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基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
被引量：
19
1
作者
何永辉
蒋剑峰
赵万生
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第2期150-152,155,共4页
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了...
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。
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关键词
表面三维微观形貌测量
白光干涉
扫描白光干涉法
三维轮廓仪
原文传递
表面三维微观形貌检测技术及其发展
被引量：
3
2
作者
蒋剑峰
何永辉
赵万生
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第12期1418-1420,共3页
从表面特征衡量的角度阐述三维参数评定的客观性及合理性,强调三维微观形貌测量的重要性。介绍当前表面三维微观形貌检测的多种测量方法及其特点,并阐述该测量技术的发展及趋势。
关键词
表面特征衡量
三维微观形貌
测量
参数评定
下载PDF
职称材料
冷轧钢板表面三维微观形貌测量系统
3
作者
何永辉
颜永根
+1 位作者
徐耀寰
蒋剑峰
《宝钢技术》
CAS
2000年第2期49-51,63,共4页
在论述冷轧钢板表面三维微观形貌测量必要性的基础上 ,介绍了利用白光干涉特性进行测量的扫描白光干涉法的测量原理及测量系统 ,采用幅值解调算法确定测试点高度 ,既提高了测量精度又缩短了测量时间。由一个冷轧钢板测量实例 。
关键词
表面三维微观形貌检测
冷轧钢板
下载PDF
职称材料
题名
基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
被引量：
19
1
作者
何永辉
蒋剑峰
赵万生
机构
上海宝钢股份有限公司研究院设备所
上海交通大学电子信息学院
哈尔滨工业大学特种加工研究所
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
2001年第2期150-152,155,共4页
文摘
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。
关键词
表面三维微观形貌测量
白光干涉
扫描白光干涉法
三维轮廓仪
Keywords
surface
3D
micro
topography
measurement
white
light
interference
scanning
white
light
interferometry
3
D
profiler
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TH741.3 [机械工程—仪器科学与技术]
原文传递
题名
表面三维微观形貌检测技术及其发展
被引量：
3
2
作者
蒋剑峰
何永辉
赵万生
机构
哈尔滨工业大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第12期1418-1420,共3页
文摘
从表面特征衡量的角度阐述三维参数评定的客观性及合理性,强调三维微观形貌测量的重要性。介绍当前表面三维微观形貌检测的多种测量方法及其特点,并阐述该测量技术的发展及趋势。
关键词
表面特征衡量
三维微观形貌
测量
参数评定
Keywords
Assessment
of
surface
feature
3
D
parameter
assessment
3
D
micro
topography
measurement
Process
optimization
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
下载PDF
职称材料
题名
冷轧钢板表面三维微观形貌测量系统
3
作者
何永辉
颜永根
徐耀寰
蒋剑峰
机构
上海宝钢研究院
冷轧部
哈尔滨工业大学
出处
《宝钢技术》
CAS
2000年第2期49-51,63,共4页
文摘
在论述冷轧钢板表面三维微观形貌测量必要性的基础上 ,介绍了利用白光干涉特性进行测量的扫描白光干涉法的测量原理及测量系统 ,采用幅值解调算法确定测试点高度 ,既提高了测量精度又缩短了测量时间。由一个冷轧钢板测量实例 。
关键词
表面三维微观形貌检测
冷轧钢板
Keywords
surface
3D
micro
topography
measurement
Scanning
white
light
interferometry
Amplitude
demodulation
algorithm
分类号
TG335.12 [金属学及工艺—金属压力加工]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪
何永辉
蒋剑峰
赵万生
《光学技术》
CAS
CSCD
2001
19
原文传递
2
表面三维微观形貌检测技术及其发展
蒋剑峰
何永辉
赵万生
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
3
下载PDF
职称材料
3
冷轧钢板表面三维微观形貌测量系统
何永辉
颜永根
徐耀寰
蒋剑峰
《宝钢技术》
CAS
2000
0
下载PDF
职称材料
已选择
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参考文献
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