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具有片上电感的改进型梯形声表面波滤波器
1
作者 杨茂坤 帅垚 +3 位作者 魏子杰 吴传贵 罗文博 张万里 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期439-442,共4页
针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和... 针对小体积声表面波(SAW)滤波器性能受封装影响较大的问题,提出了一种新型SAW梯形滤波器电路拓扑结构。通过分析滤波器高频受封装影响造成的远端抑制上翘的现象,从电路结构出发,改变版图设计,实现了片上电感。采用传统梯形滤波器结构和利用纵向耦合双模谐振器型滤波器(DMS)特殊接地结构相结合的电路拓扑结构,有助于提高带外抑制和设计灵活性。在标准的42°Y-X钽酸锂(LiTaO_(3))基板上制作滤波器,通过仿真分析得到中心频率2580 MHz、带宽50 MHz、插入损耗小于2.5 dB的高阶梯形射频SAW滤波器的最优拓扑结构。测试结果表明,通过改变电路拓扑结构关键参数和引入新的传输零点,可改善在高频段内的带外抑制特性。 展开更多
关键词 封装 声表面波(saw)滤波器 片上电感 DMS结构 传输零点 带外抑制
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离子束刻蚀技术在SAW滤波器频率修整上的应用
2
作者 时鹏程 吴兵 +4 位作者 袁燕 于海洋 林树超 孟腾飞 周培根 《微纳电子技术》 CAS 2024年第3期169-175,共7页
随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻... 随着声表面波(SAW)滤波器的应用向高频、窄带方向延伸,在制造过程中准确地控制其中心频率及一致性变得越来越困难,需要对SAW滤波器的频率进行微调。重点介绍了一种在SAW滤波器上可实现目标频率修整的离子束刻蚀修频工艺,通过实验发现刻蚀厚度不同对滤波器表面的影响程度不同,一次离子束刻蚀厚度为50 nm时,铝膜表面出现微结构变化。分析了对晶圆、器件进行离子刻蚀工艺引起热损伤的机理,表征了不同刻蚀厚度对SAW滤波器粘接芯片的剪切力和硅铝丝键合力的影响。根据实验现象及结果提出了分梯度多次刻蚀的优化方案,给出了不同刻蚀厚度的刻蚀精度,对实验结果进行拟合,得到中心频率与刻蚀厚度的关系方程,从频率、插入损耗和通带方面分析了离子束刻蚀工艺对SAW滤波器电学性能的影响。经离子束刻蚀修频后,滤波器中心频率提高2 MHz,中心频率标准差由0.4 MHz减少为0.15 MHz,中心频率的均一性由0.29%改善至0.11%,频率一致性变好。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 离子束刻蚀 频率修整 刻蚀速率 微观结构
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基于有限元法和色散COM模型的声表面波滤波器联合仿真 被引量：1
3
作者 郑泽渔 杜雪松 +2 位作者 董加和 陈正林 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第2期165-168,共4页
针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器... 针对任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的声表面波(SAW)滤波器的精确快速设计问题,该文基于声/电/磁多物理场耦合全波仿真平台,结合基因遗传优化算法和通用图形处理器(GPGPU)加速技术,利用有限元分层级联精确模型(HCT)优化设计梯形谐振器,色散COM模型优化设计纵向耦合谐振器,实现了任意复杂膜系结构和电路拓扑结构的SAW滤波器的正向设计与优化。通过42°Y-X LiTaO_(3)常规SAW滤波器的优化设计与研制,设计优化结果与实验结果吻合较好,验证了该方法的有效性和可行性。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 全波仿真 分层级联 遗传算法
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ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作 被引量：3
4
作者 陈颖慧 郑英彬 +3 位作者 席仕伟 唐彬 王旭光 张慧 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期443-447,478,共6页
传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/I... 传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。 展开更多
关键词 射频微机电系统(RFMEMS) 声表面波滤波器(saw) 金刚石 氧化锌薄膜 叉指换能器(IDT)
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低插损高频SAW滤波器的研究 被引量：1
5
作者 王巍 周杨春 +3 位作者 王方 谭纪伟 滕洪菠 李俊峰 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期180-186,共7页
采用单层膜、梯形结构基于128°YX-LiNbO_(3)材料研究了Al电极厚度、叉指占空比、反射栅周期、拓扑结构对插损、带外抑制和矩形度的影响。为了降低带内波动和插入损耗,该文设计了一种叉指换能器(IDT)型反射栅结构,该结构对采取优化... 采用单层膜、梯形结构基于128°YX-LiNbO_(3)材料研究了Al电极厚度、叉指占空比、反射栅周期、拓扑结构对插损、带外抑制和矩形度的影响。为了降低带内波动和插入损耗,该文设计了一种叉指换能器(IDT)型反射栅结构,该结构对采取优化措施前后谐振器的带内最大尖峰损耗分别降低了8.84%和0.55%。最后采用此反射栅结构设计了一款低插损高频声表面波(SAW)滤波器,有限元仿真结果表明,该滤波器的中心频率为2.5205 GHz,插入损耗为-0.50212 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于98 MHz。 展开更多
关键词 占空比 声表面波(saw)滤波器 叉指换能器(IDT)型反射栅 电极厚度 “T+π”型拓扑结构
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基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器
6
作者 赵雪梅 郑泽渔 +3 位作者 董加和 伍平 陈彦光 陈正林 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期253-255,共3页
该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉... 该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 极窄带 相对带宽 双模声表面波
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基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计
7
作者 史向龙 陈晓阳 +3 位作者 张俊茜 苏波 于倩至 孙伟彬 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期230-233,共4页
该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软... 该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软件进行精确的声学验证,最后通过实验验证了仿真结果的有效性。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 Band3频段 七阶换能器 谐振器 有限元法/边界元法(FEM/BEM)
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半导体领域中的SAW滤波器类型及实际应用
8
作者 胡多凯 《通信电源技术》 2022年第1期34-36,共3页
半导体行业中,对芯片元器件的质量要求越来越严格,如何确保元器件具有较高的应用性能成为人们关注的重点。对此主要分析了半导体领域中声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波器的类型,总结了梳状叉指式换能器(Interdigitated Interdi... 半导体行业中,对芯片元器件的质量要求越来越严格,如何确保元器件具有较高的应用性能成为人们关注的重点。对此主要分析了半导体领域中声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波器的类型,总结了梳状叉指式换能器(Interdigitated Interdigital Transducer,IIDT)、缺陷微带结构(Defected Microstrip Structure,DMS)与Ladder滤波器的性能优势。在此基础上对SAW滤波器的实际应用和未来发展趋势进行了总结,以期为半导体领域的发展作出贡献。 展开更多
关键词 半导体领域 声表面波(saw)滤波器 梳状叉指式换能器(IIDT) 缺陷微带结构(DMS)
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3.4 GHz频率的S波段SAW滤波器
9
作者 白涛 董加和 +8 位作者 马晋毅 蒋世义 郑泽渔 陈尚权 米佳 冷俊林 陈彦光 杨桃均 刘建国 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期199-201,共3页
该文研制了一款频率3.4 GHz的S波段声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用一种由新型谐振器构成的阻抗元结构,能提升抗热释电静电损伤能力,用时可在一定程度上提升器件的功率承受能力。同时研制了尺寸为2.0 mm×1.6 mm的芯片级封装(CSP... 该文研制了一款频率3.4 GHz的S波段声表面波(SAW)滤波器。该滤波器采用一种由新型谐振器构成的阻抗元结构,能提升抗热释电静电损伤能力,用时可在一定程度上提升器件的功率承受能力。同时研制了尺寸为2.0 mm×1.6 mm的芯片级封装(CSP)基板。采用倒装焊工艺实现了芯片与CSP基板的电连接,降低了电磁寄生影响。结果表明,研制的SAW滤波器频率为3.408 GHz,插损为2.23 dB,8 GHz远端阻带大于30 dB,且实测的功率承受能力达到30 dBm。 展开更多
关键词 声表面波(saw)滤波器 S波段 芯片级封装(CSP)
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SAW滤波器优化设计研究
10
作者 杨朝斌 徐继麟 黄香馥 《电路与系统学报》 CSCD 1997年第3期43-46,共4页
本文提出一种新的通用分解优化设计方法，它先将频域设计目标函数通过采样与内插重构以及Ｚ域零点分离法分解为两项再进行优化，适用于指长重迭加权的共线型与多条藕合器型声表面波（ＳＡＷ）滤波器，以及任意幅频特性的传递函数的合成... 本文提出一种新的通用分解优化设计方法，它先将频域设计目标函数通过采样与内插重构以及Ｚ域零点分离法分解为两项再进行优化，适用于指长重迭加权的共线型与多条藕合器型声表面波（ＳＡＷ）滤波器，以及任意幅频特性的传递函数的合成。最后给出模拟结果并得出结论。 展开更多
关键词 声表面波滤波器 指长重迭加权 滤波器 优化设计
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