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规则凹坑表面形貌润滑研究 被引量:61
1
作者 汪家道 陈大融 孔宪梅 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期52-55,共4页
给出了一个研究规则凹坑对表面摩擦性能影响的三销环试验方案 ,考察了面接触下不同尺寸的规则凹坑对表面润滑性能的影响 .结果表明 ,当规则凹坑表面尺寸适当时 ,其润滑效果比无规则凹坑表面有较大提高 .实验分析表明 ,规则凹坑对表面摩... 给出了一个研究规则凹坑对表面摩擦性能影响的三销环试验方案 ,考察了面接触下不同尺寸的规则凹坑对表面润滑性能的影响 .结果表明 ,当规则凹坑表面尺寸适当时 ,其润滑效果比无规则凹坑表面有较大提高 .实验分析表明 ,规则凹坑对表面摩擦学性能影响的主要因素为规则凹坑润滑所造成的真实接触面积与塑性接触面积的变化 ,因此在选择规则凹坑尺寸时 ,应使表面真实接触面积 ,尤其是粗糙峰塑性变形程度降低 ,此外 ,规则凹坑尺寸除了顶面积大小外 。 展开更多
关键词 表面形貌 规则凹坑 润滑 塑性变形
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表面粗糙度理论发展研究 被引量:29
2
作者 李伯奎 刘远伟 《工具技术》 北大核心 2004年第1期63-67,共5页
简述了表面粗糙度理论与标准的历史 ,分析了精密加工表面性能评价对表面粗糙度理论及参数的新要求 ,对表面形貌评定的分形法、Motif法、特定功能参数集法进行了论述 。
关键词 表面粗糙度 精密加工 表面性能评价 表面形貌 分形法 Motif法 特定功能参数集法
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面接触规则凹坑表面流体润滑计算 被引量:25
3
作者 汪家道 陈大融 +1 位作者 孔宪梅 及开元 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期42-45,共4页
规则凹坑表面形貌在许多摩擦副中被采用 ,但目前为止仍缺乏理论指导。为了深入了解规则凹坑表面形貌对流体润滑影响的机理 ,首先给出了凹坑油膜压力的计算方案和公式 ;在流体润滑计算的基础上 ,提出了表面规则凹坑深度尺寸的优化方案 ;... 规则凹坑表面形貌在许多摩擦副中被采用 ,但目前为止仍缺乏理论指导。为了深入了解规则凹坑表面形貌对流体润滑影响的机理 ,首先给出了凹坑油膜压力的计算方案和公式 ;在流体润滑计算的基础上 ,提出了表面规则凹坑深度尺寸的优化方案 ;规则凹坑深度优化过程中 ,对凹坑其它尺寸及润滑计算的边界条件等因素的影响进行了详细讨论 ;最后 ,采用三销环实验方案 ,对激光加工不同尺寸规则凹坑表面进行了润滑实验 ,实验结果与理论计算结果比较表明 。 展开更多
关键词 表面形貌 流体润滑 优化 面接触 规则凹坑表面
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激光三角法测量表面形貌 被引量:26
4
作者 卢晋人 黄元庆 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期50-53,共4页
对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究.通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系.分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围.讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应... 对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究.通过分析激光三角测量的基本原理,得出光路设计条件与输入输出关系.分析了几种激光三角测量的改进方法的优点、局限与适用范围.讨论了激光三角测量中影响分辨率与精度的几个因素并提出应对的措施. 展开更多
关键词 激光三角法 测量 表面形貌 非接触测量
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光纤激光选区熔化316L不锈钢工艺优化 被引量:38
5
作者 王迪 杨永强 吴伟辉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3233-3239,共7页
在装备200 W光纤激光器的快速成型设备Dimetal-280上进行选区激光熔化(SLM)成型工艺研究。为了优化316L不锈钢粉末的成型工艺参数,设计了6因素5水平正交实验进行工艺实验,总结出6种典型表面形貌,并测量了6种典型表面形貌对应样品的相对... 在装备200 W光纤激光器的快速成型设备Dimetal-280上进行选区激光熔化(SLM)成型工艺研究。为了优化316L不锈钢粉末的成型工艺参数,设计了6因素5水平正交实验进行工艺实验,总结出6种典型表面形貌,并测量了6种典型表面形貌对应样品的相对密度与z轴方向尺寸精度。分析发现,粉末熔化完全后样品能获得较高的密度,而当粉末部分熔化或未熔时,样品密度比较低;实际加工层厚在成型过程中有逐渐增大的趋势,影响了样品最终的尺寸精度。综合考虑表面形貌、样品相对密度与尺寸精度的影响,获得优化的工艺参数,设计了包含尖角、悬空等独立几何成型性能的样品测试系统,几何样品相对密度达89%,尺寸精度96.8%,表面粗糙度Rz约25μm,获得了良好效果。 展开更多
关键词 激光技术 快速成型 选区激光熔化 正交实验 金属零件 表面形貌
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贵州中部山区植烟土壤有机质含量与海拔和成土母质之间的关系 被引量:38
6
作者 尚斌 邹焱 +5 位作者 徐宜民 宋文静 王程栋 孟霖 刘晓冰 褚智国 《土壤》 CAS CSCD 北大核心 2014年第3期446-451,共6页
土壤有机质含量影响着烤烟的产量和品质,与成土母质类型关系密切。本文在贵州中部山区7个烤烟主产县共采集了42个典型烟田耕层多点混合农化样品和来自剖面的165个发生层样品。对土壤有机质含量分析结果表明,贵州中部山区植烟土壤有机... 土壤有机质含量影响着烤烟的产量和品质,与成土母质类型关系密切。本文在贵州中部山区7个烤烟主产县共采集了42个典型烟田耕层多点混合农化样品和来自剖面的165个发生层样品。对土壤有机质含量分析结果表明,贵州中部山区植烟土壤有机质含量的平均值为27.7g/kg,变幅为24.3~31.6g/kg,变异系数为9.48%,土壤有机质含量总体处于全国第二次土壤普查肥力评价标准中的三级水平(20~30g/kg),总体处于植烟适宜水平;贵州中部山区植烟土壤有机质含量与海拔高度呈极显著正相关关系;沟谷堆积物母质发育的土壤有机质含量显著高于第四纪红土和岩类风化残积一坡积物母质发育的土壤;在剖面垂直分布上,土壤有机质含量均表现出较强的表聚性,表现出较明显的从上往下依次递减的规律,不同成土母质发育形成的土壤在相同土层上有机质含量由高到低依次是沟谷堆积物〉第四纪红土〉岩类风化残积-坡积物。 展开更多
关键词 贵州中部山区 烤烟 耕层土壤 剖面 有机质
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表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法 被引量:18
7
作者 王富生 谭久彬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第4期309-315,共7页
较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法 ,以 TOPO轮廓仪、Nomarski显微镜、外差干涉轮廓仪、双焦干涉轮... 较全面地介绍了用于表面微观轮廓测量的几种高分辨率甚至可达亚纳米的光学测量方法及其最新进展。文中重点描述了以扫描共焦显微检测法、离焦误差检测法为代表的光触针法 ,以 TOPO轮廓仪、Nomarski显微镜、外差干涉轮廓仪、双焦干涉轮廓仪和同轴干涉轮廓仪为代表的干涉测量法和以扫描近场光学显微镜及光子扫描隧道显微镜为代表的近场光学法三种适用于表面微观轮廓测量的光学测量方法 ,分别介绍了其工作原理、特性、发展现状及存在问题 ,通过对这些方法的对比和总结 ,阐述了表面微观轮廓纳米级光学测量的发展趋势。 展开更多
关键词 表面微观轮廓 光学测量方法 高分辨率
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塔克拉玛干沙漠腹地沙尘暴过境时近地层风速、温度和湿度廓线特征 被引量:26
8
作者 何清 魏文寿 +2 位作者 李祥余 艾力.买买提明 李帅 《沙漠与绿洲气象》 2008年第6期6-11,共6页
利用塔中80m梯度观测塔探测系统采集的资料,详细的分析了2006年4月10日沙尘暴过境时,塔克拉玛干沙漠腹地近地层风速、温度和湿度廓线的演变特征。结果表明:风速廓线满足风速值随高度增高而增大,风速梯度随高度增高而减小的对数律关系;... 利用塔中80m梯度观测塔探测系统采集的资料,详细的分析了2006年4月10日沙尘暴过境时,塔克拉玛干沙漠腹地近地层风速、温度和湿度廓线的演变特征。结果表明:风速廓线满足风速值随高度增高而增大,风速梯度随高度增高而减小的对数律关系;沙尘暴由爆发前到过境时,温度廓线的温度值由随高度增高而增大转变为温度值随高度增高而减小,同时在贴地层2m处存在一微弱拐点;沙尘暴过境时,近地层大气出现微弱逆湿现象,并在不同高度上存在多处拐点,比湿增减在时间上与风速的增减呈负相关性,且整个沙尘暴天气是一个降温增湿的过程。 展开更多
关键词 塔克拉玛干沙漠 沙尘暴 近地层 廓线 逆温 逆湿
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二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析 被引量:20
9
作者 曹召良 卢振武 +2 位作者 李凤友 张慧娟 孙强 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2002年第6期537-541,共5页
利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期... 利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题。以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响。通过计算发现,当光栅周期足够小的时候,光栅面形对反射率没有影响,同时占空比严重影响着光栅的特性,这对设计制造抗反射光栅非常有用。同时也研究了等效介质理论的适用性。 展开更多
关键词 光栅 设计 抗反射 亚波长 占空比 反射率 表面面形
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一种自调整的空间面轮廓度误差的评定方法 被引量:16
10
作者 王伯平 曾建潮 《计量学报》 CSCD 北大核心 2002年第2期106-108,共3页
基于最小二乘法并结合二维样条插值函数和优化技术 ,提出一种用于空间面轮郭度误差评定的数据处理方法 ,其优点是在轮郭度误差评定过程中、能自动地实现被测轮廓与理论轮廓之间的适应性调整 ,从而能够分离并消除被测轮廓与其测量基准之... 基于最小二乘法并结合二维样条插值函数和优化技术 ,提出一种用于空间面轮郭度误差评定的数据处理方法 ,其优点是在轮郭度误差评定过程中、能自动地实现被测轮廓与理论轮廓之间的适应性调整 ,从而能够分离并消除被测轮廓与其测量基准之间的位置误差对轮廓误差评定结果的影响。文中以汽轮机叶片轮廓的轮廓度误差评定为例 ,证实了这种评定方法的优越性。 展开更多
关键词 评定方法 面轮廓度 误差 最小二乘法 空间曲面
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非球面表面形状的线测量技术 被引量:20
11
作者 ARAI Yoshikazu 高伟 +2 位作者 SHIMIZU Hiroki KIYONO Satoshi KURIYAGAWA Tsunemoto 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第3期210-216,共7页
描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统 .首先 ,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差会引起很大的形状测量误差 .提出了先通过两点法测量平面形... 描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统 .首先 ,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差会引起很大的形状测量误差 .提出了先通过两点法测量平面形状得出机床的运动误差 ,然后对测量非球面形状的另外一个测头的输出进行补偿以得出正确的非球面形状 .用此系统测量了一个直径为 3 0mm的非球面镜头的表面形状 . 展开更多
关键词 机床 测头 超精密磨削 非球面镜头 平面形状 运动误差 误差分离 表面形状 系统测量 精密测量
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W-M函数模型下表面轮廓形貌的变化规律 被引量:19
12
作者 邓可月 刘政 +1 位作者 邓居军 赵运才 《机械设计与制造》 北大核心 2017年第1期47-50,共4页
通过将分形理论引入摩擦学,利用分形理论对表面形貌的分形特点即表面形貌的自相似性进行研究。在运用Matlab软件建立W-M函数模型的前提下对表面轮廓形貌进行二维及三维的模拟仿真分析,借此以二维以及三维模型中轮廓曲线随维数D、系数G... 通过将分形理论引入摩擦学,利用分形理论对表面形貌的分形特点即表面形貌的自相似性进行研究。在运用Matlab软件建立W-M函数模型的前提下对表面轮廓形貌进行二维及三维的模拟仿真分析,借此以二维以及三维模型中轮廓曲线随维数D、系数G及特征粗糙度Ra*的变化规律进行探究。最终证明了对分形维数D造成影响的主要因素为表面轮廓的复杂程度且系数G与表面轮廓高度呈正比关系,对于三维模型存在着随着分形维数D的增大则所获得的表面轮廓形貌越来越趋于复杂的规律。 展开更多
关键词 W-M函数 摩擦学 表面形貌 分形参数 轮廓曲线 特征粗糙度
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参数曲面形状误差计算迭代逼近法 被引量:9
13
作者 王平江 陈吉红 +1 位作者 李作清 周济 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1997年第3期1-4,共4页
针对曲面形状误差评定使用传统的模板定性检测、定性描述的方式已不能满足现代制造对产品质量的控制要求,提出了一种新的参数曲面形状误差计算的迭代逼近法.计算机仿真结果表明,本算法符合曲面形状误差评定的最小区域原则.
关键词 参数曲面 形状误差 质量检测 迭代逼近法 精度
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塔里木盆地地震剖面地质解释及其构造演化 被引量:15
14
作者 戴福贵 杨克绳 刘东燕 《中国地质》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期747-760,共14页
从地震剖面显示塔里木盆地发育为手风琴式演化史,大体上形成三层"断-坳"结构:(l)震旦系的"断",古生界—三叠系的"坳";(2)侏罗系的"断",白垩系的"坳";(3)古近系的"断",新... 从地震剖面显示塔里木盆地发育为手风琴式演化史,大体上形成三层"断-坳"结构:(l)震旦系的"断",古生界—三叠系的"坳";(2)侏罗系的"断",白垩系的"坳";(3)古近系的"断",新近系的"坳"。断陷与坳陷分别由拉张与挤压应力场所致,这种应力场的变化是由相邻洋壳板块俯冲倾角由小到大的变化所引起的。由于地壳的多旋回运动,多次发生构造沉积演变,构成了多套生储盖组合,多领域、多种圈闭类型的油气藏,从震旦系—古生界—中生界—新生界,各断陷-坳陷结构的盆地都具有可能形成油气藏的地质条件。 展开更多
关键词 盆地演化 构造应力 侵蚀面 俯冲作用 地震剖面 塔里木盆地
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佛山市典型铝型材行业表面涂装VOCs排放组成 被引量:16
15
作者 李霞 苏伟健 +6 位作者 黎碧霞 龙淼 黎丽莉 张洲 于跃刚 王云鹏 王新明 《环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期5334-5343,共10页
选取佛山市典型铝型材行业不同表面涂装工艺(溶剂型涂料涂装、水性涂料涂装、电泳涂装、粉末喷涂)有组织废气VOCs进行了采样分析.结果表明,溶剂型涂料涂装废气VOCs浓度(63. 90~149. 67 mg·m^(-3))要远大于其他3种涂装工艺(2. 99~21... 选取佛山市典型铝型材行业不同表面涂装工艺(溶剂型涂料涂装、水性涂料涂装、电泳涂装、粉末喷涂)有组织废气VOCs进行了采样分析.结果表明,溶剂型涂料涂装废气VOCs浓度(63. 90~149. 67 mg·m^(-3))要远大于其他3种涂装工艺(2. 99~21. 93 mg·m^(-3)). VOCs组成来看,溶剂型涂料涂装废气VOCs以芳香烃为主,比例在52. 32%~71. 55%之间,主要污染物包括甲苯、乙苯、二甲苯等苯系物和乙酸乙酯等含氧挥发性有机物(OVOCs).水性涂料涂装废气以OVOCs为主,如乙酸乙酯(48. 59%)、四氢呋喃(8. 43%),芳香烃比例(11. 32%)远低于溶剂型涂料涂装废气.异丙醇是电泳涂装废气中最主要的VOCs化合物,贡献比例高达81. 19%.而粉末涂料涂装废气VOCs污染物主要是丙酮(30. 25%),以及丙烷(15. 48%)、乙烯(12. 15%)、乙烷(9. 35%)、正丁烷(5. 16%)等C2~C4的烷烃和烯烃.臭氧生成潜势(OFP)计算结果表明,溶剂型涂料涂装废气排放单位质量VOCs的臭氧生成潜势(OFP,以O3/VOCs计,下同)最高(3. 89 g·g^(-1)),其次是粉末喷涂(2. 53 g·g^(-1)),而水性涂料涂装和电泳涂装则较低(1. 31 g·g^(-1)和0. 85 g·g^(-1)).溶剂型涂料涂装废气中芳香烃对OFP贡献比例高达93. 28%,有9种C7~C10芳香烃位列OFP排名前10化合物;水性涂料涂装废气中乙酸乙酯、间/对-二甲苯和甲苯的臭氧生成潜势占比最高,分别为23. 24%、21. 76%和17. 07%;粉末涂料涂装废气中的关键活性组分则为乙烯、丙烯和1-丁烯等低碳烯烃,烯烃对其OFP贡献为71. 11%;电泳涂料涂装废气中异丙醇的OFP贡献(65. 08%)明显高于其他组分(<6%). 展开更多
关键词 铝型材行业 表面涂装 挥发性有机物(VOCs) 源成分谱 臭氧生成潜势(OFP)
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表面形貌对内燃机主轴承润滑性能的影响 被引量:15
16
作者 李涵 赵俊生 +2 位作者 崔随现 张忠伟 杨树彬 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期49-54,共6页
基于Patir和Cheng的平均流量方程和流量因子,计入表面形貌和弹性变形等因素,以流体润滑理论为基础,建立内燃机主轴承的润滑分析计算模型;研究主轴颈和轴瓦表面形貌对主轴承最小油膜厚度、最大油膜压力、摩擦损失总功和粗糙接触压力等润... 基于Patir和Cheng的平均流量方程和流量因子,计入表面形貌和弹性变形等因素,以流体润滑理论为基础,建立内燃机主轴承的润滑分析计算模型;研究主轴颈和轴瓦表面形貌对主轴承最小油膜厚度、最大油膜压力、摩擦损失总功和粗糙接触压力等润滑特性的影响。结果表明,轴颈和轴瓦表面粗糙度值大小和纹理方向对主轴承润滑性能具有显著影响,随着粗糙度值的增加,最小油膜厚度增加,油膜压力减小,粗糙接触压力增加,摩擦损失总功增大;相较横向纹理和各向同性,纵向纹理有利于提高最小油膜厚度,降低粗糙接触压力和摩擦损失总功;当粗糙度值不变时,随着内燃机转速和爆发压力的增加,粗糙接触压力增加,粗糙摩擦损失功率增加,导致磨损加剧效率降低。 展开更多
关键词 流量因子 表面形貌 内燃机 主轴承 润滑
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磨削加工表面形貌的分形研究 被引量:7
17
作者 索双富 葛世荣 +1 位作者 强颖怀 赵子江 《中国机械工程》 CAS CSCD 北大核心 1996年第1期41-42,共2页
通过对磨削加工表面的测试与分形研究,得到不同磨削加工表面粗糙度的分形维数D与Ra、Rq、Sm之间的关系式,为磨削表面形貌的计算机分形模拟建立了基础。
关键词 磨削加工 表面形貌 分形识别 机械元件
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三峡水库动库容特性分析 被引量:15
18
作者 张俊 闵要武 陈新国 《人民长江》 北大核心 2011年第6期90-93,共4页
三峡水库在175 m蓄水位下属于河道型水库,为研究动库容对防洪调度的影响,以三峡水库蓄水后2007~2010年汛期运行观测资料为基础,从水面线分析、典型洪水过程的动库容计算及动库容关系曲线3个方面初步分析了三峡水库的动库容特性。结果表... 三峡水库在175 m蓄水位下属于河道型水库,为研究动库容对防洪调度的影响,以三峡水库蓄水后2007~2010年汛期运行观测资料为基础,从水面线分析、典型洪水过程的动库容计算及动库容关系曲线3个方面初步分析了三峡水库的动库容特性。结果表明:2007~2010年期间不同实测洪水的三峡水库的动库容水量在5.94亿~53.33亿m3之间,占总库容的比例为2.24%~19.28%。考虑动库容与否对三峡水库洪水过程的拦蓄量计算影响较大,动库容在三峡水库调洪中起到正、负两种作用;三峡水库的动库容大小受坝前水位、入库流量和出库流量影响较大。 展开更多
关键词 动库容 水面线 关系曲线 三峡水库
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Late-Quaternary strong earthquakes on the seismogenic fault of the 1976 M_s7.8 Tangshan earthquake,Hebei,as revealed by drilling and trenching 被引量:14
19
作者 GUO Hui JIANG WaLi XIE XinSheng 《Science China Earth Sciences》 SCIE EI CAS 2011年第11期1696-1715,共20页
Composite borehole profiling combined with trenching is an effective way to acquire evidence of past ruptures of buffed active faults. In this study, three composite borehole profiles and a large-scale trench excavati... Composite borehole profiling combined with trenching is an effective way to acquire evidence of past ruptures of buffed active faults. In this study, three composite borehole profiles and a large-scale trench excavation were carded out across the surface rupture zone of the 1976 Ms7.8 Tangshan earthquake. The following three major conclusions have been reached. (1) The surface rupture zone of the 1976 earthquake extends more than 47 km long to the south of Tangshan city, passing to the west of Sunjialou, to Daodi town in Fengnan County, to Xihe in Fengnan County. (2) The surface rupture zone is divided into south and north branches. The north branch has mainly fight-lateral strike-slip motion, and the vertical displacement of the surface is up on the west and down on the east. On the other hand, the vertical displacement of the south branch is up on the east and down on the west, accompanied by some right-lateral slip. Such a faulting style cannot be explained by the movement of a single normal or reverse fault, but is consistent with the vertical displacement field induced by the fight-lateral strike-slip of the fault belt. The drilling and trenching data from this study verify that such activity continued through the Late Quaternary on the Tangshan Fault. (3) The fault planes exhumed by trenching and the dislocations of strata revealed by the boreholes indicate that multiple faulting events occurred on the Tangshan Fault in the Late Quaternary. The timing of three ruptures prior to the 1976 earthquake was 7.61-8.13, 〉14.57, and 24.21-26.57 ka BP. Counting the earthquake of 1976, the recurrence interval of the four strong events is about 6.7 to 10.8 ka. On one of the three borehole profiles, the Niumaku profile, nine faulting events were detected since 75.18 ka BP with an average interval of 8.4 ka. In addition, this paper also discusses the difference between the Late Quaternary sedimentary environments to the north and south of Tangshan city based on stratum dating. 展开更多
关键词 Tangshan earthquake surface rupture zone multi-stage activity earthquake recurrence interval paleoseismic trench-ing borehole profile
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脉冲激光弯曲成形技术中硅片表面的形貌分析 被引量:12
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作者 吴东江 马广义 +3 位作者 曹先锁 王续跃 赵福令 郭东明 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1589-1593,共5页
对长脉宽脉冲激光弯曲后的硅片试件进行了表面形貌以及晶相等特性分析.结果表明,激光作用于硅片表面后形成了三种特殊区域,分别为边缘区域、过渡区域、主作用区域.其中过渡区域和主作用区域变化比较明显,分别出现了堆积层错现象和波纹... 对长脉宽脉冲激光弯曲后的硅片试件进行了表面形貌以及晶相等特性分析.结果表明,激光作用于硅片表面后形成了三种特殊区域,分别为边缘区域、过渡区域、主作用区域.其中过渡区域和主作用区域变化比较明显,分别出现了堆积层错现象和波纹状形貌.对主作用区域进行拉曼光谱检测,分析谱图没有发现典型的非晶硅转变,只是存在微弱的Si-Ⅰ→Si-Ⅲ转化.利用X射线定向仪检测原始和激光作用后表面的晶向,发现激光作用区域晶向变化较明显,存在晶体畸变和晶粒细化现象. 展开更多
关键词 激光技术 激光加工 弯曲成形 表面形貌 晶相
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