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太阳能硅料化学清洗研究进展 被引量：1
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作者 申燕 贾艳飞 +2 位作者 姚旭 张健 廉佳林 《中国洗涤用品工业》 2016年第3期50-53,共4页
多晶硅作为太阳能光伏发电的主要材料,在太阳能光伏产业市场迅速发展的大背景下,对硅料清洁度的需求也逐步增加。化学清洗是目前硅料清洗的主要方法。本文综述了近年来硅料化学清洗的基本方法(RCA)及根据硅料的不同由RCA法发展出的其他... 多晶硅作为太阳能光伏发电的主要材料,在太阳能光伏产业市场迅速发展的大背景下,对硅料清洁度的需求也逐步增加。化学清洗是目前硅料清洗的主要方法。本文综述了近年来硅料化学清洗的基本方法(RCA)及根据硅料的不同由RCA法发展出的其他化学清洗方法。 展开更多
关键词 化学清洗 太阳能硅料 rca标准清洗法 其他清洗方法
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