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国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展
被引量：
7
1
作者
牛晓龙
蔡春立
+1 位作者
何凤池
金晓鹏
《河北工业科技》
CAS
2014年第5期452-456,共5页
对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满...
对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满足区熔用超高纯多晶硅的要求。合理控制反应条件、保持反应环境的高度洁净,能够得到均匀、致密的高纯多晶硅棒,可以作为区熔法生产单晶硅棒的原料。
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关键词
硅烷热分解
多晶硅
高纯
区熔
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职称材料
流化床法制备颗粒多晶硅的研究现状
被引量：
1
2
作者
杨伟强
王宁
李良
《中国氯碱》
CAS
2023年第3期32-37,共6页
流化床制备颗粒多晶硅的技术具有能耗低、收率高、可连续化生产等优点。本文介绍了流化床制备颗粒多晶硅工艺的硅烷热分解法和三氯氢硅的氢还原法,分别阐述了两种方法的原理、工艺中存在的问题及近些年的研究现状。
关键词
流化床
制备
颗粒多晶硅
硅烷热分解
三氯氢硅
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职称材料
题名
国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展
被引量：
7
1
作者
牛晓龙
蔡春立
何凤池
金晓鹏
机构
六九硅业有限公司
出处
《河北工业科技》
CAS
2014年第5期452-456,共5页
文摘
对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满足区熔用超高纯多晶硅的要求。合理控制反应条件、保持反应环境的高度洁净,能够得到均匀、致密的高纯多晶硅棒,可以作为区熔法生产单晶硅棒的原料。
关键词
硅烷热分解
多晶硅
高纯
区熔
Keywords
thermal
decomposition
of
silane
polysilicon
high
purity
FZ
grade
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
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职称材料
题名
流化床法制备颗粒多晶硅的研究现状
被引量：
1
2
作者
杨伟强
王宁
李良
机构
新疆协鑫新能源材料科技有限公司
乐山协鑫新能源科技有限公司
出处
《中国氯碱》
CAS
2023年第3期32-37,共6页
文摘
流化床制备颗粒多晶硅的技术具有能耗低、收率高、可连续化生产等优点。本文介绍了流化床制备颗粒多晶硅工艺的硅烷热分解法和三氯氢硅的氢还原法,分别阐述了两种方法的原理、工艺中存在的问题及近些年的研究现状。
关键词
流化床
制备
颗粒多晶硅
硅烷热分解
三氯氢硅
Keywords
fluidized
bed
preparation
granular
polysilicon
thermal
decomposition
of
silane
trichloro
silane
分类号
TF533.21 [冶金工程—钢铁冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展
牛晓龙
蔡春立
何凤池
金晓鹏
《河北工业科技》
CAS
2014
7
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职称材料
2
流化床法制备颗粒多晶硅的研究现状
杨伟强
王宁
李良
《中国氯碱》
CAS
2023
1
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职称材料
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