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硒化亚锗薄膜太阳能电池研究进展 被引量：4
1
作者 闫彬 薛丁江 胡劲松 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第6期797-804,共8页
硒化亚锗(GeSe)禁带宽度合适(≈1.14 eV),吸光系数大(>10^(5)cm^(−1)),迁移率高(128.7 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)),价带顶中包含反键轨道赋予了其本征缺陷良性,理论光电转换效率可达30%以上,适合于制作高效薄膜太阳能电池;同时... 硒化亚锗(GeSe)禁带宽度合适(≈1.14 eV),吸光系数大(>10^(5)cm^(−1)),迁移率高(128.7 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)),价带顶中包含反键轨道赋予了其本征缺陷良性,理论光电转换效率可达30%以上,适合于制作高效薄膜太阳能电池;同时GeSe具有毒性低、储量丰富、组分简单及稳定性强等优点,还易于通过低成本的升华法进行薄膜制备,从而在大规模应用方面具有巨大潜力.以GeSe为研究对象,介绍了GeSe基本性质,总结了GeSe薄膜制备研究进展,阐述了GeSe薄膜太阳能电池研究现状,并展望了其今后发展方向与趋势. 展开更多
关键词 GeSe 太阳能电池 光伏 薄膜制备 缺陷性质
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磁控溅射技术及其发展 被引量：58
2
作者 李芬 朱颖 +2 位作者 李刘合 卢求元 朱剑豪 《真空电子技术》 2011年第3期49-54,共6页
磁控溅射技术可制备超硬膜、耐腐蚀摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜,以及各种具有特殊功能的薄膜,在工业薄膜制备领域的应用非常广泛。本文着重介绍了磁控溅射技术原理、特点、磁控溅射技术的发展史及其发展趋势。
关键词 薄膜制备 磁控溅射 平衡磁控溅射 非平衡磁控溅射
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太阳能电池材料-铜锌锡硫化合物薄膜制备及器件应用研究进展 被引量：13
3
作者 范勇 秦宏磊 +2 位作者 密保秀 高志强 黄维 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第6期643-652,共10页
锌黄锡矿结构的CZTS(铜锌锡硫)材料与目前在薄膜太阳能电池领域表现出色的黄铜矿结构的CIGS(铜铟镓硒)材料具有相似的晶体结构,且CZTS有着很好的光电性能,组成元素在地球上含量丰富,安全无毒,非常适合用来发展高效、廉价的太阳能电池.近... 锌黄锡矿结构的CZTS(铜锌锡硫)材料与目前在薄膜太阳能电池领域表现出色的黄铜矿结构的CIGS(铜铟镓硒)材料具有相似的晶体结构,且CZTS有着很好的光电性能,组成元素在地球上含量丰富,安全无毒,非常适合用来发展高效、廉价的太阳能电池.近期CZTS类太阳能电池的最高效率已达到12.6%,在科研和产业领域引起了广泛关注.在简介了"新星"太阳能电池材料CZTS的性质及薄膜太阳能电池器件的基本结构之后,重点总结了CZTS薄膜的制备方法(真空、非真空法)以及相应器件效率,其中对众多非真空制备法进行了独到的归类总结.最后,对CZTS薄膜的优化方法进行了分析,并对其未来发展方向做了展望. 展开更多
关键词 铜锌锡硫 薄膜制备 太阳能电池 效率 优化
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反应烧结碳化硅表面改性的初步研究 被引量：4
4
作者 王彤彤 高劲松 +4 位作者 王笑夷 陈红 郑宣鸣 范镝 申振峰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1603-1607,共5页
应用电子束蒸发硅，霍尔离子源电离甲烷，并辅助沉积的方法在反应烧结碳化硅（RBSiC）基底上沉积了碳化硅（SiC：H）改性薄膜。X射线衍射（XRD）测试表明制备的碳化硅改性薄膜为α相。通过控制沉积速率，制备了硬度为9．781～13．087GP... 应用电子束蒸发硅，霍尔离子源电离甲烷，并辅助沉积的方法在反应烧结碳化硅（RBSiC）基底上沉积了碳化硅（SiC：H）改性薄膜。X射线衍射（XRD）测试表明制备的碳化硅改性薄膜为α相。通过控制沉积速率，制备了硬度为9．781～13．087GPa，弹性模量为89．344～123．413GPa的碳化硅改性薄膜。比较同样条件下镀制银膜的抛光良好微晶玻璃和经过精细抛光的改性RBSiC，结果表明两者反射率相近；附着力实验表明，制备的薄膜和基底结合良好；在温度冲击实验下，制备的薄膜无龟裂和脱落。 展开更多
关键词 薄膜制备 碳化硅薄膜 表面改性 离子辅助电离 硬度和弹性模量
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车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜工艺研究 被引量：1
5
作者 李卓 吴博琦 史公莱 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期557-561,共5页
在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技... 在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技术为基础,优化、设计带通滤光膜系结构。采用OTFC-1300镀膜机制备薄膜,建立评价函数,通过牛顿迭代法优化薄膜结构,调节敏感膜层厚度,优化工艺,解决了实际镀制的薄膜通带中心区域透过率低,以及光谱曲线边缘起伏震荡大的问题,最终制作了光学性能好的滤光膜。测试表明:在800~1000nm波段平均透过率大于99%,在380~780nm波段平均透过率小于3%,在1064~1270nm波段平均透过率小于2%,该滤光膜可以满足车载主动式红外夜视系统环境使用要求。 展开更多
关键词 汽车主动式红外夜视系统 薄膜工艺 带通滤光膜 牛顿迭代法
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纯净化真空电弧沉积非晶硅薄膜
6
作者 邹积岩 程仲元 杨磊 《微细加工技术》 1996年第1期53-59,共7页
本文阐述了真空电弧沉积（ＶＡＤ）的各种净化方法，并讨论了纯净化的真空电弧在非晶硅膜层沉积方面的应用，包括在制造太阳能电池方面的应用前景。分析表明，真空电弧沉积非晶硅膜，关键在于合理设计弧源使电弧纯净化，采取各种有效方... 本文阐述了真空电弧沉积（ＶＡＤ）的各种净化方法，并讨论了纯净化的真空电弧在非晶硅膜层沉积方面的应用，包括在制造太阳能电池方面的应用前景。分析表明，真空电弧沉积非晶硅膜，关键在于合理设计弧源使电弧纯净化，采取各种有效方法抑制宏观颗粒对膜层的污染，同时采用适当的等离子体诊断设备，通过调节等离子体微观参数来控制膜层质量。 展开更多
关键词 真空电弧沉积 薄膜 非晶硅薄膜 半导体材料
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