-
题名非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术
被引量：11
- 1
-
-
作者
张磊
田超
刘东
师途
杨甬英
沈亦兵
-
机构
浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室
-
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期156-164,共9页
-
基金
国家自然科学基金(11275172)
中央高校基本科研业务费专项资金(2013QNA5006)
现代光学仪器国家重点实验室创新基金(MOI201208)
-
文摘
提出了一种新型的非零位环形子孔径拼接干涉检测技术(NASSI)用以检测深度非球面面形误差。该方法结合了传统非零位干涉检测法与环形子孔径拼接法,采用部分零位镜替代了标准环形子孔径拼接干涉仪中的透射球面镜,产生非球面波前用以匹配被测面不同子孔径区域。该非球面波前比球面波前更加接近被测面的名义面形,使所需的子孔径数目大大减少。一方面增大了环带宽度和重叠区,提高了拼接精度;另一方面减少了各种误差累积次数。同时,配合基于系统建模的理论波前方法分别校正各个子孔径的回程误差,进一步提高了检测精度。对非球面度为25μm的高次非球面的计算机仿真检测结果表明该方法具有很高的理论精度。针对口径101mm的抛物面进行了实验检测,多次实验结果均与ZygoR○VerifireTMAsphere干涉仪检测结果一致,峰谷(PV)值误差优于λ/20,均方根(RMS)值误差优于λ/100,表明了NASSI方法的高精度与高重复性。
-
关键词
测量
深度非球面检测
非零位环形子孔径拼接
部分零位镜
子孔径数目
回程误差
-
Keywords
measurement
steep aspheric test
non-null annular subaperture stitching
partial null lens
subaperture number
retrace error
-
分类号
TQ171.65
[化学工程—玻璃工业]
-
-
题名样本容量对子孔径拼接检测精度影响的分析
被引量：4
- 2
-
-
作者
董军
张蓉竹
张均
杨毅松
许乔
蔡邦维
-
机构
四川大学电子信息学院
成都精密光学工程研究中心
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期37-38,共2页
-
文摘
应用数理统计理论及线性回归分析方法详细分析了在子孔径拼接检测中样本容量对测量精度的影响,通过计算确定了当子孔径拼接干涉检测中样本容量大于10 4时,即可保证检测精度,又能减小计算的复杂程度。
-
关键词
子孔径拼接
样本容量
精度
统计理论
-
Keywords
subaperture stitching
sampling number
accuracy
statistical theory
-
分类号
TN248.1
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名样本容量对子孔径拼接检测精度影响的分析
被引量：4
- 3
-
-
作者
董军
张蓉竹
蔡邦维
张均
杨毅松
许乔
-
机构
四川大学电子信息学院
成都精密光学工程研究中心
成都精密光学工程研究中心
-
出处
《光学与光电技术》
2005年第1期61-64,共4页
-
文摘
应用数理统计理论及线性回归分析方法,详细分析了在子孔径拼接检测中样本容量对测量精度的影响。通过计算,确定了当子孔径拼接干涉检测中样本容量大于 104 时,既可保证检测精度,又能减小计算的复杂程度。
-
关键词
子孔径拼接
样本容量
精度
统计理论
-
Keywords
subaperture stitching
sampling number
accuracy
statistical theory
-
分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
-
