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高速光子晶体面发射激光器研究进展
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作者 潘绍驰 田思聪 +5 位作者 王品尧 王子烨 陆寰宇 佟存柱 王立军 BIMBERG Dieter 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期484-492,共9页
光子晶体面发射激光器(PCSEL)利用二维光子晶体光栅的布拉格共振实现面发射激光,具有其独特的优势,包括单模性能、在片测试、高功率、低发散角等。相比垂直腔面发射激光器(VCSEL),PCSEL有将近两倍的有源区光限制因子,展现出高速运行的... 光子晶体面发射激光器(PCSEL)利用二维光子晶体光栅的布拉格共振实现面发射激光,具有其独特的优势,包括单模性能、在片测试、高功率、低发散角等。相比垂直腔面发射激光器(VCSEL),PCSEL有将近两倍的有源区光限制因子,展现出高速运行的潜力。本文探讨了PCSEL的基本结构和工作原理,并详细分析了影响PCSEL激光器实现高速性能的关键因素。随后,文章系统地介绍了近年来研究者们为实现PCSEL高速性能所做的努力,重点聚焦于通过增强PCSEL的面内限制来缩小激光腔,并提供了相关的研究方向和指导。 展开更多
关键词 光子晶体 高速 面发射激光器
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Quantum dot vertical-cavity surface-emitting lasers covering the ‘green gap’ 被引量:5
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作者 Yang Mei Guo-En Weng +7 位作者 Bao-Ping Zhang Jian-Ping Liu Werner Hofmann Lei-Ying Ying Jiang-Yong Zhang Zeng-Cheng Li Hui Yang Hao-Chung Kuo 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期275-281,共7页
Semiconductor vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs)with wavelengths from 491.8 to 565.7 nm,covering most of the‘green gap’,are demonstrated.For these lasers,the same quantum dot(QD)active region was used,w... Semiconductor vertical-cavity surface-emitting lasers(VCSELs)with wavelengths from 491.8 to 565.7 nm,covering most of the‘green gap’,are demonstrated.For these lasers,the same quantum dot(QD)active region was used,whereas the wavelength was controlled by adjusting the cavity length,which is difficult for edge-emitting lasers.Compared with reports in the literature for green VCSELs,our lasers have set a few world records for the lowest threshold,longest wavelength and continuous-wave(CW)lasing at room temperature.The nanoscale QDs contribute dominantly to the low threshold.The emitting wavelength depends on the electron–photon interaction or the coupling between the active layer and the optical field,which is modulated by the cavity length.The green VCSELs exhibit a low-thermal resistance of 915 kW^(−1),which benefits the CW lasing.Such VCSELs are important for small-size,low power consumption full-color displays and projectors. 展开更多
关键词 GaN INGAN quantum dot vertical-cavity surface-emitting laser wide-gap semiconductor
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高质量的AlGaN外延结构和UVC垂直腔面发射激光器的实现
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作者 郑重明 王玉坤 +6 位作者 胡建正 郭世平 梅洋 龙浩 应磊莹 郑志威 张保平 《Science China Materials》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第5期1978-1988,共11页
AlGaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)因其优越的材料性质和器件优点吸引了很多关注.然而,由于材料外延生长和器件制备工艺的局限,AlGaN基VCSEL制备很困难.本工作通过侧向外延生长技术制备了高质量的AlGaN多量子阱(MQWs)结构的外延片,并通... AlGaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)因其优越的材料性质和器件优点吸引了很多关注.然而,由于材料外延生长和器件制备工艺的局限,AlGaN基VCSEL制备很困难.本工作通过侧向外延生长技术制备了高质量的AlGaN多量子阱(MQWs)结构的外延片,并通过X射线衍射(XRD)和光致发光(PL)实验对外延片进行了分析.XRD测量显示,外延片中的AlN模板层几乎是弛豫的,刃位错密度为10^(9)cm^(-2).随后,生长的AlGaN/AlN超晶格(SL)层被用来减少刃位错密度,使得量子阱中的位错密度为10^(8)cm^(-2).根据PL测试结果,MQWs的内量子效率(IQE)为62%,且在室温下的发光以辐射复合为主.通过激光剥离(LLO)和化学机械抛光(CMP)技术,将这些外延片制备成UVC VCSEL.经过这些工艺,MQWs的晶体质量没有受到影响,还在抛光之后的表面观察到了UVC波段的受激辐射.这些AlGaN基UVC VCSEL在275.91,276.28和277.64 nm实现了激射,最小激射阈值为0.79 MW cm^(-2). 展开更多
关键词 ALGAN vertical-cavity surface-emitting lasers epitaxial lateral overgrowth laser lift-off UVC
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VCSEL frequency stabilization for optically pumped magnetometers 被引量:4
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作者 Yeguang Yan Gang Liu +3 位作者 Haixiao Lin Kaifeng Yin Kun Wang Jixi Lu 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第12期64-69,共6页
Optically pumped magnetometers(OPMs)have developed rapidly in the bio-magnetic measurement field,which requires lasers with stable frequency and intensity for high sensitivity.Herein we stabilize a vertical-cavity sur... Optically pumped magnetometers(OPMs)have developed rapidly in the bio-magnetic measurement field,which requires lasers with stable frequency and intensity for high sensitivity.Herein we stabilize a vertical-cavity surface-emitting laser(VCSEL)without any additional setup except for the parts of an OPM.The linewidth of the absorption spectrum as a frequency reference is broadened to 40 GHz owing to pressure broadening.To enhance performance,the VCSEL injection current and temperature are tuned simultaneously using a closed-loop control system.The experiments reveal that the VCSEL frequency stability achieves 2×10^(-7) at an average time of 1 s,and the intensity noise is 1×10^(-6)V/Hz^(1/2) at 1-100 Hz.This approach is useful for suppressing OPM noise without additional sensor probe parts. 展开更多
关键词 optically pumped magnetometer vertical-cavity surface-emitting laser single-closed-loop double-closed-loop
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垂直外腔面发射激光器抽运脉冲的优化设计 被引量:4
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作者 张鹏 戴特力 +3 位作者 梁一平 范嗣强 蒋茂华 张玉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期1-6,共6页
采用脉冲抽运方式可显著改善光抽运垂直外腔面发射半导体激光器的热效应,大幅度提升激光器的输出功率。用有限元方法数值求解瞬态传热方程,得到激光器中温度升高的最大值随抽运脉冲的变化规律。讨论了抽运光脉冲宽度范围的选择,分析了... 采用脉冲抽运方式可显著改善光抽运垂直外腔面发射半导体激光器的热效应,大幅度提升激光器的输出功率。用有限元方法数值求解瞬态传热方程,得到激光器中温度升高的最大值随抽运脉冲的变化规律。讨论了抽运光脉冲宽度范围的选择,分析了抽运脉冲重复频率对激光器中温度升高最大值的影响作用,对抽运脉冲的时间宽度进行了优化设计。结果表明,对于基质去除型的InGaAs量子阱垂直外腔面发射激光器,抽运光脉冲的宽度介于1~10μs时,激光器中最大温升值即明显下降;同时,抽运脉冲的重复频率应限制在50kHz以内,以满足脉冲间隔大于激光器热弛豫时间的要求,否则激光器中会产生热量的积聚,增加最大温升值。 展开更多
关键词 激光器 面发射激光器 垂直外腔 抽运脉冲 热效应
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键合界面对面发射激光器的光、热性质影响 被引量:3
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作者 何国荣 郑婉华 +4 位作者 渠红伟 杨国华 王青 曹玉莲 陈良惠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期798-801,共4页
分析了采用双面键合长波长面发射激光器时,键合界面光吸收系数和电、热导率的变化对器件的光、热性质的影响。对于1λ光学腔的面发射激光器,键合界面吸收系数对器件光学性能影响较大,而对于1.5λ光学腔的面发射激光器,其光学性能基本不... 分析了采用双面键合长波长面发射激光器时,键合界面光吸收系数和电、热导率的变化对器件的光、热性质的影响。对于1λ光学腔的面发射激光器,键合界面吸收系数对器件光学性能影响较大,而对于1.5λ光学腔的面发射激光器,其光学性能基本不受键合界面吸收系数的影响。由有限元方法对面发射激光器的温度分布计算结果可知,当键合界面电、热导率小于GaAs电、热导率的1%时,激光器有源层的温度会有较大的上升。 展开更多
关键词 键合 面发射激光器 热导率 电导率 吸收系数
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A New Process for Improving Performance of VCSELs 被引量:1
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作者 郝永芹 钟景昌 +3 位作者 谢浩锐 姜晓光 赵英杰 王立军 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2290-2293,共4页
A new process method is proposed to improve the light output power of GaAs vertical cavity surface-emitting lasers (VCSELs). The VCSELs with open-annulus-distributed holes have a light output power 1.34 times higher... A new process method is proposed to improve the light output power of GaAs vertical cavity surface-emitting lasers (VCSELs). The VCSELs with open-annulus-distributed holes have a light output power 1.34 times higher than those with ring trenches. The 14μm-aperture devices have a light output power higher than 10mW and have a maximum of 12.48mW at 29.6mA. In addition,open-annulus-distributed holes offer bridges for current injection,so the connecting Ti-Au metal between the ohmic contact and bonding pad does not have to cross the ring trench, and it therefore would not cause the connecting metal to be broken. These VCSELs also show high-temperature operation capabilities,and they have a maximum output power of 8mW even at an operation temperature of up to 60℃. 展开更多
关键词 epitaxial growth laser diode quantum-well laser semiconductor laser vertical-cavity surface-emitting laser
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分布布拉格反射镜中具有渐变层的垂直腔面发射半导体激光器 被引量:1
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作者 刘颖 姜秀英 +2 位作者 刘素平 张晓波 杜国同 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期40-42,共3页
报道了分布布拉格反射镜(DBR)中具有渐变层的垂直腔面发射激光器的研究结果。器件是采用钨丝掩膜两次质子轰击方法制备的。该方法是目前报道的垂直腔面发射激光器制作方法中最简单的。初步的实验已实现室温宽脉冲高占空比激射,最... 报道了分布布拉格反射镜(DBR)中具有渐变层的垂直腔面发射激光器的研究结果。器件是采用钨丝掩膜两次质子轰击方法制备的。该方法是目前报道的垂直腔面发射激光器制作方法中最简单的。初步的实验已实现室温宽脉冲高占空比激射,最低阈值为18mA,最大峰值功率大于2mW,激射波长为871nm,串联电阻一般为100~200Ω。 展开更多
关键词 垂直腔 半导体激光器 DBR 激光器
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High power external-cavity surface-emitting laser with front and end pump
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作者 Lidan Jiang Renjiang Zhu +4 位作者 Maohua Jiang Dingke Zhang Yuting Cui Peng Zhang Yanrong Song 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第8期265-269,共5页
High power optically pumped vertical-external-cavity surface-emitting lasers with front and end pump are re- ported. The gain chip consists of 15 repeats of In0.26GaAs/GaAsP0.02 multiple quantum wells and 30 pairs of ... High power optically pumped vertical-external-cavity surface-emitting lasers with front and end pump are re- ported. The gain chip consists of 15 repeats of In0.26GaAs/GaAsP0.02 multiple quantum wells and 30 pairs of Alo.2GaAs/Alo.98GaAs distributed Bragg reflectors. The maximum output power of 3 W, optical-to-optical conversion efficiency of 22.4%, and slope efficiency of 29.8% are obtained with 5-℃ heatsink temperature under the front pump, while the maximum output power of 1.1 W, optical-to-optical conversion efficiency of 23.2%, and slope efficiency of 30.8% are reached with 5-℃ heatsink temperature under the end pump. Influences of thermal effects on the output power of the laser with front and end pump are discussed. 展开更多
关键词 surface-emitting laser EXTERNAL-CAVITY high power pump geometry
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850 nm Implant-confined VCSEL Temperature Characteristics
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作者 LILin ZHONGJing-chang LIUWen-li ZHAOYing-jie ZHANGYong-ming SUWei 《Semiconductor Photonics and Technology》 CAS 2004年第1期35-37,共3页
The temperature characteristics of VCSEL using proton implantation are described,compared with its edge-emitting counterpart.Implant-confined VCSEL operation has been realized up to 120 ℃.These records of high operat... The temperature characteristics of VCSEL using proton implantation are described,compared with its edge-emitting counterpart.Implant-confined VCSEL operation has been realized up to 120 ℃.These records of high operating temperature are caused by high characteristic temperature. The relevant physical mechanisms including their dependence on temperature and carrier density are considered. The temperature sensitivity of the threshold current is not strongly increasing with higher temperature. 展开更多
关键词 Temperature characteristic Vertical-cavity surface-emitting lasers Optical losses laser measurements laser thermal factors
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键合界面对面发射激光器光与热性质的影响
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作者 何国荣 郑婉华 +4 位作者 渠红伟 杨国华 王青 曹玉莲 陈良惠 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期1840-1845,共6页
通过界面有效吸收系数的计算及界面对腔模的反射率的影响可知,采用双面键合技术制备面发射激光器应使键合界面处于驻波场分布零点位置,同时界面厚度应该小于20nm以使器件光学性能受界面吸收系数的影响较小.采用有限元方法分析VCSEL温度... 通过界面有效吸收系数的计算及界面对腔模的反射率的影响可知,采用双面键合技术制备面发射激光器应使键合界面处于驻波场分布零点位置,同时界面厚度应该小于20nm以使器件光学性能受界面吸收系数的影响较小.采用有限元方法分析VCSEL温度分布,结果证实薄的键合界面使VCSEL有源区温度对界面的热导率和电导率改变不敏感,而厚的键合界面将可能使有源区温度有较大地升高,给器件带来严重的不良影响.亲水键合和疏水键合的SEM照片说明疏水处理界面较薄,适合用于器件的制备.而亲水处理界面厚度>40nm,对器件的光、热特性不利. 展开更多
关键词 面发射激光器 热导率 电导率 键合界面
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Optimization for Top DBR’s Reflectivity in RCE Photodectector
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作者 梁琨 陈弘达 +3 位作者 邓晖 杜云 唐君 吴荣汉 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期409-413,共5页
The monolithic integration of vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSEL) with photodetectors is very important in the application of free-space optical interconnects.Theoretical and experimental results on the re... The monolithic integration of vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSEL) with photodetectors is very important in the application of free-space optical interconnects.Theoretical and experimental results on the resonant-cavity-enhanced (RCE) photodetector with VCSEL Structure are presented.The compatible requirement in input mirror reflectivity between the VCSEL and the RCE detector is achieved by precisely etching the top mirror.In this way,the RCE detector with relatively high quantum efficiency and necessary optical bandwidth has been obtained.[KH8/9D] 展开更多
关键词 vertical-cavity surface-emitting laser resonant-cavity-enhanced photodetector distributed Bragg reflector free-space optical interconnects
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Analysis of optical coupling behavior in twodimensional implant-defined coherently coupled vertical-cavity surface-emitting laser arrays
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作者 GUANZHONG PAN YIYANG XIE +4 位作者 CHEN XU YIBO DONG JUN DENG HONGDA CHEN JIE SUN 《Photonics Research》 SCIE EI 2018年第11期1048-1055,共8页
Optical coupling behavior and associated effects in two-dimensional implant-defined coherently coupled verticalcavity surface-emitting laser(VCSEL) arrays are studied via both experiments and theoretical calculations.... Optical coupling behavior and associated effects in two-dimensional implant-defined coherently coupled verticalcavity surface-emitting laser(VCSEL) arrays are studied via both experiments and theoretical calculations.Experiments show that optical coupling between array elements can enhance the array's output power.Additionally, optical coupling via leaky optical fields can provide extra optical gain for the array elements, which can then reduce the thresholds of these elements. Elements can even be pumped without current injection to emit light by receiving a strong leaky optical field from other array elements. Optical coupling can also cause unusual phenomena: the central elements in large-area coherently coupled VCSEL arrays that lase prior to the outer elements when the arrays are biased, or the average injection current required for each element to lase, which is much lower than the threshold for a single VCSEL. Theoretical calculations are performed to explain the experimental 展开更多
关键词 VCSEL implant-defined VERTICAL-CAVITY surface-emitting laser
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Si反射面组合式二维面发射激光二极管列阵
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作者 张晓波 高舒波 杜国同 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1990年第3期57-61,共5页
制备了一种组合式二维面发射激光二极管列阵。该列阵含6个发光区,脉冲输出功率可达220mW,且具有制作方便,兼备Si过渡热沉的优点,有利于器件可靠性的改善。并对影响发光效率的原因进行了分析。
关键词 半导体激光器 面反射 组合式
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国外军用大功率半导体激光器的发展现状 被引量:20
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作者 李明月 何君 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期321-327,共7页
由于半导体激光器具有体积小、结构简单、质量轻、转换效率高、可靠性好、寿命长、易于调制及与其他半导体器件易于集成等特点,可应用于军事、工业、医疗、通信等领域,尤其是在激光制导跟踪、激光雷达、激光引信、激光测距、激光通信、... 由于半导体激光器具有体积小、结构简单、质量轻、转换效率高、可靠性好、寿命长、易于调制及与其他半导体器件易于集成等特点,可应用于军事、工业、医疗、通信等领域,尤其是在激光制导跟踪、激光雷达、激光引信、激光测距、激光通信、激光模拟武器、激光瞄准告警和光纤陀螺等军事领域得到广泛应用。概述了近年来美国和欧洲等国家在半导体激光器方面的主要研制计划及其所取得的成果,重点介绍了Ga As基和In P基近红外大功率半导体激光器、中远红外及太赫兹量子级联半导体激光器等的发展现状和最新研制成果。随着新型半导体材料、激光器结构和热管理等技术的发展,展望了未来半导体激光器技术的发展趋势。 展开更多
关键词 半导体激光器 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 大功率 量子级联激光器(QCL) 太赫兹
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980nm高功率VCSEL的光束质量 被引量:19
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作者 李特 宁永强 +8 位作者 孙艳芳 崔锦江 郝二娟 秦莉 套格套 刘云 王立军 崔大复 许祖彦 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期641-645,共5页
利用CCD成像技术,设计出一种简单的测量垂直腔面发射激光器(VCSEL)的光束质量因子M2的方法。在注入电流分别为900mA,1500mA,3000mA和6000mA时,对出光孔径300μm,激射波长为980nm的垂直腔底面发射激光器的束腰等光束参数进行了测量,并应... 利用CCD成像技术,设计出一种简单的测量垂直腔面发射激光器(VCSEL)的光束质量因子M2的方法。在注入电流分别为900mA,1500mA,3000mA和6000mA时,对出光孔径300μm,激射波长为980nm的垂直腔底面发射激光器的束腰等光束参数进行了测量,并应用激光光束传播的高斯方程拟合求得了M2因子的值分别为66,58,44和53。另外,当注入电流为900mA和3000mA时,对器件的远场分布进行了分析并测得了器件的远场发散角,测量值与理论计算值吻合较好。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射激光器 光束质量因子 远场发散角 注入电流 高功率
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基于光反馈的单向耦合注入垂直腔表面发射激光器的矢量混沌同步特性研究 被引量:13
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作者 钟东洲 夏光琼 +1 位作者 王飞 吴正茂 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期3279-3291,共13页
基于自旋反向模型(SFM),数值研究了基于光反馈的单向耦合注入垂直腔表面发射激光器的矢量混沌同步特性,研究结果表明:当外部光反馈时间等于光从发射系统到接收系统传输时间时,^x偏振模和^y偏振模都能接收最好的完全混沌同步质量.若外部... 基于自旋反向模型(SFM),数值研究了基于光反馈的单向耦合注入垂直腔表面发射激光器的矢量混沌同步特性,研究结果表明:当外部光反馈时间等于光从发射系统到接收系统传输时间时,^x偏振模和^y偏振模都能接收最好的完全混沌同步质量.若外部光反馈时间不等于传输时间且注入电流接近阈值电流时,占主导的^y偏振模能暂时实现较好的完全混沌同步质量.相比较而言,占主导地位的^x偏振模至始至终获得很差的同步质量,另外,当系统输出为混合偏振模时,混合偏振模中的每一个线性偏振模获得很差完全同步质量.然而,当注入电流远大于阈值电流时,系统输出仅为^y偏振模,这时^y偏振模能稳定地实现最好的完全混沌同步质量.最后,当接收激光器受到线性偏振模的强注入时,每一个注入线性偏振模能与接收激光器输出的对应的线性偏振模实现很好的注入锁定同步.然而,每一个占主导的线性偏振模比另一被抑制的线性偏振模获得更差注入锁定同步质量、如果有相等的能量的两个线性偏振模同时存在,这两个线性偏振模获得差不多一致的注入锁定混同步质量,换句话说,能量较少的线性偏振能获得较高的注入锁定同步质量. 展开更多
关键词 线性偏振态 垂直腔表面发射激光器 完全矢量混沌同步 强注入锁定矢量混沌同步
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垂直腔面发射半导体激光器的特性及其研究现状 被引量:13
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作者 李玉娇 宗楠 彭钦军 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第5期49-61,共13页
与传统的边发射半导体激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有光束质量好、阈值电流低、易于二维列阵集成和制造成本低廉等优点。近年来,以VCSEL为基础发展起来的电抽运和光抽运垂直外腔面发射激光器(VECSEL),在获得高的输出功率和... 与传统的边发射半导体激光器相比,垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有光束质量好、阈值电流低、易于二维列阵集成和制造成本低廉等优点。近年来,以VCSEL为基础发展起来的电抽运和光抽运垂直外腔面发射激光器(VECSEL),在获得高的输出功率和光束质量的同时,可以通过在腔内插入光学元件,实现腔内倍频、波长可调谐和锁模等激光技术,在激光领域很有竞争力。本文介绍了面发射半导体激光器的结构、工作原理及性能优势,综述了其在高功率输出、可调谐技术、锁模技术等方面的研究现状与进展,探讨了该类型激光器的发展前景。 展开更多
关键词 激光器 垂直腔面发射半导体激光器 电抽运 光抽运 高功率 可调谐技术 锁模技术
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垂直腔面发射激光器热场特性分析 被引量:5
19
作者 刘立新 赵红东 曹萌 《微纳电子技术》 CAS 2003年第4期8-11,共4页
应用格林函数方法计算了增益波导垂直腔面发射激光器的热传导方程,分析了电流扩展、材料参数和工作条件对温度分布的影响。计算结果表明,电流扩展是影响这种激光器热场特性的主要因素,降低阈值电流是减小温升的有效方法。
关键词 垂直腔面发射激光器 热场特性 格林函数 热传导方程 温度分布 电流扩展
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980nm高功率垂直腔面发射激光列阵的单元结构优化 被引量:10
20
作者 张星 宁永强 +3 位作者 曾玉刚 秦莉 刘云 王立军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期2014-2022,共9页
为了提高980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵的整体性能,对列阵单元器件的分布布拉格反射镜(DBR)的反射率进行了优化。分析了DBR的反射率与阈值电流,输出功率及转换效率之间的关系,在维持较低阈值电流的前提下适当调节了N-DBR的反射率... 为了提高980nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵的整体性能,对列阵单元器件的分布布拉格反射镜(DBR)的反射率进行了优化。分析了DBR的反射率与阈值电流,输出功率及转换效率之间的关系,在维持较低阈值电流的前提下适当调节了N-DBR的反射率,使单元器件斜率效率得到了有效提高,进而改善了VCSEL列阵的整体输出特性。优化DBR反射率后研制出的包含64个单元的VCSEL列阵器件在注入电流为6A时的连续输出功率为2.73W;在脉宽为100ns,重复频率为100Hz的130A脉冲电流驱动下输出功率达到115W;包含300个单元的列阵器件在注入电流为18A时,连续输出功率达到5.26W。对N-DBR反射率进行优化后,VCSEL列阵的整体输出特性得到了有效改善。 展开更多
关键词 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 结构优化 分布布拉格反射镜
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