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三维电子束云纹法
被引量:
1
1
作者
温辉辉
花韬
+2 位作者
李传崴
刘战伟
谢惠民
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015年第4期407-413,共7页
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合...
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。
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关键词
三维电子束云纹法
三维形貌
立体成像技术
面内变形
原文传递
题名
三维电子束云纹法
被引量:
1
1
作者
温辉辉
花韬
李传崴
刘战伟
谢惠民
机构
北京理工大学宇航学院力学系
西安飞行自动控制研究所
清华大学航天航空学院力学系
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015年第4期407-413,共7页
基金
国家自然科学基金(Nos.11232008
11372037)
教育部新世纪优秀人才支持计划(NCET-12-0036)的资助
文摘
三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法。该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息。考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式。利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息。对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性。
关键词
三维电子束云纹法
三维形貌
立体成像技术
面内变形
Keywords
three
-
dimensional
electron beam
moire
method
three
-
dimensional
morphology
stereographic
imaging
technique
in-plane
deformation
分类号
O343.2 [理学—固体力学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三维电子束云纹法
温辉辉
花韬
李传崴
刘战伟
谢惠民
《实验力学》
CSCD
北大核心
2015
1
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