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溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究 被引量：32
1
作者 袁宁一 李金华 林成鲁 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期852-856,共5页
利用溶胶 凝胶法在SiO2 Si衬底上沉积高取向的V2 O5薄膜 ,在压强低于 2Pa ,温度高于 40 0℃的条件下 ,对V2 O5薄膜进行真空烘烤 ,获得了电阻率变化 3个数量级以上、弛豫宽度为 6 2℃的VO2 多晶薄膜 .以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微... 利用溶胶 凝胶法在SiO2 Si衬底上沉积高取向的V2 O5薄膜 ,在压强低于 2Pa ,温度高于 40 0℃的条件下 ,对V2 O5薄膜进行真空烘烤 ,获得了电阻率变化 3个数量级以上、弛豫宽度为 6 2℃的VO2 多晶薄膜 .以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜 (SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据 ,详细分析了溶胶 凝胶薄膜在真空烘烤时从V2 O5向VO2 的转化 ,它经历了从VnO2n +1 (n =2 ,3,4,6 )到VO2 的过程 .实验证明 ,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶 凝胶V2 O5结构向VO2 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 氧化钒薄膜 VO2膜 转换特性
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氧化钒薄膜的结构、性能及制备技术的相关性 被引量：18
2
作者 袁宁一 李金华 林成鲁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期572-575,共4页
氧化钒薄膜及其在微电子和光电子领域中的应用已成为国际上新颖功能材料研究的热点之一。本文综述了V2 O5和VO2 薄膜电学性能与薄膜组分和结构的相关性 。
关键词 氧化钒薄膜 相变 热电阻温度系数 功能材料
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氧化钒薄膜微观结构的研究 被引量：26
3
作者 潘梦霄 曹兴忠 +5 位作者 李养贤 王宝义 薛德胜 马创新 周春兰 魏龙 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1956-1960,共5页
采用直流磁控反应溅射在Si(1 0 0 )衬底上溅射得到 (0 0 1 )取向的V2 O5薄膜 .x射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)和傅里叶变换红外光谱 (FTIR)的结果表明 ,氧分压影响薄膜的成分和生长取向 ,在氧分压 0 4Pa时溅射得到 (0 0 1 )取向的纳... 采用直流磁控反应溅射在Si(1 0 0 )衬底上溅射得到 (0 0 1 )取向的V2 O5薄膜 .x射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)和傅里叶变换红外光谱 (FTIR)的结果表明 ,氧分压影响薄膜的成分和生长取向 ,在氧分压 0 4Pa时溅射得到 (0 0 1 )取向的纳米V2 O5薄膜 ,即沿c轴垂直衬底方向取向生长的薄膜 .V2 O5薄膜经过真空退火得到 (0 0 1 )取向的VO2 薄膜 ,晶体颗粒长大 .对薄膜的分子结构和退火过程的晶格转换进行了分析 。 展开更多
关键词 氧化钒薄膜 微观结构 择优取向 直流磁控溅射 傅里叶变换红外光谱分析
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氧化钒薄膜的制备方法及结构性能 被引量：8
4
作者 袁宁一 李金华 林成鲁 《江苏石油化工学院学报》 2000年第4期1-4,共4页
氧化钒薄膜在非制冷红外成象器件中的应用已成为国际上研究的热点。各种晶体结构的氧化钒性能差异很大 ,为此综述了不同氧化钒晶体的结构和性能。由于制备方法及工艺条件对薄膜性能有较大影响 。
关键词 氧化钒晶体 氧化钒薄膜 制备分析 结构 性能
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