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光学元件超精密气囊抛光关键技术研究现状 被引量：19
1
作者 张伟 李洪玉 于国彧 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期27-34,共8页
空间光学元件对面形精度和表面质量有着极高的要求,气囊抛光采用了新型的抛光工具和特殊的运动形式,是一种高精度、高效率的光学元件加工方法,尤其适用于非球面的加工,具有广阔的应用前景。分析了气囊抛光技术的基本原理及该技术的发展... 空间光学元件对面形精度和表面质量有着极高的要求,气囊抛光采用了新型的抛光工具和特殊的运动形式,是一种高精度、高效率的光学元件加工方法,尤其适用于非球面的加工,具有广阔的应用前景。分析了气囊抛光技术的基本原理及该技术的发展过程,介绍了气囊抛光相关技术的研究情况和实验结果,对几项关键技术的研究现状进行综述,重点介绍材料去除特性、驻留时间控制算法、边缘精度控制以及最新开发的喷液抛光技术的研究情况。 展开更多
关键词 空间光学 超精密加工 气囊抛光 光学元件 面形精度
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多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形优化 被引量：2
2
作者 张鹏 金光 +2 位作者 石广丰 张元 钟兴 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期1515-1518,共4页
为了提高多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形精度,基于Henky-Campbell圆薄膜平衡方程分析了薄膜均布载荷作用下的拉伸成形和面形误差。采用ANSYS软件一阶优化法,建立了以薄膜屈服强度为状态变量,镜面3个同心环形区域上施加的载荷为设计变量... 为了提高多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形精度,基于Henky-Campbell圆薄膜平衡方程分析了薄膜均布载荷作用下的拉伸成形和面形误差。采用ANSYS软件一阶优化法,建立了以薄膜屈服强度为状态变量,镜面3个同心环形区域上施加的载荷为设计变量,以反射镜面形与理想面形的最小均方根误差(RMS)为目标的优化模型,对口径300 mm、中心挠度分别为0.5、1.0和1.5 mm的薄膜反射镜面形进行了优化。实验中优化后的最佳镜面面形RMS为7.73μm,PV值为50.69μm,较优化前分别减少了30.2%和23.7%。 展开更多
关键词 静电拉伸 薄膜反射镜 面形精度 面形优化 多电极实验
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高精度型面检测修整技术在碳纤维反射面制造中的应用 被引量：1
3
作者 李晟超 田杰 +2 位作者 鞠博文 郝旭峰 王晓蕾 《航天制造技术》 2022年第5期4-8,共5页
面向碳纤维反射面的高精度制造的迫切要求,提出了一种针对各向异性碳纤维复合材料的高效修整方法,通过控制加工时间,优化工艺参数,分别对平面与曲面反射面进行了加工试验。探究了压强、转速和进给速度等加工参数对不同面形去除效率以及... 面向碳纤维反射面的高精度制造的迫切要求,提出了一种针对各向异性碳纤维复合材料的高效修整方法,通过控制加工时间,优化工艺参数,分别对平面与曲面反射面进行了加工试验。探究了压强、转速和进给速度等加工参数对不同面形去除效率以及去除稳定性的影响,经过多次迭代加工,使Φ1.4m碳纤维复合材料天线反射面的初始面形精度从21.5μm收敛到12.9μm,以及碳纤维复合材料1m瓜瓣反射面的初始面形精度从17.6μm收敛到3.0μm。实现了碳纤维复合材料高精度的修整加工,证明了该型面修整方法的可行性和有效性。 展开更多
关键词 碳纤维复合材料 反射面 检测修整 面形精度 高精度
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ф1.8 m球面镜下倾式支撑结构设计研究 被引量：1
4
作者 杜宁 张蕾 +1 位作者 胡明勇 陈学振 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第8期754-760,共7页
为了保证ф1.8 m口径球面镜光轴向下倾斜45°时能够达到较高的面形精度,本文设计了ф1.8 m口径球面镜下倾式支撑结构,巧妙地采用相互结合又能独立作用的多点重锤结构用于侧面和背部支撑,并合理地设计了支撑点的数目和位置。经过仿... 为了保证ф1.8 m口径球面镜光轴向下倾斜45°时能够达到较高的面形精度,本文设计了ф1.8 m口径球面镜下倾式支撑结构,巧妙地采用相互结合又能独立作用的多点重锤结构用于侧面和背部支撑,并合理地设计了支撑点的数目和位置。经过仿真分析及安装后的光学检验表明:ф1.8 m口径球面镜下倾式支撑结构设计合理,其独特的支撑方案保证了球面镜的面形精度,同时减小了支撑结构的重量和体积,为大口径镜面下倾式支撑提供了一种方案。 展开更多
关键词 球面镜 支撑结构 面形精度
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Influence of Installing Error on the Surface Shape Precision of the Axial Symmetry Aspheric Workpiece in Lapping
5
作者 尚春民 张东梅 +1 位作者 杨建东 张心明 《Defence Technology（防务技术）》 SCIE EI CAS 2006年第3期237-240,共4页
关键词 非球面 对称性 加工件 图像处理
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微楔形镜加工技术研究
6
作者 熊长新 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第S1期25-26,共2页
微楔形镜的加工不能像平行平面元件那样,采用大块抛光,切片分割的办法。针对零件尺寸小、精度要求高的特点,研究了加工过程中的粘结上盘、面形精度控制和楔形角检测等技术,设计了吸附式粘结上盘和楔形角测量等专用装置,应用于尺寸为3... 微楔形镜的加工不能像平行平面元件那样,采用大块抛光,切片分割的办法。针对零件尺寸小、精度要求高的特点,研究了加工过程中的粘结上盘、面形精度控制和楔形角检测等技术,设计了吸附式粘结上盘和楔形角测量等专用装置,应用于尺寸为3×3×1mm(6°)的Nd∶YVO4(掺钕钒酸钇)晶体批量生产中,提高了零件的面形精度和加工可靠性。测试结果表明:面形精度优于λ/10(λ=632.8nm),表面光洁度达0/0级,楔形角合格率达98%以上。 展开更多
关键词 微楔形镜 面形精度 楔形角 上盘 检测
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