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基于AMR效应与Si集成的开关芯片制备与设计 被引量:1
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作者 武世祥 余涛 +2 位作者 王鹏 徐慧忠 张万里 《磁性材料及器件》 北大核心 2014年第4期34-36,57,共4页
采用射频(直流)磁控溅射的方法,在生长了约200nm厚Si3N4过渡层的硅片上制备了NiFe薄膜。采用惠斯通电桥作为磁场的感应部分,设计了惠斯通电桥的尺寸,并通过光刻剥离的技术制备了电桥。研究了NiFe薄膜厚度对电桥敏感特性的影响,确定了厚... 采用射频(直流)磁控溅射的方法,在生长了约200nm厚Si3N4过渡层的硅片上制备了NiFe薄膜。采用惠斯通电桥作为磁场的感应部分,设计了惠斯通电桥的尺寸,并通过光刻剥离的技术制备了电桥。研究了NiFe薄膜厚度对电桥敏感特性的影响,确定了厚度为50nm时有较高的灵敏度。将磁电阻敏感单元与信号放大处理电路集成,成功地制作出了磁场感应阀值为160A/m(2Oe)的磁电阻开关芯片。 展开更多
关键词 各向异性磁阻 溅射 NiFe薄膜 惠斯通电桥 开关芯片
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数控可选通微带滤波器组的设计与仿真 被引量:1
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作者 曹良足 符先敏 +1 位作者 蔡兵兵 李子敬 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第5期593-597,共5页
设计了宽频带数控可选通微带滤波器组,采用微波开关实现滤波器组的单个选通。分析了电容加载谐振器的谐波特性,每个带通滤波器被设计成梳状线结构,并用先进的设计系统(ADS)优化其结构参数。数控滤波器组由两片带译码器的微波开关芯片和... 设计了宽频带数控可选通微带滤波器组,采用微波开关实现滤波器组的单个选通。分析了电容加载谐振器的谐波特性,每个带通滤波器被设计成梳状线结构,并用先进的设计系统(ADS)优化其结构参数。数控滤波器组由两片带译码器的微波开关芯片和4个微带滤波器构成。仿真结果表明,三位二进制编码控制每个滤波器的通断,可实现500~2000 MHz频段滤波器的选通。 展开更多
关键词 开关滤波器组 带通滤波器 谐波特性 梳状线结构 开关芯片 ADS仿真软件
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