-
题名基于稀疏成像的半导体薄膜材料界面缺陷检测
- 1
-
-
作者
李聪
谭明
刘小标
李辉
-
机构
河南农业大学理学院
-
出处
《计算机仿真》
2024年第1期197-200,226,共5页
-
基金
国家自然科学基金(22005087)。
-
文摘
复杂背景下检测半导体薄膜材料界面微小缺陷具有一定的难度,为了精准检测半导体薄膜材料界面缺陷,提出一种稀疏成像下半导体薄膜材料界面缺陷检测方法。扫描采集半导体薄膜材料界面二维图像,对含有噪声的半导体薄膜材料界面实施小波分解,获取不同频带的子图像。低频图像保持不变,选择对应的模板对高频图像滤波处理,将滤波处理后的高频图像和低频图像两者合成,获取去噪后的图像。通过机器视觉定位薄膜材料界面的缺陷位置,提取缺陷区域特征,采用稀疏成像对特征参数修正,完成半导体薄膜材料界面缺陷检测。仿真结果表明,采用所提方法可以获取更加精准的检测结果,用时比较短,满足高效与高精度检测需求。
-
关键词
稀疏成像
半导体
薄膜材料
界面缺陷检测
小波分解
-
Keywords
Sparse imaging
Semiconductor
thin film materials
interface defect detection
Wavelet decomposition
-
分类号
TP212.9
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名基于薄膜界面探测的近海浅层气中甲烷浓度检测
被引量：4
- 2
-
-
作者
苗成省
李青
贾生尧
童仁园
王燕杰
-
机构
中国计量大学机电工程学院
-
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1662-1668,共7页
-
基金
浙江省重点研发计划项目(2018C03031)
国家自然科学基金面上项目(41376111)
+1 种基金
国家质量监督检验检疫总局科技计划项目(2017QK053)
浙江省大学生科技创新活动暨新苗人才计划项目(2018R409032)
-
文摘
基于薄膜界面探测的近海浅层气中甲烷浓度检测是利用特定的高分子气液分离渗透膜将浅层气从海水中分离出来,内部的红外甲烷气敏传感器感知甲烷浓度输出相应的模拟量值。数据采集与通讯节点将输出的模拟量拟合处理为具体的气体浓度值,并无线发送给上位机。实验结果表明,具有对近海浅层气中甲烷实现原位在线检测的能力,可操作性强。
-
关键词
薄膜界面探测
近海浅层气
红外甲烷气敏传感器
甲烷
-
Keywords
thin film interface detection
offshore shallow gas
infrared methane gas sensor
methane
-
分类号
TH766
[机械工程—仪器科学与技术]
-
-
题名近海浅层气甲烷浓度原位在线监测方法与仪器研究
被引量：1
- 3
-
-
作者
吴秀山
童仁园
李青
-
机构
浙江省农村水利水电资源配置与调控关键技术重点实验室
浙江水利水电学院电气工程学院
中国计量大学
-
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期153-158,共6页
-
基金
浙江省重点研发计划项目(2021C03016)
浙江省农村水利水电资源配置与调控关键技术重点实验室开放基金项目(ZJWEU-RWM-20200402B)
浙江水利水电学院校级科研项目(团队)立项项目。
-
文摘
近海浅层气实时原位在线监测对海洋建设工程的安全施工至关重要。提出了一种基于薄膜界面检测的近海浅层气甲烷浓度实时原位在线监测方法并进行了仪器研究。设计的近海浅层气检测探头实现了浅层气与沉积物的分离、甲烷气体浓度的检测、测量数据传输至监测数据汇集节点。仪器的信号汇集节点将接收的测量数据无线发射到上位机的接收电路,上位机实现测量数据的处理、记录和存储。搭建的模拟沉积物试验装置利用一系列不同标准浓度的甲烷气体对所设计的气体探头进行了验证,测量结果的相对误差均在-0.1%以内,实验结果表明设计的仪器具有优良的性能。最后选取了实际测量点完成了现场实时测量,实现了气体检测探头一次贯入海底,以及区域化、原位和在线浅层气中甲烷浓度的有效监测。
-
关键词
近海浅层气
薄膜界面
甲烷检测传感器
实时监测
-
Keywords
offshore shallow gas
thin film interface
methane detection sensor
realtime monitoring
-
分类号
TH702
[机械工程—仪器科学与技术]
TH89
[机械工程—精密仪器及机械]
-
