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压电陶瓷微驱动器用于超精定位的技术研究 被引量：15
1
作者 孙涛 谭久彬 董申 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1999年第6期493-497,共5页
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究，并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线。经测试，通过闭环控制的定位重复性精度在-１５ｎｍ～＋１５ｎｍ以内，采取这些关键... 对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究，并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线。经测试，通过闭环控制的定位重复性精度在-１５ｎｍ～＋１５ｎｍ以内，采取这些关键技术措施是可行的。 展开更多
关键词 超精密定位 压电陶瓷 驱动器
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基于CCD的激光微位移测量系统研究 被引量：13
2
作者 赵育良 许兆林 李开端 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期73-75,共3页
介绍了一种基于多普勒效应的可进行动态微位移测量的激光微位移测量系统。该系统以He Ne激光器为光源 ,配以干涉系统移动方向判别及分频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图处理软件包等。与传统测量方法相比 ,... 介绍了一种基于多普勒效应的可进行动态微位移测量的激光微位移测量系统。该系统以He Ne激光器为光源 ,配以干涉系统移动方向判别及分频系统、CCD视频信号的高速动态采集系统、微机处理系统及干涉图处理软件包等。与传统测量方法相比 ,其精度、灵敏度及稳定性都有较大提高 ,并实现了微位移的全自动测量。 展开更多
关键词 CCD 微位移测量 多普勒效应 干涉 HE-NE激光器
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压电器件在微位移系统中的应用 被引量：6
3
作者 赵辉 浦昭邦 +1 位作者 刘国栋 杨晓新 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2000年第4期244-245,252,共3页
提出了一种采用压电陶瓷器件实现微位移系统的方法，可在１０μｍ内实现０．０１μｍ的微动分辨力。该方法已成功应用在惯性仪表零件小孔径的亚微米超精测量系统中，达到了满意的效果。
关键词 微位移系统 电压器件 陶瓷器件
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反射式光纤微位移传感器 被引量：14
4
作者 丛红 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第9期70-71,77,共3页
依据光纤反射调制原理进行了反射式光纤位移传感检测系统的设计,利用计数器外径千分尺的测头镜面作为反射体和微位移测量工具,详细介绍了微位移测量装置和传感器检测电路。实验表明,在0～2mm范围内检测系统的输出与位移成线性关系,灵敏... 依据光纤反射调制原理进行了反射式光纤位移传感检测系统的设计,利用计数器外径千分尺的测头镜面作为反射体和微位移测量工具,详细介绍了微位移测量装置和传感器检测电路。实验表明,在0～2mm范围内检测系统的输出与位移成线性关系,灵敏度为195μV/μm,线性度为±0.5%,适于微位移的测量。 展开更多
关键词 光纤 微位移 检测系统
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利用光纤传感器测定金属的线胀系数 被引量：18
5
作者 崔惜琳 《物理实验》 2006年第5期46-47,共2页
将反射式光纤位移传感器应用于固体线膨胀系数测定仪,可以较精确地测定金属线胀系数.
关键词 线胀系数 微小位移 光纤传感器
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空间微动平台的柔性铰链参数优化设计 被引量：16
6
作者 黄金永 魏燕定 张炜 《机电工程》 CAS 2006年第1期55-57,46,共4页
在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合空间微动平台的特点:轻量化、小尺寸、尽可能高的一阶共振频率,以及满足平台工作行程、驱动器推力大小、和材料许用应力等要求,通过对柔性铰链公式的详细分析,给出了这... 在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合空间微动平台的特点:轻量化、小尺寸、尽可能高的一阶共振频率,以及满足平台工作行程、驱动器推力大小、和材料许用应力等要求,通过对柔性铰链公式的详细分析,给出了这类微动平台的设计流程和实例演示,同时也有助于我们理解柔性铰链各参数间的作用和相互关系。 展开更多
关键词 微动平台 柔性铰链 优化设计
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一种高速压电陶瓷驱动器驱动电源设计 被引量：14
7
作者 刘岩 邹文栋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第1期48-49,52,共3页
利用转移和压缩控制信号的方法寻求放大器件最佳线性放大区域,设计出一种高速的压电陶瓷驱动电源。由于电压放大部分不含比较以及反馈成分,减少了容性结构,从而提高了整体响应时间。对小推力叠层型压电陶瓷的实验表明,该驱动电源的响应... 利用转移和压缩控制信号的方法寻求放大器件最佳线性放大区域,设计出一种高速的压电陶瓷驱动电源。由于电压放大部分不含比较以及反馈成分,减少了容性结构,从而提高了整体响应时间。对小推力叠层型压电陶瓷的实验表明,该驱动电源的响应时间接近1.5μs,最高交流响应频率达500 kHz。 展开更多
关键词 压电陶瓷 微位移 驱动电源 快速响应
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AD698在DGC-6PG/A差动电感式位移传感器中的应用 被引量：10
8
作者 段中华 王中训 胡自强 《现代电子技术》 2008年第4期162-164,共3页
主要研究AD698在差动电感式位移传感器中的应用。对差动电感式位移传感器的原理做了简要分析,给出AD698在DGC-6PG/A中应用的电路原理图,并对实际电路中出现的纹波噪声进行详细的分析,提出减小纹波噪声的有效措施,最终达到理想的效果。... 主要研究AD698在差动电感式位移传感器中的应用。对差动电感式位移传感器的原理做了简要分析,给出AD698在DGC-6PG/A中应用的电路原理图,并对实际电路中出现的纹波噪声进行详细的分析,提出减小纹波噪声的有效措施,最终达到理想的效果。并给出实验结果,在与微位移相关的机械量的测量以及纹波噪声的处理方面具有借鉴意义。 展开更多
关键词 AD698 差动电感式位移传感器 纹波噪声 微位移
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精密微位移工作台的设计与性能分析 被引量：12
9
作者 李蓓智 杨永金 +2 位作者 杨建国 张家梁 徐源 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2008年第4期41-43,53,共4页
在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度... 在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度分析;详细给出了柔性铰链的参数设计、有限元分析和疲劳寿命分析。 展开更多
关键词 微位移 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析(FEA)
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基于遗传算法的数字图像相关法在微位移测量中的应用 被引量：13
10
作者 葛朋祥 叶沛 李桂华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期198-203,共6页
对遗传算法、粒子群算法、人工鱼群算法三种整像素搜索算法在微位移测量中的应用进行了对比研究。以相关系数大小衡量图像的匹配精度,选择归一化互相关函数作为相关系数及算法的目标函数;对目标函数进行迭代求解,得到了整像素的微位移;... 对遗传算法、粒子群算法、人工鱼群算法三种整像素搜索算法在微位移测量中的应用进行了对比研究。以相关系数大小衡量图像的匹配精度,选择归一化互相关函数作为相关系数及算法的目标函数;对目标函数进行迭代求解,得到了整像素的微位移;以模拟散斑图为研究对象,对三种算法的匹配精度、搜索速度、微位移测量结果进行了对比分析。结果表明,遗传算法在匹配精度、搜索速度及微位移测量精度上具有明显的优势,能满足数字图像相关法在微位移测量中的应用需求。 展开更多
关键词 测量 数字图像相关法 微位移 匹配精度 搜索速度 遗传算法
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干涉仪移相器相位移π/2标定方法的研究 被引量：6
11
作者 朱煜 陈进榜 +2 位作者 朱日宏 陈磊 肖玉玲 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第10期951-954,共4页
干涉仪移相器的相位标定在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度．本文是用傅里叶变换的原理，测量出推动移相器移动的压电陶瓷堆（PZT）的微位移量，并在此基础上提出了一种用空域滤波法得到干涉因光强分布，并判断其移相误差从而校... 干涉仪移相器的相位标定在很大程度上决定了移相干涉仪的测量精度．本文是用傅里叶变换的原理，测量出推动移相器移动的压电陶瓷堆（PZT）的微位移量，并在此基础上提出了一种用空域滤波法得到干涉因光强分布，并判断其移相误差从而校正移相器步进。／2的方法．本文组建了一套数字平面干涉仪，对干涉仪移相器进行实验，在5步法情况下其移相误差在0．5％以下． 展开更多
关键词 干涉仪移相器 微位移 标定
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空间傅里叶变换红外光谱仪用全柔性机构的设计及研究 被引量：11
12
作者 林雪松 王淑荣 李福田 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期691-696,共6页
研究了采用弹性双平行四边形结构的空间傅里叶变换红外光谱仪用全柔性机构,即运动角镜扫描机构(MovingCube-Corner)的设计。采用双平行四边形结构,使其运动自由度降为一维,并保证运动直线误差为±3μm。所采用的弹性结构不仅可以用... 研究了采用弹性双平行四边形结构的空间傅里叶变换红外光谱仪用全柔性机构,即运动角镜扫描机构(MovingCube-Corner)的设计。采用双平行四边形结构,使其运动自由度降为一维,并保证运动直线误差为±3μm。所采用的弹性结构不仅可以用于控制单自由度微位移机构,而且还可以控制微转角机构。结果表明:该机构特别适合空间仪器和机构所要求的无润滑、无磨损、长寿命的需要。 展开更多
关键词 红外傅里叶变换光谱仪 弹性金属 微位移 扫描机构
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基于微位移技术提高CCD分辨率的方法 被引量：11
13
作者 周春大 张岩 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1969-1974,共6页
利用微小相对移动和计算机合成技术提高CCD等数字图像传感器分辨率是一个行之有效的方法·本文在这一技术的基础上,将CCD图像传感器按像元尺寸和不感光间隔尺寸二者之间的关系做出了分类,提出了适应更多图像传感器类型的高分辨率图... 利用微小相对移动和计算机合成技术提高CCD等数字图像传感器分辨率是一个行之有效的方法·本文在这一技术的基础上,将CCD图像传感器按像元尺寸和不感光间隔尺寸二者之间的关系做出了分类,提出了适应更多图像传感器类型的高分辨率图像的获取方法和算法,并给出了某些类型的CCD图像传感器通过微位移方式提高分辨率的限度·计算机模拟和实验都验证了这种新方法的可行性· 展开更多
关键词 图像传感器 CCD高分辨率 微位移 算法
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多重反射激光光杠杆测量金属线胀系数 被引量：10
14
作者 骆敏 骆泽如 +2 位作者 陈蕾 余观夏 林杨帆 《物理实验》 2018年第7期14-16,22,共4页
提出了多重反射光杠杆测量微位移的方法.该方法利用两个相同的平面镜增加光照传播过程中的反射次数,以提高放大倍数,并用螺旋测微计来确定放大倍数.相对于传统光杠杆,该测量方法光路调节简单,待测物理量少,读数更加快捷,直观性强,灵敏度高.
关键词 线胀系数 微位移 光杠杆 多重反射 激光
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拉伸法测量金属丝杨氏模量实验仪器的改进 被引量：10
15
作者 骆敏 黄嘉欣 余观夏 《大学物理实验》 2020年第5期92-94,共3页
基于多重反射光杠杆原理改进传统的金属丝杨氏模量的测量装置。在金属丝上施加持续而又均匀变化的力,引起金属丝长度的微小变化,通过光杠杆带动动镜的移动,从而引起标尺读数的变化。相对于传统光杠杆测量装置,本测量装置光路调节简单,... 基于多重反射光杠杆原理改进传统的金属丝杨氏模量的测量装置。在金属丝上施加持续而又均匀变化的力,引起金属丝长度的微小变化,通过光杠杆带动动镜的移动,从而引起标尺读数的变化。相对于传统光杠杆测量装置,本测量装置光路调节简单,放大倍数高,占用空间少,灵敏度高。 展开更多
关键词 杨氏模量 微位移 拉伸法 多重反射
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激光聚焦偏移测量微小位移方法研究 被引量：10
16
作者 陆惠宗 屠明亮 +2 位作者 纪晨东 董超 袁巨龙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期461-466,共6页
非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射... 非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量,结果显示位移测量精度优于10 nm(1σ),与理论计算的结果吻合。实验结果表明,该方法对测量微小位移可达nm精度,可应用于工业生产中对主轴振动、轴承球圆度等的在线精密测量。 展开更多
关键词 微小位移 激光聚焦偏移 空间滤波 测量精度 长期稳定性
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平行双关节坐标测量机连杆微变形测量系统 被引量：10
17
作者 于连栋 鲁思颖 +1 位作者 张炜 赵会宁 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第11期1621-1629,共9页
为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的... 为准确测量平行双关节坐标测量机零件弹性变形量,从而对由此引起的测量误差进行补偿,进一步提高平行双关节坐标测量机测量精度和可靠性,介绍了一种基于PSD位移检测的杆件微变形测量方法,通过激光参考光束将变形量的测量转化为位移量的测量。以FPGA为核心搭建信号转换、采集及传输电路。在Lab VIEW环境编写上位机软件分析测量数据。使用ANSYS软件进行力学仿真分析提出测量系统应具备的精度指标及测量范围。使用激光干涉仪标定系统响应特性,通过2D等电压间隔输出实验测定PSD有效面积内的位移响应矩阵,采用2D双三次样条插值法修正系统响应的非线性误差。实验证实系统可实现1.32μm(2σ)的位移测量精度。可用于平行双关节坐标测量机杆件变形测量,且其安装尺寸较小,可以实现在线检测。 展开更多
关键词 微位移 平行双关节坐标测量机 PSD 变形 误差 样条插值
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利用激光全息干涉测量梁的微小位移 被引量：7
18
作者 王秋芬 《物理实验》 2006年第8期8-12,共5页
全息干涉测量利用二次曝光记录物体在不同载荷状态下的相对位移场.通过在干板上记录和比较不同状态产生的光波的干涉,可以得到在不同载荷时干涉条纹随物体位移的变化情况,实现对物体微小变形、微小位移量的测量.本文利用激光全息干涉技... 全息干涉测量利用二次曝光记录物体在不同载荷状态下的相对位移场.通过在干板上记录和比较不同状态产生的光波的干涉,可以得到在不同载荷时干涉条纹随物体位移的变化情况,实现对物体微小变形、微小位移量的测量.本文利用激光全息干涉技术测量了金属梁的微小位移量,计算得到金属梁的弹性模量和挠度. 展开更多
关键词 激光全息干涉 微小位移 挠度 弹性模量
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北斗卫星微位移监测系统在油气管道地质灾害监测预警中的应用 被引量：9
19
作者 徐江桥 张洪奎 +4 位作者 刘道乾 孙伟 刘新 刘青 贾宗凯 《矿产勘查》 2020年第12期2803-2808,共6页
油气管道铺设线路所经区域地形条件复杂,受到地质灾害的影响较大,为了避免地质灾害对管道造成破坏,提高油气管道运输的安全性,采用北斗卫星微位移监测模块对管道桩号为JG7410的滑坡地质灾害点进行实时监测。该点处管道穿坡而过,边坡完... 油气管道铺设线路所经区域地形条件复杂,受到地质灾害的影响较大,为了避免地质灾害对管道造成破坏,提高油气管道运输的安全性,采用北斗卫星微位移监测模块对管道桩号为JG7410的滑坡地质灾害点进行实时监测。该点处管道穿坡而过,边坡完整性和植被覆盖遭到破坏,存在滑坡风险。我们将监测站布设于管道上方切坡处,基准站布设于距离监测站1km处,监测数据通过基准站进行校正、解算处理后,精度可达毫米级。此外,研究将获取的位移数据与降雨数据进行对比,结果表明:该滑坡体的沉降量与沉降速率主要受降雨因素影响,且沉降速率的加速与汛期有关。这说明北斗微位移监测模块在滑坡位移监测过程中应用前景很好,在很大程度上可以避免重大滑坡事故的发生,保证了油气管道完整性和安全性。 展开更多
关键词 油气管道 地质灾害 北斗卫星 微位移 监测预警
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微型反射式横向位移光纤传感器研究 被引量：6
20
作者 柴宝德 徐峰 褚渊 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期587-589,共3页
提出了一种测量横向位移的微型反射式光纤传感器,可用于测量物体相对传感器轴线垂直方向的微位移变化量。从光纤出射光场的光强分布函数出发,用数值积分的方法求解出了反射式横向位移传感器的光强调制曲线,进而设计了光纤传感探头和电... 提出了一种测量横向位移的微型反射式光纤传感器,可用于测量物体相对传感器轴线垂直方向的微位移变化量。从光纤出射光场的光强分布函数出发,用数值积分的方法求解出了反射式横向位移传感器的光强调制曲线,进而设计了光纤传感探头和电路。结果表明,传感器的测量线性范围是1mm,分辨率达1μm。 展开更多
关键词 光纤传感器 横向位移 反射式 微位移 光强调制曲线
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