多层薄膜二次电子发射特性的理论研究 被引量：2

1

作者 陈凤 郭金川 +1 位作者 陈泗方 周彬 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期417-421,共5页

为提高硅基微通道板(silicon-based microchannel plate,Si-MCP)的增益特性,提出采用复合发射层结构取代常规的单发射层结构以改善微通道内壁的二次电子发射特性.计算了Si O2/Si、Al2O3/Si、Mg O/Si双层薄膜在不同厚度下的二次电子发射... 为提高硅基微通道板(silicon-based microchannel plate,Si-MCP)的增益特性,提出采用复合发射层结构取代常规的单发射层结构以改善微通道内壁的二次电子发射特性.计算了Si O2/Si、Al2O3/Si、Mg O/Si双层薄膜在不同厚度下的二次电子发射系数与初电子能量的关系曲线,并对结果进行了比对验证.该计算结果对设计制作硅基MCP具有一定参考价值. 展开更多

关键词 薄膜物理学 硅基微通道板 二次电子发射 数值模拟 发射系数 薄膜厚度

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ZrO_2薄膜残余应力实验研究 被引量：29

2

作者 邵淑英 范正修 +1 位作者 范瑞瑛 邵建达 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期437-441,共5页

采用ZYGOMarkⅢ GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO2 薄膜中的残余应力进行了研究 ,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO2 薄膜残余应力的影响。实验结果表明 :随着沉积温度及沉积速率的升高 ,ZrO2 薄膜中残余应力状态... 采用ZYGOMarkⅢ GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO2 薄膜中的残余应力进行了研究 ,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO2 薄膜残余应力的影响。实验结果表明 :随着沉积温度及沉积速率的升高 ,ZrO2 薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力 ,且压应力值随着沉积温度升高而增大。同时用X射线衍射技术测量分析了不同沉积条件下ZrO2 薄膜的微结构组织 ,探讨了ZrO2 展开更多

关键词 二氧化锆薄膜 薄膜物理 残余应力实验 沉积温度 沉积速率 电子束蒸发法 X射线衍射技术

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沉积温度对电子束蒸发沉积ZrO_2薄膜性质的影响 被引量：20

3

作者 邵淑英 范正修 +2 位作者 范瑞瑛 贺洪波 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期701-704,共4页

ZrO2 薄膜样品在不同的沉积温度下用电子束蒸发的方法沉积而成。利用X射线衍射 (XRD)仪和原子力显微镜 (AFM)检测了ZrO2 薄膜的晶体结构和表面形貌 ,发现室温下沉积ZrO2 薄膜样品为非晶结构 ,随着沉积温度升高 ,ZrO2 薄膜出现明显的结... ZrO2 薄膜样品在不同的沉积温度下用电子束蒸发的方法沉积而成。利用X射线衍射 (XRD)仪和原子力显微镜 (AFM)检测了ZrO2 薄膜的晶体结构和表面形貌 ,发现室温下沉积ZrO2 薄膜样品为非晶结构 ,随着沉积温度升高 ,ZrO2 薄膜出现明显的结晶现象 ,在薄膜中同时存在四方相及单斜相。薄膜表现为自由取向生长 ,晶粒尺寸随沉积温度升高而增大。同时发现薄膜中的残余应力随沉积温度的升高 ,由张应力状态变为压应力状态 ,这一变化主要是薄膜结构变化引起的内应力的作用结果。同时讨论了不同沉积温度对ZrO2 薄膜光学性质的影响。 展开更多

关键词 薄膜物理学 ZRO2薄膜 电子束蒸发 沉积温度

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氧化锌薄膜的电化学沉积法制备及受激发射研究 被引量：13

4

作者 张宇 王刚 +7 位作者 崔一平 翁健 马懿 徐岭 徐骏 陈坤基 张海黔 顾宁 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期97-100,共4页

采用一种简单的电化学沉积法 ,在三电极化学池中 ,以单一的硝酸锌水溶液作为电沉积液 ,制备了高光学质量的半导体ZnO薄膜。透射光谱测量表明其光学带隙为 3 35eV ,4 0 0～ 2 0 0 0nm波段的光学透过率大于 80 %。X射线衍射 (XRD)和原子... 采用一种简单的电化学沉积法 ,在三电极化学池中 ,以单一的硝酸锌水溶液作为电沉积液 ,制备了高光学质量的半导体ZnO薄膜。透射光谱测量表明其光学带隙为 3 35eV ,4 0 0～ 2 0 0 0nm波段的光学透过率大于 80 %。X射线衍射 (XRD)和原子力显微镜 (AFM)研究表明 ,ZnO薄膜为纤锌矿结构的无序多晶颗粒膜 ,微晶尺寸小于 2 5 0nm。当用 35 5nm的皮秒脉冲激光作为抽运源垂直入射薄膜表面时 ,可以检测到 4 0 0nm附近的近紫外受激发射光 ,其强度随入射强度呈超线性增长关系 ,阈值在 196 8kW /cm2 处 ,并且激光发射是多模的和各个方向的 ,还与被激发的面积有关 。 展开更多

关键词 薄膜物理学 氧化锌薄膜 电化学沉积 受激发射 随机激光

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偶氮金属镍薄膜的折射率和吸收特性研究 被引量：4

5

作者 耿永友 顾冬红 干福熹 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1091-1094,共4页

偶氮金属镍 (Ni(azo) 2 )是一类具有很大潜力的可录光盘存储介质。为了准确地获取一种偶氮金属镍薄膜的光学常数 ,用旋涂法 (Spin- coating)在单晶硅片上制备了 Ni(azo) 2 薄膜。在波长扫描和入射角可变全自动椭圆偏振光谱仪上研究了 Ni... 偶氮金属镍 (Ni(azo) 2 )是一类具有很大潜力的可录光盘存储介质。为了准确地获取一种偶氮金属镍薄膜的光学常数 ,用旋涂法 (Spin- coating)在单晶硅片上制备了 Ni(azo) 2 薄膜。在波长扫描和入射角可变全自动椭圆偏振光谱仪上研究了 Ni(azo) 2 薄膜的椭偏光谱。采用逼近算法获得了 Ni(azo) 2 薄膜在可见光范围内的复折射率、复介电函数、吸收系数和薄膜厚度。分析了 Ni(azo) 2 薄膜可见吸收光谱的形成机理。结果表明在波长 6 5 0 nm处薄膜的折射率为 2 .19,吸收常数为 0 .0 2 3,具有良好的吸收和反射特性 ,显示出作为高密度数字多用光盘 (DVD- R)记录介质的良好应用前景。 展开更多

关键词 薄膜物理学 薄膜光学常数 椭偏光谱 偶氮金属镍螯合物

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基于产学研协同育人的薄膜物理与技术课程教学模式探索——以长春理工大学为例

6

作者 杨继凯 王连锴 +1 位作者 王国政 王新 《高教学刊》 2024年第7期102-105,共4页

在产学研协同育人培养技能型和应用型全面人才的背景下,以长春理工大学薄膜物理与技术课程为例,通过课程内容优化、线上教学资源建设、课内实验及竞赛联合项目设置,教学设计改革、课程测试与评价建设及课程思政建设几方面对产学研协同... 在产学研协同育人培养技能型和应用型全面人才的背景下,以长春理工大学薄膜物理与技术课程为例,通过课程内容优化、线上教学资源建设、课内实验及竞赛联合项目设置,教学设计改革、课程测试与评价建设及课程思政建设几方面对产学研协同育人的课程教学模式进行探索,最终提高学生实践创新能力、科研能力及自身就业竞争力。同时,其也是培养合格员工且缩短人才培养周期的最佳途径,另外,也为高校产学研协同育人的课堂教学改革及实践提供一定的参考。 展开更多

关键词 产学研 协同育人 薄膜物理与技术 教学改革 教学实践

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超快光场驱动的二氧化钒薄膜相变研究进展

7

作者 王康 刘一 宋立伟 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期238-257,共20页

二氧化钒(VO2)是一种典型的强关联电子材料,当达到相变阈值时,会可逆地从绝缘单斜相转变到金属金红石相,这种相变主要通过温度、光照、电场、磁场、应力等激励条件激发。相突变可在亚皮秒时间尺度内发生,并会伴随着光学透过率、折射率... 二氧化钒(VO2)是一种典型的强关联电子材料,当达到相变阈值时,会可逆地从绝缘单斜相转变到金属金红石相,这种相变主要通过温度、光照、电场、磁场、应力等激励条件激发。相突变可在亚皮秒时间尺度内发生,并会伴随着光学透过率、折射率和磁化率等特性的显著变化,其中相变前后电阻率会发生3~5个数量级的变化,这使得VO2在智能节能窗、光电探测、光电存储、光开关等领域有着重要的应用前景。首先介绍了VO2的相变机制,主要有电子关联驱动、晶格结构驱动以及两者共同驱动,接着重点介绍了利用超快时间分辨技术,尤其是太赫兹时域光谱技术,来研究VO2薄膜的相变动力学过程,最后,介绍了基于VO2薄膜的太赫兹调制器、太赫兹滤波器、太赫兹开关等领域的应用研究。 展开更多

关键词 薄膜物理学 二氧化钒薄膜 绝缘-金属相变 太赫兹时域光谱 太赫兹功能器件

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反应溅射法制备铝掺杂氧化锆薄膜及其热稳定性的研究 被引量：3

8

作者 马春雨 李智 张庆瑜 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1206-1210,共5页

采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜... 采用反应射频磁控溅射在Si(100)基片上制备了不同微结构的铝掺杂氧化锆薄膜.利用高分辨透射电子显微镜、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了退火温度对铝掺杂氧化锫薄膜热学稳定性、界面稳定性和表面粗糙度的影响,探讨了铝掺杂氧化锆薄膜的I-V特性与薄膜的微观状态之间的关系.研究结果显示:在铝掺杂氧化锆薄膜中掺入不同量的Al对薄膜的微结构有较大影响,随着薄膜中Al/Zr原子含量比的增大,薄膜微结构经历从α-ZrO_2(未掺杂)到t-(Zr,Al)O_2相和c-(Zr,Al)O_2相(Al/Zr=1/4)再到α-(Zr,Al)O_2(Al/Zr=4/5)的变化;与纯ZrO_2薄膜相比,Al掺杂氧化锫(Al/Zr=4/5)薄膜的结晶化温度明显提高,薄膜热学稳定性得到改善. 展开更多

关键词 薄膜物理学 铝掺杂氧化锆薄膜 磁控溅射 热稳定性

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激光诱导等离子体在金刚石表面沉积金属薄膜 被引量：2

9

作者 罗飞 龙华 +3 位作者 胡少六 江超 李波 王又青 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第10期1203-1206,共4页

介绍了一种利用脉冲准分子激光轰击钛(或镍)靶诱导出等离子体从而在金刚石颗粒表面沉积Ti,Ni等金属保护层的新方法。使用抗压强度测定仪测定并比较了金刚石颗粒表面镀敷金属层前后的抗压强度值,使用金相显微镜观察了金刚石镀膜前后的表... 介绍了一种利用脉冲准分子激光轰击钛(或镍)靶诱导出等离子体从而在金刚石颗粒表面沉积Ti,Ni等金属保护层的新方法。使用抗压强度测定仪测定并比较了金刚石颗粒表面镀敷金属层前后的抗压强度值,使用金相显微镜观察了金刚石镀膜前后的表面微观状态,并利用X射线衍射仪(XRD)测定了沉积在金刚石颗粒表面金属层的组份。结果表明,利用脉冲准分子激光在金刚石颗粒表面镀Ti后其抗压强度显著增加,而且由于脉冲准分子激光轰击金属靶材后诱导的等离子体能量较高,即使在非高温工作情况下也可在金刚石表面生成TiC膜,这大大提高了金属膜层与金刚石颗粒之间的结合紧密度,这种TiC膜层的形成对于延长金刚石锯片的使用寿命具有重大意义。 展开更多

关键词 薄膜物理学 Ti金属薄膜 脉冲激光 金刚石颗粒

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近红外激光退火晶化CIGS薄膜研究 被引量：1

10

作者 胡居广 汤华斌 +5 位作者 李启文 李学金 郑彬 刘毅 龙井华 林晓东 《深圳大学学报（理工版）》 EI CAS 北大核心 2013年第6期623-628,共6页

利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.对薄膜的光学特性、晶体结构和形貌等进行表征分析,结果表明,随着激光能量密度增加,铜铟镓硒薄膜结晶度增... 利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.对薄膜的光学特性、晶体结构和形貌等进行表征分析,结果表明,随着激光能量密度增加,铜铟镓硒薄膜结晶度增加,晶粒尺寸变大,压应力减小,禁带宽度增加.当激光能量密度为325 mJ/cm2时,薄膜的结晶度达最高值29.46%,晶粒尺寸达最大为15.4 nm,压应力最小,薄膜结晶质量最好,过低和过高的能量密度都不利于薄膜的结晶.同时分析了高能量密度时薄膜表面条纹的形成机理. 展开更多

关键词 薄膜物理 激光退火 铜铟镓硒薄膜 能量密度 结晶 压应力 表面条纹

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在ZnO/Si衬底上ZnCdSe/ZnSe多量子阱的生长与光学特性 被引量：1

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作者 王晓华 范希武 +2 位作者 单崇新 张振中 刘益春 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期297-300,共4页

在经NH3 等离子体氮化的Si(10 0 )衬底上 ,用等离子体增强化学气相淀积 (PECVD)的方法生长了ZnO缓冲层 ,经X射线衍射 (XRD)测量 ,得到了单一取向的ZnO(0 0 0 2 )膜。在此ZnO缓冲层上利用低压金属有机化学气相淀积 (LP MOCVD)方法生长了... 在经NH3 等离子体氮化的Si(10 0 )衬底上 ,用等离子体增强化学气相淀积 (PECVD)的方法生长了ZnO缓冲层 ,经X射线衍射 (XRD)测量 ,得到了单一取向的ZnO(0 0 0 2 )膜。在此ZnO缓冲层上利用低压金属有机化学气相淀积 (LP MOCVD)方法生长了较高质量的ZnCdSe/ZnSe量子阱。通过不同阱宽的ZnCdSe/ZnSe量子阱生长和测量 ,得到了多级共振拉曼峰。从发光谱中可见 ,在 5 2 0nm附近有很强的发光 ,而在未覆盖ZnO的Si衬底上直接生长的ZnCdSe/ZnSe量子阱结构 ,其光致发光 (PL)谱未见发光。可见 ,在氮化的Si衬底上覆盖ZnO膜生长的ZnCdSe/ZnSe量子阱质量较好 ,是一种在Si衬底上生长Ⅱ 展开更多

关键词 薄膜物理学 ZnO/Si衬底 ZnCdSe/ZnSe量子阱 低压金属有机化学气相淀积 生长 光学特性

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真空与薄膜实验课程的教学与研究能力的培养

12

作者 黄延伟 席俊华 李阳阳 《教育教学论坛》 2017年第9期268-270,共3页

本文通过对真空与薄膜实验课程的教学现状和存在问题的分析与讨论,提出如何深化学生对实验课程基础理论知识的理解,结合具体实验方案培养学生的创造性思维和创新研究能力,为培养现代化的综合性素质人才提供教学参考。通过真空与薄膜实... 本文通过对真空与薄膜实验课程的教学现状和存在问题的分析与讨论,提出如何深化学生对实验课程基础理论知识的理解,结合具体实验方案培养学生的创造性思维和创新研究能力,为培养现代化的综合性素质人才提供教学参考。通过真空与薄膜实验方面的训练,培养学生发现和解决问题的能力,从整体上培养和提高学生的研究能力。 展开更多

关键词 真空镀膜 薄膜物理 基础实验 研究创新能力

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《薄膜物理》教学中的美育

13

作者 宋春元 《科技视界》 2014年第14期19-19,56,共2页

美育是一种情感教育,在人的全面发展教育中占有重要地位。将美育融入学校教育全过程,是素质教育的重要组成部分。《薄膜物理》是一门主要面向工科学生开设的课程,如何将美育有机地融于《薄膜物理》课程教学中去,使薄膜物理教学富有生机... 美育是一种情感教育,在人的全面发展教育中占有重要地位。将美育融入学校教育全过程,是素质教育的重要组成部分。《薄膜物理》是一门主要面向工科学生开设的课程,如何将美育有机地融于《薄膜物理》课程教学中去,使薄膜物理教学富有生机和吸引力,推动素质教育的全面深入,是开展薄膜物理教学必须面对和思考的问题。本文主要探讨如何在《薄膜物理》教学中融入美育。 展开更多

关键词 美育 薄膜物理 教学探索

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激光对非λ/4膜系变反射率薄膜的损伤机理 被引量：1

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作者 倪晓武 陆建 +1 位作者 张放 马孜 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期268-270,共3页

讨论了高功率激光对非λ／４膜层组成的变反射率光学介质薄膜损伤时的场作用和热作用的物理机理，并对实际膜层的激光损伤阈值进行了测试。理论和实验研究结果证明，激光对该种膜系产生损伤的主要原因是膜层吸收激光能量引起的。

关键词 激光产生损伤 光学介质薄膜 热作用 物理机理

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