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刻蚀工序吸盘印的有效解决措施
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作者 吕沫 《山西电子技术》 2020年第1期26-28,共3页
本文以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,针对刻蚀工序后自动化传输中容易产生的划痕缺陷,提出了解决办法,即采用翻转机构将刻蚀面朝上放置避免其与传送带接触,并分析了翻转过程中吸盘印产生的主要原因,并通过大量试验制定出解决吸... 本文以自主研发的刻蚀工序自动化设备为基础,针对刻蚀工序后自动化传输中容易产生的划痕缺陷,提出了解决办法,即采用翻转机构将刻蚀面朝上放置避免其与传送带接触,并分析了翻转过程中吸盘印产生的主要原因,并通过大量试验制定出解决吸盘印的有效措施。 展开更多
关键词 刻蚀 缺陷 吸盘印
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