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电子束物理气相沉积制备热障涂层研究进展 被引量:11
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作者 孙健 刘书彬 +3 位作者 李伟 姜肃猛 宫骏 孙超 《装备环境工程》 CAS 2019年第1期1-6,共6页
介绍了电子束物理气相沉积设备的主要组成、工作原理和电子束物理气相沉积热障涂层的结构特点,并重点论述了工件转速、工件温度、靶材蒸汽入射角度、工件表面的粗糙度、粘结层预氧化、改性粘结层和双层陶瓷层等对电子束物理气相沉积热... 介绍了电子束物理气相沉积设备的主要组成、工作原理和电子束物理气相沉积热障涂层的结构特点,并重点论述了工件转速、工件温度、靶材蒸汽入射角度、工件表面的粗糙度、粘结层预氧化、改性粘结层和双层陶瓷层等对电子束物理气相沉积热障涂层性能的影响。 展开更多
关键词 航空发动机 电子束物理气相沉积 热障涂层 粘结层 工件转速 工件温度
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