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透明材料飞秒激光三维微制备
被引量：
5
1
作者
李焱
蒋红兵
+1 位作者
杨宏
龚旗煌
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期188-193,共6页
利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注。本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维...
利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注。本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维点存储和其它三维点阵结构等;通过界面的烧蚀过程进行打孔、切割和刻蚀等;利用双光子聚合制备微透镜、光子晶体和衍射光学元件等等。
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关键词
飞秒激光
透明材料
三维微制备
微爆炸
双光子聚合
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职称材料
双光子三维微细加工的分辨率研究
被引量：
6
2
作者
蒋中伟
袁大军
+4 位作者
郭锐
徐藻
王翔
夏安东
黄文浩
《微细加工技术》
2004年第2期31-36,共6页
为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下...
为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
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关键词
等光强面
双光子激发
三维微细加工
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职称材料
电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
3
作者
卢文娟
张玉林
+1 位作者
孔祥东
郝惠娟
《微细加工技术》
EI
2006年第5期13-17,共5页
从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法。通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰...
从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法。通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的三维结构,验证了该方法的可行性。
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关键词
电子束光刻
微三维加工
辐射降解
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
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职称材料
飞秒激光在三维微细体系中的应用
被引量：
4
4
作者
李承德
王丹翎
+2 位作者
罗乐
杨宏
龚旗煌
《物理》
CAS
2000年第12期719-723,共5页
飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获得超强光场 ,并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域 ,其与透明物质相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现 ,故作用区限域于焦点核心很小体积内 ,因而在三维微制备及...
飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获得超强光场 ,并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域 ,其与透明物质相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现 ,故作用区限域于焦点核心很小体积内 ,因而在三维微制备及生物医学领域有着独到优势 .文章介绍了飞秒激光应用于微爆炸、高密度三维光学数据存储、直写光波导及三维光子晶体制备、生物医学工程等方面的最新进展 .飞秒激光三维微制备技术在微电子、计算机、光通信。
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关键词
飞秒激光
三维激光微制备
光聚合
三维微细体系
原文传递
双光子激光三维微细加工及信息存储技术
被引量：
2
5
作者
袁大军
周拥军
+4 位作者
蒋中伟
黄文浩
夏安东
褚家如
刘允萍
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期173-176,共4页
利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统 ,以及用该系统进行三维光学微...
利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统 ,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况 。
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关键词
双光子激光
三维微细加工
信息存储技术
飞秒激光器
电子器件
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职称材料
题名
透明材料飞秒激光三维微制备
被引量：
5
1
作者
李焱
蒋红兵
杨宏
龚旗煌
机构
北京大学物理系
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期188-193,共6页
基金
国家重大基础研究项目(973)TG1999075207
国家基金委项目(90206003
90101027)
文摘
利用飞秒激光对透明材料进行改性和加工,制备三维微结构和器件受到极大的关注。本文介绍了在透明材料内部或表面进行微制备的方法和应用,包括利用飞秒激光诱导的折射率变化来制作光波导、光栅和耦合器等;利用材料内部的微爆炸实现三维点存储和其它三维点阵结构等;通过界面的烧蚀过程进行打孔、切割和刻蚀等;利用双光子聚合制备微透镜、光子晶体和衍射光学元件等等。
关键词
飞秒激光
透明材料
三维微制备
微爆炸
双光子聚合
Keywords
laser
techniques
femtosecond
laser
three
-
dimensional
microfabrication
transparent
material
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
双光子三维微细加工的分辨率研究
被引量：
6
2
作者
蒋中伟
袁大军
郭锐
徐藻
王翔
夏安东
黄文浩
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《微细加工技术》
2004年第2期31-36,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(50275140)
国家863基金资助项目(MEMS2003AA404-03)
文摘
为了改善双光子加工的成型精度和微器件的质量,提高加工系统的分辨率是十分重要的。根据自由基类光聚合材料双光子加工分辨率的理论分析,提出等光强面概念,并在此基础上讨论了激发光强与系统加工分辨率之间的关系。通过不同光强条件下双光子三维加工固化单元的实验,验证了等光强面和系统分辨率之间的对应关系,并分析了出现微小差异的原因。根据上述理论模型,可以估算一定实验条件下系统可实现的加工分辨率,优化加工工艺参数。最后给出了部分微器件的成型结果。
关键词
等光强面
双光子激发
三维微细加工
Keywords
isocandela
diagram
two-photon
excitation
three
-
dimensional
microfabrication
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
3
作者
卢文娟
张玉林
孔祥东
郝惠娟
机构
山东大学控制学院电子束研究所
东营职业学院
出处
《微细加工技术》
EI
2006年第5期13-17,共5页
基金
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003)
国家自然科学基金资助项目(10572078)
+1 种基金
山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
山东省科技攻关计划基金资助项目(022090105)
文摘
从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法。通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的三维结构,验证了该方法的可行性。
关键词
电子束光刻
微三维加工
辐射降解
聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)
Keywords
electron
beam
lithography
three
-
dimensional
microfabrication
radiation
damage
polymethylmethacrylate
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
飞秒激光在三维微细体系中的应用
被引量：
4
4
作者
李承德
王丹翎
罗乐
杨宏
龚旗煌
机构
北京大学物理系人工微结构与介观物理国家重点实验室
出处
《物理》
CAS
2000年第12期719-723,共5页
基金
国家基础研究专项经费!(批准号 :G1 9990 7560 7)资助项目
国家自然科学基金!(批准号 :1 99840 0 1
1 952 541 2 )资助项目
文摘
飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获得超强光场 ,并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域 ,其与透明物质相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现 ,故作用区限域于焦点核心很小体积内 ,因而在三维微制备及生物医学领域有着独到优势 .文章介绍了飞秒激光应用于微爆炸、高密度三维光学数据存储、直写光波导及三维光子晶体制备、生物医学工程等方面的最新进展 .飞秒激光三维微制备技术在微电子、计算机、光通信。
关键词
飞秒激光
三维激光微制备
光聚合
三维微细体系
Keywords
femtosecond
laser,
three
dimensional
laser
microfabrication
,
photo
polymerization,
optical
damage,
ophthalmic
surgl
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
双光子激光三维微细加工及信息存储技术
被引量：
2
5
作者
袁大军
周拥军
蒋中伟
黄文浩
夏安东
褚家如
刘允萍
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
中国科学院分子反应动力学国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期173-176,共4页
基金
自然科学基金 (5 0 2 75 14 0 )
中科院百人计划资助
文摘
利用具有极高脉冲光强的飞秒激光器和对光束进行强聚焦的显微镜装置可以制造具有亚微米精度的三维微器件以及进行三维高密度信息存储。文本介绍了自行开发的双光子微细加工系统以及三维高密度信息存储系统 ,以及用该系统进行三维光学微细加工及三维光学信息存储的实验情况 。
关键词
双光子激光
三维微细加工
信息存储技术
飞秒激光器
电子器件
Keywords
two
photon
excitation
femtosecond
laser
three
dimensional
microfabrication
three
dimensional
optical
data
storage
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透明材料飞秒激光三维微制备
李焱
蒋红兵
杨宏
龚旗煌
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004
5
下载PDF
职称材料
2
双光子三维微细加工的分辨率研究
蒋中伟
袁大军
郭锐
徐藻
王翔
夏安东
黄文浩
《微细加工技术》
2004
6
下载PDF
职称材料
3
电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
卢文娟
张玉林
孔祥东
郝惠娟
《微细加工技术》
EI
2006
0
下载PDF
职称材料
4
飞秒激光在三维微细体系中的应用
李承德
王丹翎
罗乐
杨宏
龚旗煌
《物理》
CAS
2000
4
原文传递
5
双光子激光三维微细加工及信息存储技术
袁大军
周拥军
蒋中伟
黄文浩
夏安东
褚家如
刘允萍
《微纳电子技术》
CAS
2003
2
下载PDF
职称材料
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