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题名基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究
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作者
苗晋威
杨沙沙
齐秉楠
曹文萍
史一明
王任鑫
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机构
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
声纳技术重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第3期60-62,75,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51875535,61927807)。
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文摘
通过关键工艺步骤,将硅(Si)纳米膜制备在差分结构水听器上作为压敏电阻,利用Si纳米膜的巨压阻效应来提高水听器的灵敏度;利用深Si刻蚀,将Si柱与芯片一体化,减少了差分结构的对准误差,同时抑制海洋洋流带来的振动干扰。设计了相对应的光刻掩模版和整套工艺流程,通过MEMS工艺,成功加工出Si纳米膜作为压敏电阻,实现矢量水听器芯片与Si柱集成化。对制备好的芯片进行观测与测试,使用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜(SEM)设备观察芯片形貌良好,尺寸与设计基本一致;通过半导体分析仪测量得到压敏电阻器的阻值为15.3×10^(4)Ω,线性度良好,符合矢量水听器功能需求。
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关键词
矢量水听器
抑制振动干扰
硅纳米膜
压敏电阻器
微电子机械系统
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Keywords
vector hydrophone
suppression of vibration interference
silicon nanofilm
varistor
MEMS
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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