维形貌 数字图像相关 全场测量
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基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量 被引量：1
3
作者 周俊涛 高志山 +5 位作者 孙一峰 马剑秋 谢澎飞 张佳乐 郭珍艳 袁群 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期72-79,共8页
传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时,测量效率低下。为此,提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法,该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的... 传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时,测量效率低下。为此,提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法,该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的评价函数,利用粗扫描来定位被测件上下表面的大致位置,并联系上下两幅粗扫描图像计算出覆盖被测件上下表面相干区域的精扫描采图区域。精扫描在其他区域直接跳过但记录位移量,结合π/2扫描移相的精扫描干涉图复原被测件的表面三维形貌。粗扫描的扫描步长由低相干光谱分布计算得到,精扫描步长为中心波长的1/8。以高度为7.805μm的台阶板和深度为200.99μm的沟槽进行实验,结果表明,所提方法相比传统垂直扫描方法的采图时间分别缩短了48.2%和55.2%。 展开更多
关键词 测量 表面三维形貌 快速垂直扫描测量 光谱分布特性
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机械零件三维表面形貌测量与评定的研究 被引量：2
4
作者 杨旭东 李家春 谢铁邦 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第8期102-104,共3页
介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作... 介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作为二维工作台的计量系统,所以在表面形貌的测量过程中二维工作台在X和Y两个水平方向上都能获得精确的定位。 展开更多
关键词 机械零件 三维表面形貌 测量与评定
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一种新型精密三维工作台的设计及其应用 被引量：1
5
作者 陈育荣 杨旭东 谢铁邦 《湖北汽车工业学院学报》 2007年第3期25-28,共4页
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的... 介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。 展开更多
关键词 三维精密工作台 垂直扫描 表面形貌测量
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基于垂直扫描的精密三维工作台及应用 被引量：1
6
作者 黎新 陈育荣 王生怀 《自动化与仪器仪表》 2011年第6期96-97,100,共3页
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷... 介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。 展开更多
关键词 三维精密工作台 垂直扫描 表面形貌测量 压电陶瓷驱动器
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