平面薄膜电感的研究与开发现状 被引量：5

1

作者 唐晓莉 苏桦 张怀武 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2003年第2期37-38,共2页

为满足电子系统的表面贴装技术、微组装技术发展的需要,对器件片式化、小型化、微型化的要求越来越高。而电感作为电路的三大基础性元件之一,其片式化、薄膜化势在必行。本文就近几年国内外片式薄膜电感的发展研究状况做一综述。

关键词 薄膜电感 结构 工艺

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片式薄膜功率电感的感值建模与结构分析

2

作者 张聪 徐玉珍 《电气开关》 2024年第1期31-39,共9页

随着便携式电子产品的轻薄化和小型化发展,电源模块也朝着小型化发展,所以对电源模块中体积最大的磁性元件电感进行建模设计就显得尤为重要。针对片式电感器的薄膜电感,首先应用磁场分割法,建立磁路模型,计算其感量;接着,进一步分析各... 随着便携式电子产品的轻薄化和小型化发展,电源模块也朝着小型化发展,所以对电源模块中体积最大的磁性元件电感进行建模设计就显得尤为重要。针对片式电感器的薄膜电感,首先应用磁场分割法,建立磁路模型,计算其感量;接着,进一步分析各磁阻的磁场大小,推出简易的磁场表达式,代入用多项式拟合后的磁导率曲线,对电感直流叠加特性进行研究;并且分析了当设计某目标感值时,匝数和电阻的关系,得出了在最优匝数下的磁芯高度占比范围在59%左右;最后运用有限元仿真软件验证了该模型的精确性和实用性,当磁芯高度占比在54.74%~63.16%时,误差范围为-1.97%~0.31%,当磁芯高度在59%左右时,饱和电流求解误差在4.28%以内。 展开更多

关键词 片式电感 薄膜电感 磁场分割法 直流叠加特性

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薄膜电感测试原理及方法 被引量：3

3

作者 李喜玲 乔亮 郭党委 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2015年第11期47-50,61,共5页

微器件的测试是保证器件质量和发展的关键手段。介绍了由矢量网络分析仪与探针台结合组成的薄膜电感测试系统,详细讲述了薄膜电感的测试原理及方法,实验样品验证了方法的正确性和可行性。

关键词 薄膜电感 矢量网络分析仪 探针台

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薄膜磁件的研究进展与应用

4

作者 程瑞军 叶宁 杨玉岗 《变压器》 北大核心 2006年第11期31-34,共4页

介绍了薄膜变压器、薄膜电感器及集成化薄膜磁性件的结构、材料、性能及应用。

关键词 薄膜变压器 薄膜电感器 薄膜集成磁件

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面向RFIC的片上铁氧体磁膜电感 被引量：1

5

作者 杨晨 刘锋 +1 位作者 任天令 刘理天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1930-1933,共4页

采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁... 采用集成工艺制作了片上铁氧体磁膜(Ni0.4Zn0.4Cu0.2Fe2O4,Y2.8Bi0.2Fe5O12和Co7ZrO9)射频微电感.铁氧体薄膜采用溶胶凝胶法制作,高频特性较好,适于片上电感的应用.对电感样品进行了测试和等效电路分析,结果表明,与无磁膜结构相对比,铁氧体磁膜电感显著增强了电感性能,是一种实现小尺寸、高性能片上RFIC电感的很有前景的途径. 展开更多

关键词 铁氧体薄膜 电感 射频集成电路

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电感特性随磁场变化响应机制及测试系统搭建

6

作者 李喜玲 毕四军 隋文波 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2020年第1期118-121,共4页

研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能... 研究电感特性随磁场变化的响应机制具有很重要的应用价值及研究意义。该文主要基于原有矢量网络分析仪和探针台,对薄膜电感测试系统增加磁场测试的功能,并编写自动化测试软件,从而测试在不同磁场下制备在YIG片子上的薄膜电感的高频性能随磁场的响应特性。 展开更多

关键词 矢量网络分析仪 探针台 薄膜电感 YIG 变化的磁场

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基于闭合磁路的框式薄膜电感的研究

7

作者 陈赵豪 谢致薇 +2 位作者 杨元政 何玉定 陈先朝 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2015年第1期40-44,共5页

通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）... 通过磁控溅射工艺制备出三种框式薄膜电感，其中特殊磁芯电感、全磁膜电感为设计制作的具有闭合磁性回路的特殊薄膜电感，而三文治结构电感是目前流行的薄膜电感，这些电感均由下层磁芯层、下层绝缘层（聚偏二氯乙烯，厚度约为40μm）、线圈和线圈中心的磁膜、上层绝缘层和上层磁芯层组成，其差别在于磁芯结构不同。在1~3 MHz频率范围内，比较了三种电感的等效电感、寄生电容和损耗因子。结果表明：与三文治结构电感和全磁膜电感相比，特殊磁芯电感有较高的等效电感量和较小的寄生电容，但损耗较后两者高。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁通方向 电感量 闭合磁路 寄生电容 损耗因子

原文传递

FeSiAl合金薄膜电感的研制与研究 被引量：7

8

作者 赵海燕 虞维扬 姚中 《金属功能材料》 CAS 2001年第3期17-21,共5页

本文采用DC直流溅射的方法研制了FeSiAl合金薄膜电感 ,并探讨了输入功率、靶与基板间距离等溅射成形条件及成膜速率的关系及其对薄膜电感性能的影响 ,同时还分析了不同状态下的FeSiAl合金薄膜的结构 ,讨论了产生DO3

关键词 FeSiAl合金 薄膜电感 DO3超结构 研制

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薄膜电感器的研究与应用 被引量：6

9

作者 唐晓莉 张怀武 苏桦 《磁性材料及器件》 CAS CSCD 2005年第3期9-12,共4页

目前IT系统向高集成度、高频宽带化方向发展,要求在更小的基片上集成更多的元器件,这除了依靠高密度集成技术的发展外,从器件本身出发,研制小型化、薄膜化的器件,以减小系统的整体体积、重量,才能达到降低功率损耗、提高信号传输效率的... 目前IT系统向高集成度、高频宽带化方向发展,要求在更小的基片上集成更多的元器件,这除了依靠高密度集成技术的发展外,从器件本身出发,研制小型化、薄膜化的器件,以减小系统的整体体积、重量,才能达到降低功率损耗、提高信号传输效率的要求。本文主要介绍为满足上述要求,作为三大无源器件之一的电感器的薄膜化进程,以及目前薄膜电感器的应用情况及发展前景展望。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁性薄膜 小型化 应用

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片上电源用高频薄膜磁微电感研究与发展 被引量：5

10

作者 陈为 杨仕军 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第24期5151-5165,共15页

电子产品的体积小型化和功能多样化为其内部各类芯片供电的电压调节模块带来了巨大挑战。片上电源(PwrSoC)系统在这方面具有广阔的应用前景,其中处理高频功率的薄膜磁微电感技术的突破是促进其进一步发展和推广应用的关键。重点介绍和... 电子产品的体积小型化和功能多样化为其内部各类芯片供电的电压调节模块带来了巨大挑战。片上电源(PwrSoC)系统在这方面具有广阔的应用前景,其中处理高频功率的薄膜磁微电感技术的突破是促进其进一步发展和推广应用的关键。重点介绍和分析薄膜磁微电感技术在国内外的研究现状,主要包括磁性薄膜材料、制作工艺和电感结构三个方面。进一步指出根据实际工况需要,通过对上述三个基本要素所包含不同技术方案的合理选取并加以适当优化,是设计和制作出具有优良性能的薄膜磁微电感的关键。最后,对薄膜磁微电感技术的发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 电压调节模块 片上电源 微电感 磁性薄膜材料 加工工艺 电感结构

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片上磁性薄膜电感设计与仿真

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作者 侯晓伟 郭俊杰 +1 位作者 吕阳 郑良广 《电子设计工程》 2022年第13期155-159,共5页

无源电感广泛应用在射频电路中,用于实现调谐、匹配、滤波等功能。针对片上空心平面螺旋电感的电感值和品质因数低的问题,设计了不同的磁通孔结构,并研究其对电感性能的影响,其中手指型磁通孔结构可以更有效降低涡流损耗。利用HFSS软件... 无源电感广泛应用在射频电路中,用于实现调谐、匹配、滤波等功能。针对片上空心平面螺旋电感的电感值和品质因数低的问题,设计了不同的磁通孔结构,并研究其对电感性能的影响,其中手指型磁通孔结构可以更有效降低涡流损耗。利用HFSS软件比较分析了两种优化后的磁通孔结构对固定线圈平面螺旋电感以及渐变型线圈平面螺旋电感的电感值以及品质因数等的影响。结果表明,顶部和底部磁膜不覆盖磁通孔的结构可以大幅度提高电感值和品质因数,且对渐变型平面螺旋电感的提高作用更为明显。该研究为后续磁膜微电感的设计优化提供了很好的借鉴经验。 展开更多

关键词 薄膜电感 磁通孔 渐变线圈 固定线圈 电感值 品质因数

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薄膜微型电源

12

作者 贾正根 《真空电子技术》 北大核心 1995年第1期41-45,共5页

介绍了新型的薄膜微型电源的工作原理、结构及制造工艺。

关键词 薄膜电感 薄膜变压器 DC-DC变换器 开关电源

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