期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
器件表面形貌及粗糙度检测
被引量：
4
1
作者
李喜德
施惠基
《实验力学》
CSCD
北大核心
2006年第2期111-121,共11页
本文基于光学计量技术及扫描显微技术,从结构和器件的表面轮廓和粗糙度两个参数入手,介绍表面高度起伏从厘米到原子级水平的检测和分析中的一些重要方法,如适用于表面起伏从厘米到微米量级的结构光投影方法、表面起伏从毫米量级到亚微...
本文基于光学计量技术及扫描显微技术,从结构和器件的表面轮廓和粗糙度两个参数入手,介绍表面高度起伏从厘米到原子级水平的检测和分析中的一些重要方法,如适用于表面起伏从厘米到微米量级的结构光投影方法、表面起伏从毫米量级到亚微米量级的相干光形貌测试技术,以及从亚微米到亚纳米水平的光散射技术和扫描显微表面形貌与表面粗糙度测试技术等,并讨论各种尺度下表面的表征方式和检测参数。最后结合散斑统计分析技术,应用局域散斑场强度统计平均和散斑场自相关函数计算,给出了某战斗机机体蒙皮材料在环境应力腐蚀条件下表面粗糙度(范围从0.025微米到0.7微米)随腐蚀介质温度、腐蚀时间等参数的检测和分析结果。
展开更多
关键词
表面轮廓
粗糙度
结构
器件
光学测量
扫描显微术
下载PDF
职称材料
光学非球面面形轮廓检测技术
被引量：
6
2
作者
焦松峰
谢启明
+5 位作者
刘尧
王一卓
范威
游津京
杨永华
张宸钢
《红外技术》
CSCD
北大核心
2023年第5期534-540,共7页
随着科技的进步,尖端产品和先进光电系统对光学系统的成像质量要求越来越高,光学非球面元件能有效地校正像差、减少系统所需光学元件数量、减轻系统重量,因此被广泛应用。其特殊的面形特征决定了它的加工和检测相对于球面更加困难,而检...
随着科技的进步,尖端产品和先进光电系统对光学系统的成像质量要求越来越高,光学非球面元件能有效地校正像差、减少系统所需光学元件数量、减轻系统重量,因此被广泛应用。其特殊的面形特征决定了它的加工和检测相对于球面更加困难,而检测精度直接决定了加工精度,非球面检测技术的重要性显而易见。根据测量原理对光学非球面的检测技术进行了概述;根据目前直接面形轮廓法在光学非球面的加工中应用最广的情况,结合最新检测手段,重点介绍了非球面直接面形轮廓法测量技术;并介绍了近年来日益受到人们关注的自由曲面及面形轮廓法在自由曲面检测的应用;最后总结了光学非球面检测技术的现状和发展趋势。
展开更多
关键词
非球面
检测精度
直接面形轮廓法
自由曲面
下载PDF
职称材料
题名
器件表面形貌及粗糙度检测
被引量：
4
1
作者
李喜德
施惠基
机构
清华大学工程力学系
出处
《实验力学》
CSCD
北大核心
2006年第2期111-121,共11页
基金
研究获自然科学基金项目10372049
10072031和10232030的资助
+1 种基金
国家重点基础研究专项G1999065002
清华大学开放实验室基金资助
文摘
本文基于光学计量技术及扫描显微技术,从结构和器件的表面轮廓和粗糙度两个参数入手,介绍表面高度起伏从厘米到原子级水平的检测和分析中的一些重要方法,如适用于表面起伏从厘米到微米量级的结构光投影方法、表面起伏从毫米量级到亚微米量级的相干光形貌测试技术,以及从亚微米到亚纳米水平的光散射技术和扫描显微表面形貌与表面粗糙度测试技术等,并讨论各种尺度下表面的表征方式和检测参数。最后结合散斑统计分析技术,应用局域散斑场强度统计平均和散斑场自相关函数计算,给出了某战斗机机体蒙皮材料在环境应力腐蚀条件下表面粗糙度(范围从0.025微米到0.7微米)随腐蚀介质温度、腐蚀时间等参数的检测和分析结果。
关键词
表面轮廓
粗糙度
结构
器件
光学测量
扫描显微术
Keywords
surface
profilometry
roughness
structure
device
optical
metrology
scanning
microscopy
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
下载PDF
职称材料
题名
光学非球面面形轮廓检测技术
被引量：
6
2
作者
焦松峰
谢启明
刘尧
王一卓
范威
游津京
杨永华
张宸钢
机构
长春理工大学机电工程学院
云南北方光学科技有限公司
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2023年第5期534-540,共7页
文摘
随着科技的进步,尖端产品和先进光电系统对光学系统的成像质量要求越来越高,光学非球面元件能有效地校正像差、减少系统所需光学元件数量、减轻系统重量,因此被广泛应用。其特殊的面形特征决定了它的加工和检测相对于球面更加困难,而检测精度直接决定了加工精度,非球面检测技术的重要性显而易见。根据测量原理对光学非球面的检测技术进行了概述;根据目前直接面形轮廓法在光学非球面的加工中应用最广的情况,结合最新检测手段,重点介绍了非球面直接面形轮廓法测量技术;并介绍了近年来日益受到人们关注的自由曲面及面形轮廓法在自由曲面检测的应用;最后总结了光学非球面检测技术的现状和发展趋势。
关键词
非球面
检测精度
直接面形轮廓法
自由曲面
Keywords
aspherical
surface
testing
accuracy
direct
surface
profilometry
free-form
surface
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
器件表面形貌及粗糙度检测
李喜德
施惠基
《实验力学》
CSCD
北大核心
2006
4
下载PDF
职称材料
2
光学非球面面形轮廓检测技术
焦松峰
谢启明
刘尧
王一卓
范威
游津京
杨永华
张宸钢
《红外技术》
CSCD
北大核心
2023
6
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
