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基于WIFI的无线声表面波传感器信号采集系统 被引量:15
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作者 文常保 党双欢 +2 位作者 朱博 李演明 巨永锋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1552-1557,共6页
将声表面波传感器与信号无线保真(WIFI)技术相结合,提出了一种基于WIFI的无线声表面波传感器信号采集系统。该系统由声表面波传感器、信号调理电路、处理器、WIFI模块和无线接收终端组成。声表面波传感器混频后的信号经过信号调理电路后... 将声表面波传感器与信号无线保真(WIFI)技术相结合,提出了一种基于WIFI的无线声表面波传感器信号采集系统。该系统由声表面波传感器、信号调理电路、处理器、WIFI模块和无线接收终端组成。声表面波传感器混频后的信号经过信号调理电路后,转换为处理器可计频的低频方波信号,并通过WIFI模块将采集到的信号无线发送到接收终端。通过一个输出信号范围在100 k Hz^350 k Hz声表面波传感器信号采集系统的实现,对该系统的结构、性能进行了验证和测试。实验结果表明,该系统可以实现测试范围内信号的采集、发送和无线接收,系统输入信号与无线接收终端接收信号之间的平均绝对误差为0.843 k Hz,最大相对误差为0.51%,无障碍环境有效采集范围约为100 m,有障碍环境有效采集范围约为50 m。 展开更多
关键词 声表面波传感器 WIFI 信号采集系统 无线
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无线无源声表面波传感器研究进展 被引量:11
2
作者 叶韬 金浩 +1 位作者 董树荣 王德苗 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第12期1-4,9,共5页
声表面波(SAW)传感器是一种无线无源传感器,在元源传感、适应恶劣环境等许多方面具有普通传感器不能实现的优点。阐述了声表面波器件的原理和结构特点,并对射频信号收发、信息处理等关键技术进行详细论述,综述了近些年国内外的相关研究... 声表面波(SAW)传感器是一种无线无源传感器,在元源传感、适应恶劣环境等许多方面具有普通传感器不能实现的优点。阐述了声表面波器件的原理和结构特点,并对射频信号收发、信息处理等关键技术进行详细论述,综述了近些年国内外的相关研究现状,并进行了总结与展望。 展开更多
关键词 声表面波传感器 无线收发 信号处理
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声表面波传感器在汽车电子领域的潜在应用研究 被引量:8
3
作者 李志鹏 孟旭 +1 位作者 王国锐 赵青青 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第4期1-3,7,共4页
综述了声表面波(SAW)压力、温度、扭矩传感器在轮胎压力监测系统与电动助力转向系统中的研发进展、遇到的困难与瓶颈。讨论了SAW惯性力传感器与SAW气体浓度传感器在汽车电子领域内应用的前景与目前所遇到的阻碍。对SAW传感器与汽车电子... 综述了声表面波(SAW)压力、温度、扭矩传感器在轮胎压力监测系统与电动助力转向系统中的研发进展、遇到的困难与瓶颈。讨论了SAW惯性力传感器与SAW气体浓度传感器在汽车电子领域内应用的前景与目前所遇到的阻碍。对SAW传感器与汽车电子在未来的发展趋势与融合方向进行了初步预测。 展开更多
关键词 汽车传感器 声表面波(saw)传感器 压力传感器 温度传感器 扭矩传感器
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对-叔丁基杯[4]芳烃衍生物自组装分子在声表面波传感器中检测有机磷 被引量:6
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作者 曹丙庆 潘勇 +1 位作者 赵建军 黄启斌 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1176-1180,共5页
以25-(硫代烷基烷氧基)-对叔丁基杯[4]芳烃自组装分子作为声表面波(SAW)化学传感器敏感膜材料,以沙磷酸分子为模板分子采用表面印迹技术,通过自组装的方法制备了对有机磷化合物有选择性吸附能力的印迹敏感膜。制备的传感器对目标有... 以25-(硫代烷基烷氧基)-对叔丁基杯[4]芳烃自组装分子作为声表面波(SAW)化学传感器敏感膜材料,以沙磷酸分子为模板分子采用表面印迹技术,通过自组装的方法制备了对有机磷化合物有选择性吸附能力的印迹敏感膜。制备的传感器对目标有机磷化合物有特异响应,在其质量浓度为0.1-0.60 mg/m^3时,其响应频移值与甲基膦酸二甲酯(DMMP)、沙林(GB)的浓度基本呈线性关系;在其质量浓度为0.1 mg/m^3时,响应值为350 Hz。初步讨论了敏感膜聚与有机磷化合物的相互作用过程。对近30种干扰气体进行了比较实验。 展开更多
关键词 杯芳烃 自组装 分子印迹 声表面波传感器 甲基膦酸二甲酯 沙林 检测
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声表面波传感器在高温领域应用的研究进展 被引量:8
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作者 潘小山 杨璐羽 +1 位作者 王琴 李功燕 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第6期1-4,7,共5页
相比于其他类型的无线传感器,无线声表面波传感器能解决恶劣环境(如高温)下的探测问题。基于目前的声表面波传感器,阐述了声表面波技术的发展、工作模式和原理;结合当前声表面波在高温领域应用的研究状况,详细阐述了声表面波传感器在高... 相比于其他类型的无线传感器,无线声表面波传感器能解决恶劣环境(如高温)下的探测问题。基于目前的声表面波传感器,阐述了声表面波技术的发展、工作模式和原理;结合当前声表面波在高温领域应用的研究状况,详细阐述了声表面波传感器在高温应用领域需要解决的问题以及适用于高温领域的声表面波传感器的材料;对声表面波传感器在高温领域中的应用和发展进行了总结和展望。 展开更多
关键词 声表面波传感器 高温 材料
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SAW聚环氧氯丙烷传感器检测芥子气的研究 被引量:2
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作者 刘卫卫 余建华 +2 位作者 潘勇 赵建军 黄启斌 《化学传感器》 CAS 2005年第1期57-60,共4页
研究了以聚环氧氯丙烷为敏感膜的 SAW 双通道延迟线传感器对芥子气检测的实用性。实验结果表明气体浓度和膜厚之间存在一定的函数关系,并初步讨论了聚环氧氯丙烷敏感膜和芥子气之间的相互作用过程。
关键词 芥子气 研究 实验结果 敏感膜 相互作用 检测 膜厚 环氧氯丙烷 气体浓度 函数关系
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SAW传感器对神经性毒剂及模拟剂的检测进展 被引量:3
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作者 王华 杜晓松 +3 位作者 蒋亚东 谢光忠 应智花 何为 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第4期7-10,共4页
基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从... 基于压电效应和化学特异选择性的有机敏感材料的声表面波(SAW)传感器,因其具有体积小、响应时间快、选择性好、可集成度高等优点而成为对气体实时、在线检测的重要手段之一。介绍了SAW传感器在神经性毒剂及其模拟剂检测中的应用,重点从SAW传感器测试电路、敏感膜材料、成膜方法及信号处理等方面介绍此领域的研究现状,并对发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 声表面波传感器 敏感膜 质量沉积效应 模式识别
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基于新型声表面波单端对谐振器的生物传感器 被引量:3
8
作者 齐晓琳 刘建生 +1 位作者 何世堂 梁勇 《压电与声光》 CAS 北大核心 2020年第2期159-162,共4页
该文设计并制作了一种基于新型声表面波(SAW)单端对谐振器的金黄色葡萄球菌生物传感器,该传感器采用了叉指电极中间内置敏感区域的谐振器结构。首先基于微扰理论分析了SAW生物传感器的响应机理。然后结合耦合模理论分析,得到了该谐振器... 该文设计并制作了一种基于新型声表面波(SAW)单端对谐振器的金黄色葡萄球菌生物传感器,该传感器采用了叉指电极中间内置敏感区域的谐振器结构。首先基于微扰理论分析了SAW生物传感器的响应机理。然后结合耦合模理论分析,得到了该谐振器的频率响应曲线。通过网络分析仪测量,实际制作的SAW谐振器的频率响应与仿真结果一致,且具有高品质因数的优点。实验中采用该结构对金黄色葡萄球菌进行初步检测,结果表明检测结果线性度较好,为下一步实现SAW传感器特异性实时检测金黄色葡萄球菌奠定了基础。 展开更多
关键词 声表面波传感器 单端对谐振器 敏感区域 高品质因数 金黄色葡萄球菌
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Parylene增强型声表面波传感器及其温度响应 被引量:1
9
作者 李敬 潘海曦 +3 位作者 郭振 李传宇 姚佳 周连群 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3048-3055,共8页
针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2μm的超细叉指电极。传感器制作... 针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器。根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2μm的超细叉指电极。传感器制作过程利用了MEMS工艺,不仅实现了传感器的微型化,还可以批量化生产,得到的以石英为基底的传感器谐振频率达到249.077 953 MHz。最后在传感器的表面镀制Parylene聚合物薄膜以提高基底温度灵敏度。实验对比了未增强型(未镀Parylene)和增强型SAW传感器(镀Parylene)的温度灵敏度。结果显示:未增强型SAW传感器温度灵敏度为2.048kHz/℃,Parylene增强型SAW传感器温度灵敏度为2.855kHz/℃,比前者提高了0.807kHz/℃,且镀Parylene之后谐振频率变化量与温度具有较好的线性度,线性相关系数达到0.996 15。实验证明,Parlene增强型SAW传感器的性能优于未增强的SAW传感器。 展开更多
关键词 声表面波(saw)传感器 倒梯形结构 金属剥离 Parylene增强 温度
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新型声表面波神经性毒剂传感器的研究 被引量:1
10
作者 张萍 马晋毅 +2 位作者 陈传治 杜波 江洪敏 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第5期734-736,741,共4页
研制了基于声表面波技术的神经性毒剂传感器,对沙林进行检测研究,并对敏感材料氟化超支化聚合物的合成与表征进行了报道。结果表明,所研制的新型传感器具有响应快,灵敏度高,一致性好,可重复使用等优点,对沙林的检测限可达0.08mg/m3。
关键词 声表面波传感器 氟化超支化聚合物 沙林
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一种小分子敏感材料的制备与气敏特性研究
11
作者 王晓杰 杜晓松 +2 位作者 胡佳 黄嘉 蒋亚东 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期62-64,68,共4页
合成了一种氢键酸性小分子神经毒气敏感材料。以二氯硅烷、2—溴甲基萘、活化锌粉、丙烯基苯为起始原料,通过格氏反应、硅氢加成,制备得到二(苯丙基)—二[(2—萘基)甲基]硅烷,然后用六氟异丙醇进行取代,得到二[3,5—双(2—羟基六氟异丙... 合成了一种氢键酸性小分子神经毒气敏感材料。以二氯硅烷、2—溴甲基萘、活化锌粉、丙烯基苯为起始原料,通过格氏反应、硅氢加成,制备得到二(苯丙基)—二[(2—萘基)甲基]硅烷,然后用六氟异丙醇进行取代,得到二[3,5—双(2—羟基六氟异丙基)苯丙基]—二{(4,6,8—三[3,5—双(2—羟基六氟异丙基)]—2—萘基)甲基}硅烷(HPNMS)。将HPNMS涂覆在声表面波(SAW)传感器上,研究了其对神经毒剂模拟剂甲基膦酸二甲酯(DMMP)的气敏特性。结果表明:在(30~170)×10-6的气体体积分数范围内,SAW传感器的响应值与DMMP的含量呈线性关系,对于较厚的敏感膜灵敏度可达266 Hz/10-6。且响应迅速,解吸彻底,对甲苯、丙酮等干扰气体也具有良好的选择性。 展开更多
关键词 神经毒气 敏感材料 小分子 氢键酸性 声表面波传感器
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杯芳烃-SAW传感器检测有机磷响应特性研究
12
作者 曹丙庆 吕晖 +3 位作者 骆国芳 潘勇 赵建军 黄启斌 《化学传感器》 CAS 2008年第1期54-57,共4页
研究了以25-(硫代烷基烷氧基)-对叔丁基杯[4]芳烃自组装分子作为声表面波(SAW)化学传感器敏感膜材料的SAW双通道延迟线传感器对DMMP检测的敏感特性。实验结果表明杯芳烃-SAW传感器对DMMP有高的灵敏度、好的响应特性和重复性。
关键词 杯芳烃 声表面波传感器 自组装 DMMP 检测
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用于检测VOC蒸汽的声表面波传感器阵列 被引量:5
13
作者 胡佳 杜晓松 蒋亚东 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第2期10-12,共3页
研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜... 研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局,以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数,以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量。该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力。 展开更多
关键词 声表面波传感器阵列 挥发性有机化合物(VOC) 声表面波振荡电路 气喷
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基于等强度梁的声表面波力传感器研究 被引量:3
14
作者 李源 丁天怀 冯冠平 《传感器技术》 CSCD 1997年第4期7-9,12,共4页
分析了声表面波(SAW)力传感器加载后,频率稳定性变差的原因.设计了一种新型的采用等强度梁的力传感器,并通过采用特殊的器件封装方法达到了既保护了表面电极又不影响传感器灵敏度的目的。给出了该传感器的频漂实验和力-频特性实验... 分析了声表面波(SAW)力传感器加载后,频率稳定性变差的原因.设计了一种新型的采用等强度梁的力传感器,并通过采用特殊的器件封装方法达到了既保护了表面电极又不影响传感器灵敏度的目的。给出了该传感器的频漂实验和力-频特性实验结果。 展开更多
关键词 声表面波 传感器 等强度梁
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基于极化和复用的SAW传感器阵列 被引量:2
15
作者 张领 刘文 王磊 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第3期78-80,84,共4页
针对谐振型声表面波(SAW)温度传感器难以灵活构建较大规模传感器阵列的问题,结合天线技术,基于极化和复用的思想,通过频分、时分、空间角度分集和极化,研究实现较大规模的SAW传感器阵列的方法。并通过实际测试,实验结果表明:在略微增加... 针对谐振型声表面波(SAW)温度传感器难以灵活构建较大规模传感器阵列的问题,结合天线技术,基于极化和复用的思想,通过频分、时分、空间角度分集和极化,研究实现较大规模的SAW传感器阵列的方法。并通过实际测试,实验结果表明:在略微增加发射天线数目的代价下,阵列规模迅速增大,阵列中的传感器元能得到有效辨识。实验结果验证了设计方法的可行性。 展开更多
关键词 声表面波 传感器阵列 极化和复用 天线
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一种用于图书档案库的小波加权式声表面波温度传感器的关键问题研究 被引量:5
16
作者 张静端 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1162-1167,共6页
本文提出把声表面波温度传感器用于图书档案库的温度控制系统中.当图书档案库中温度变化时,该温度传感器的输出频率与温度成线性关系,从而达到测量温度的目的.同时还提出将输入换能器变迹加权函数、换能器的指条数对声表面波功率的影响... 本文提出把声表面波温度传感器用于图书档案库的温度控制系统中.当图书档案库中温度变化时,该温度传感器的输出频率与温度成线性关系,从而达到测量温度的目的.同时还提出将输入换能器变迹加权函数、换能器的指条数对声表面波功率的影响作为两个关键问题进行了研究,并且解决了这两个关键问题.在声表面波温度传感器的研究中,用小波函数对输入换能器进行变迹加权,导致于抑制了该温度传感器频率特性曲线的旁瓣.换能器的指条数越多,产生的体声波越弱(即换能器的指条数越多,产生的声表面波越强).只要换能器的指条数大于40条时,产生的体声波可以忽略,而产生的声表面波是很强的.并且对该温度传感器的设计、制作及实验进行了详细研究. 展开更多
关键词 图书档案库 声表面波温度传感器 旁瓣 换能器的指条数
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基于SAW的电缆接头内部测温天线研究
17
作者 张晓新 张兴磊 +2 位作者 林峰 杨旭 马爽 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期178-182,共5页
由于声表面波(SAW)测温技术因具有无源无线的特点而备受研究人员的广泛关注。该技术可应用在电缆接头内部的温度测量中,但因受电缆接头材料和结构的影响,使SAW测温信号传递受阻,严重影响了温度信号的检测。该文基于DWG-630A型电缆接头... 由于声表面波(SAW)测温技术因具有无源无线的特点而备受研究人员的广泛关注。该技术可应用在电缆接头内部的温度测量中,但因受电缆接头材料和结构的影响,使SAW测温信号传递受阻,严重影响了温度信号的检测。该文基于DWG-630A型电缆接头的结构和材料,设计了一款可用于电缆接头内部测温的天线。通过其理论分析、仿真及试验验证,证明该设计切实可行。结果表明,穿过电缆接头可传递SAW温度信号,并在工作频段内具有良好的增益和辐射效果。 展开更多
关键词 电缆接头 声表面波温度传感器 天线 HFSS
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SAW压力传感器声传播方向特性研究
18
作者 李旺旺 薛卫彪 屈珉敏 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第11期27-30,共4页
针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11... 针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11-20〉)和m方向(〈1-100〉)传播时的器件性能,包括AlN和IDT的厚度对声速和机电耦合系数的影响,以及不同方向传播时SAW压力传感器灵敏度的变化。实验结果表明:表面波沿a方向传播的传感器相比于m方向明显具有更高的声速与机电耦合系数,2个方向的传感器灵敏度分别为435.37×10^(-6)/MPa和426.29×10^(-6)/MPa,a方向灵敏度略大于m方向。此研究工作为之后的传感器设计制造提供了一定的参考价值。 展开更多
关键词 声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度
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一种声表面波液体密度传感器的实验研究 被引量:2
19
作者 吕霞付 张崇军 +2 位作者 王武 蔡绍皙 邓明晰 《传感器技术》 CSCD 1999年第5期44-46,49,共4页
介绍了一种新型的表面波(SAW)液体密度传感器的结构,并对其进行了理论分析和初步实验。结果表明:与传统的液体密度传感器相比,这种传感器具有结构简单、测量精度高、需用试样少等特点,具有广泛的应用前景。
关键词 声表面波 液体密度 传感器 测量
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声表面波醋酸气体传感器的气敏特性 被引量:1
20
作者 罗颖华 唐水平 王立红 《化学传感器》 CAS 1995年第2期92-95,共4页
本文研究了声表面波醋酸气体传感器的气敏特性。选用了复合膜材料,性能稳定,响应时间20秒,灵敏度高,膜材料受溶剂的干扰小,选择性好。
关键词 气体传感器 声表面波 传感器 醋酸
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