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硅压力传感器零点及零点温漂补偿的新方法 被引量:1
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作者 戎华 张声良 +2 位作者 马景洁 滕敏 朱长纯 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期39-42,共4页
分析了目前已发表的硅压力传感器零点及零点温漂串并联补偿电阻阻值计算方法的缺陷.提出了一种新的计算方法,并对它进行了简化.使得只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出,而无需测量电阻就可计算出补偿电阻的大小.实验证明,... 分析了目前已发表的硅压力传感器零点及零点温漂串并联补偿电阻阻值计算方法的缺陷.提出了一种新的计算方法,并对它进行了简化.使得只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出,而无需测量电阻就可计算出补偿电阻的大小.实验证明,经一次计算补偿,可使零点温漂降低一个数量级,使用极其方便,尤其适用于批量生产. 展开更多
关键词 压力传感器 零点 零点温漂 病态问题 补偿
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热光系数仪主要误差源及其抑制方法
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作者 梁松林 张辉荣 +6 位作者 吴扬海 罗辉 李斌 郭春艳 杨永强 张祖邦 孙志成 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期118-127,共10页
为了精确测量光学材料的热膨胀系数和折射率温度系数,建立了基于马赫-曾德尔干涉光路的同步测试系统——热光系数仪,对其中存在的波形扭曲和零漂现象进行了详细分析,并给出了有效的解决方案,最终通过对石英玻璃样品的测试充分验证了该... 为了精确测量光学材料的热膨胀系数和折射率温度系数,建立了基于马赫-曾德尔干涉光路的同步测试系统——热光系数仪,对其中存在的波形扭曲和零漂现象进行了详细分析,并给出了有效的解决方案,最终通过对石英玻璃样品的测试充分验证了该系统的高精度与可靠性。 展开更多
关键词 热膨胀系数 折射率温度系数 干涉测量 零漂
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低热零点漂移的高温绝压压力传感器 被引量:2
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作者 王天靖 梁庭 +2 位作者 雷程 王丙寅 陈国锋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第2期8-11,33,共5页
传统的高温绝压压力传感器一般采用硅和玻璃进行阳极键合来制备绝压腔。由于高温环境下硅片和硼硅玻璃的热膨胀系数不匹配,从而产生较高的热零点漂移。文中提出了一种低热零点漂移的压力传感器设计方案,由硅-玻璃-硅的三层结构代替普通... 传统的高温绝压压力传感器一般采用硅和玻璃进行阳极键合来制备绝压腔。由于高温环境下硅片和硼硅玻璃的热膨胀系数不匹配,从而产生较高的热零点漂移。文中提出了一种低热零点漂移的压力传感器设计方案,由硅-玻璃-硅的三层结构代替普通的双层阳极键合结构,并给出了热力学仿真模型。分析表明:改变传感器硅与玻璃的结构比例,实现应力匹配可以有效减小热应力。对芯片进行了高温实验测试,发现传感器的热零点漂移变化率减小了50%。 展开更多
关键词 绝压传感器 热应力 热膨胀系数 仿真 三层键合 热零点漂移
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石油井下测压器温漂的软件补偿 被引量:2
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作者 刘祖凡 祖静 崔春生 《计算机测量与控制》 CSCD 北大核心 2012年第1期273-275,共3页
针对石油井下压力测试,在射孔完井过程中会释放大量的热量,致使测压器的测试精度产生很大的不确定性。为了能够准确测出井下压力,根据井下高温环境的特点和传感器的特性,需要对测压器进行温度补偿;文章通过对测压器高低温测试特性的分析... 针对石油井下压力测试,在射孔完井过程中会释放大量的热量,致使测压器的测试精度产生很大的不确定性。为了能够准确测出井下压力,根据井下高温环境的特点和传感器的特性,需要对测压器进行温度补偿;文章通过对测压器高低温测试特性的分析,实验得出测压器输出的温度漂移曲线和最大漂移量;进而通过软件补偿的方式,使得测压器的热零点漂移系数由补偿前的±1FS/(55°C)降到补偿后的±0.03FS/(55°C),提高了一个数量级。 展开更多
关键词 射孔完井 井下压力 测压器 温度补偿 软件补偿 热零点漂移
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一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络 被引量:7
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作者 戎华 李俊峰 张声良 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期70-72,共3页
本文从恒压源和恒流源两种不同的供电方式出发 ,推导出了两套扩散硅压力传感器零点及零点温漂串、并联补偿电阻阻值的公式 ,运用这两套公式 ,只需测量流过电桥的电流、桥压以及零点输出 ,而无需测量桥臂电阻就可计算出补偿电阻的大小 。
关键词 压力传感器 零点温漂 电阻网络 扩散硅
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应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现 被引量:2
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作者 李建飞 薛兵 +2 位作者 张俊峰 朱小毅 王晓蕾 《地震地磁观测与研究》 2013年第1期205-211,共7页
介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标。小型恒温系统采用独特工艺,实现简单;恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗。实验结果表明,应用该系统的MEMS加... 介绍一种小型恒温系统的实现方法,使MEMS加速度计的工作区域温度保持恒定,从而改善MEMS加速度计的相关技术指标。小型恒温系统采用独特工艺,实现简单;恒温点可以根据环境温度的变化而改变,以降低功耗。实验结果表明,应用该系统的MEMS加速度计,由温度所引起的零点漂移值明显减小。 展开更多
关键词 恒温系统 MEMS加速度计 零点漂移 低功耗
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压阻式传感器温度误差补偿技术 被引量:1
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作者 张文 胡生清 《电子质量》 2003年第11期6-7,共2页
介绍了一种简单实用的压阻式传感器零点温度误差补偿技术在恒流源供电下,可用计算机同时采集多个待补偿传感器的输出电压和电桥输入端电压,即可通过软件自动计算出补偿电阻的大小并确定补偿位置,通过实验获得了较好的补偿效果,可以方便... 介绍了一种简单实用的压阻式传感器零点温度误差补偿技术在恒流源供电下,可用计算机同时采集多个待补偿传感器的输出电压和电桥输入端电压,即可通过软件自动计算出补偿电阻的大小并确定补偿位置,通过实验获得了较好的补偿效果,可以方便的指导实际生产。 展开更多
关键词 压阻式传感器 温度误差补偿 零点漂移 数据处理 恒压源供电
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