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题名薄膜热电堆热流传感器频率响应动态特性研究
被引量：2
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作者
刘云东
王高
张丛春
黄漫国
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机构
中北大学信息与通信工程学院
上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室
航空工业北京长城航空测控技术研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2022年第11期35-38,43,共5页
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基金
山西省研究生创新资助项目(2021Y579)。
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文摘
为了快速、准确地反映航空、航天部件瞬变热流的变化,需要热流传感器具有快速动态频率响应特性。传统测试方法的热流源频率调制方式粗略,热流上限低,无法满足未来高速热流传感器的测试要求。辐射热流测试系统以高功率半导体激光器作为热流源,通过电压控制模块调制激光器输出频率,系统响应时间可达微秒(μs)级,可以产生50 MW/m^(2)的热流信号。通过Z-t变换求得传感器脉冲响应的时间常数τ,获得频率响应理论值723 Hz;通过快速傅里叶变换(FFT)求得无量纲频率响应曲线,测得频率响应约为510 Hz,完成薄膜热电堆热流传感器动态频率响应测试,并分析传感器动态性能和综合评价测试平台。
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关键词
频率调制
辐射热流测试系统
薄膜热电堆热流传感器
频率响应
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Keywords
frequency modulated
radiation heat flow test system
thin film thermopile heat flow sensor
frequency response
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH89
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
V19
[机械工程—仪器科学与技术]
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