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长导轨直线度分段测量拼接方法研究 被引量:6
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作者 李婷 缪东晶 +2 位作者 李连福 李建双 钟文 《计量学报》 CSCD 北大核心 2022年第7期837-843,共7页
激光干涉仪测量超长导轨直线度时,因导轨长度超出干涉仪直线度测量范围,需分段测量后拼接,测量数据易受噪声和激光漂移等因素影响,导致拼接可能引入较大误差。通过分析拼接过程中的影响因素,结合长导轨结构特性,提出了一种将拼接公共点... 激光干涉仪测量超长导轨直线度时,因导轨长度超出干涉仪直线度测量范围,需分段测量后拼接,测量数据易受噪声和激光漂移等因素影响,导致拼接可能引入较大误差。通过分析拼接过程中的影响因素,结合长导轨结构特性,提出了一种将拼接公共点分布在相邻两节子导轨上,利用相邻两节子导轨夹角的稳定特性来实现长导轨直线度拼接的方法。通过仿真与实验,对比了30 m范围内的直接测量法与坐标变换拼接法的测量结果,2种方法的直线度结果相差<10μm,表明所提出的方法能有效减小拼接误差。将此方法应用于72 m导轨的直线度测量,并与电子水平仪测量方法比较,2种方法结果相差10μm,表明所提出的方法可实现高精度的直线度拼接。 展开更多
关键词 计量学 超长导轨 激光干涉仪 拼接方法 直线度 分段测量 坐标变换
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用长程面形仪对变线距光栅的线密度进行拼接测量
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作者 韦怀坤 宦述虎 +4 位作者 刘颖 陈火耀 邱克强 刘正坤 洪义麟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期124-131,共8页
随着同步辐射光源中光束线的分辨率不断提高,衍射光栅成为影响分辨率的关键因素,因此,在将光栅安装到光束线之前,需要进行准确的测试。用长程面形仪测量合肥光源光电子能谱线所需的变线距光栅的线密度,光栅衍射角变化范围超出长程面形... 随着同步辐射光源中光束线的分辨率不断提高,衍射光栅成为影响分辨率的关键因素,因此,在将光栅安装到光束线之前,需要进行准确的测试。用长程面形仪测量合肥光源光电子能谱线所需的变线距光栅的线密度,光栅衍射角变化范围超出长程面形仪的测量范围,因此采用拼接测量。用数据重叠测试及数据处理方法,消除了转台定位误差,有效抑制了随机误差,使光栅周期测量的重复性有较大提高。不同重叠率的测试结果显示,测量一致性优于1.13×10-6(RMS),满足了变线距光栅的测试需求。 展开更多
关键词 测量 衍射测量 变线距光栅 拼接测量 长程面形仪
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Multi-camera calibration method based on minimizing the difference of reprojection error vectors 被引量:3
3
作者 HUO Ju LI Yunhui YANG Ming 《Journal of Systems Engineering and Electronics》 SCIE EI CSCD 2018年第4期844-853,共10页
In order to achieve a high precision in three-dimensional(3D) multi-camera measurement system, an efficient multi-cameracalibration method is proposed. A stitching method of large scalecalibration targets is deduced... In order to achieve a high precision in three-dimensional(3D) multi-camera measurement system, an efficient multi-cameracalibration method is proposed. A stitching method of large scalecalibration targets is deduced, and a fundamental of multi-cameracalibration based on the large scale calibration target is provided.To avoid the shortcomings of the method, the vector differencesof reprojection error with the presence of the constraint conditionof the constant rigid body transformation is modelled, and mini-mized by the Levenberg-Marquardt (LM) method. Results of thesimulation and observation data calibration experiment show thatthe accuracy of the system calibrated by the proposed methodreaches 2 mm when measuring distance section of 20 000 mmand scale section of 7 000 mm × 7 000 mm. Consequently, theproposed method of multi-camera calibration performs better thanthe fundamental in stability. This technique offers a more uniformerror distribution for measuring large scale space. 展开更多
关键词 vision measurement multi-camera calibration field stitching vector error
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显示器面形对拼接偏折术测量精度的影响研究
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作者 陈飞 李大海 +1 位作者 张新伟 王瑞阳 《光学与光电技术》 2023年第4期15-25,共11页
偏折术作为一种高精度的面形检测方法,其测量精度不仅依赖于系统参数的标定精度,还受到显示器面形的影响,尤其是对于常用的基于平面镜反射模型实现系统标定的偏折术测量系统,显示器面形还会直接影响系统参数的标定精度。为了研究显示器... 偏折术作为一种高精度的面形检测方法,其测量精度不仅依赖于系统参数的标定精度,还受到显示器面形的影响,尤其是对于常用的基于平面镜反射模型实现系统标定的偏折术测量系统,显示器面形还会直接影响系统参数的标定精度。为了研究显示器面形对拼接偏折术测量精度的影响,首先预设了不同形变量的显示器面形,再依据提出的计算方法分析了其对系统标定精度以及测量精度的影响,结果证明显示器面形不仅会降低系统参数的标定精度,还会在待测元件的面形测量结果中引入较大的低阶项及高阶项误差。最后通过与实验结果对比,进一步验证了所提出方法的正确性,该研究为拼接偏折术检测系统的测量误差提供了一种定量计算分析方法。 展开更多
关键词 拼接偏折术 显示器面形 相机标定 低高阶误差 测量精度
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基于机器视觉的零件产品检测系统设计 被引量:4
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作者 顾桂鹏 邵勇 +1 位作者 张钰婷 昝鹏 《工业控制计算机》 2017年第1期21-22,25,共3页
为了提高汽车座椅零件在生产车间分拣的效率,将数字图像处理技术应用于该类产品的检测,设计了基于机器视觉的座椅零件双目检测系统。首先采用简单可行的方法对两个相机拍摄的图像进行拼接,克服传统图像拼接特征点难找的缺陷;接着采用改... 为了提高汽车座椅零件在生产车间分拣的效率,将数字图像处理技术应用于该类产品的检测,设计了基于机器视觉的座椅零件双目检测系统。首先采用简单可行的方法对两个相机拍摄的图像进行拼接,克服传统图像拼接特征点难找的缺陷;接着采用改进最大类间方差法获取动态阈值对图像进行分割,使用形态学处理方法解决纺布产品边缘毛刺干扰的难题;然后将处理后的二值图像分别向X轴Y轴投影取像素直方图方法准确定位目标区域;最后基于轮廓检测、圆检测以及角点检测的参数模板匹配方法可以实现产品的精确测量。实验结果表明,该系统具有识别精度高、可靠性强,分拣速率可达120个/分钟,已经取代传统的人工检测方法 ,成功应用于座椅零件产品生产流水线中。 展开更多
关键词 机器视觉 图像拼接 形态学处理 轮廓检测 尺寸测量
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基于图像拼接的电连接器插针检测方法研究
6
作者 张宇 戴娜 +3 位作者 戈海龙 成巍 李文龙 任远 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2023年第12期99-104,126,共7页
针对远心镜头无法调节视场大小,难以适应大尺寸矩形电连接器检测的问题,通过图像拼接的方法进行矩形电连接器测量与检测。将检测装置安装在工业机器人末端,通过机器人运动完成三帧待拼接图像的采集。对相机进行像素当量计算,采用中值滤... 针对远心镜头无法调节视场大小,难以适应大尺寸矩形电连接器检测的问题,通过图像拼接的方法进行矩形电连接器测量与检测。将检测装置安装在工业机器人末端,通过机器人运动完成三帧待拼接图像的采集。对相机进行像素当量计算,采用中值滤波去噪,基于PatMax算法进行图像重叠区域的识别与匹配,引入Sobel边缘检测,完成图像的无缝拼接。通过设计测量算法,完成电连接器长度的测量、动态识别插针、定位插针、插针间距的计算。通过对2种型号的电连接器进行实验,结果表明:该方法对电连接器的尺寸测量平均相对误差低于0.1 mm,插针识别率达100%,拼接后插针间距与实际间距平均误差为0.02 mm,可满足实际应用中电连接器插针检测与测量要求。 展开更多
关键词 电连接器 图像拼接 插针定位 视觉测量
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大口径光学元件功率谱密度的拼接干涉检测 被引量:3
7
作者 刘昂 何宇航 +4 位作者 李强 高波 石琦凯 柴立群 许乔 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期139-147,共9页
为实现大口径光学元件波前功率谱密度(PSD)的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接检测算法进行了仿真验... 为实现大口径光学元件波前功率谱密度(PSD)的高精度、低成本检测,提出了一种将干涉与拼接技术结合的检测方法。推导了波前PSD的计算方法,提出了基于相关匹配的子孔径拼接算法,分析了拼接干涉检测的误差来源。对拼接检测算法进行了仿真验证,结果表明,拼接检测的波前畸变峰谷值(d_(pv))与PSD的均方根值(P_(RMS))的相对偏差分别为1.2%和0.1%。采用口径为620 mm×450 mm光学元件开展了5次拼接检测实验,比较了拼接检测与全口径直接检测结果,两者分布一致,d_(pv)偏差不大于0.012λ(λ=632.8 nm),P_(RMS)偏差不大于0.03 nm,表明该算法稳定可靠,可实现大口径光学元件波前PSD的拼接检测。 展开更多
关键词 测量 子孔径拼接 相关匹配 功率谱密度 波前测量
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平面光学元件平面度动态干涉拼接测量 被引量:3
8
作者 张小强 武欣 +1 位作者 王伟荣 于瀛洁 《计量学报》 CSCD 北大核心 2016年第5期484-488,共5页
开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量,并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响;根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径... 开展了基于动态干涉仪的平面光学元件平面度干涉拼接测量,并研究了影响测量和拼接的主要误差。用二级减振的方法来抑制环境中振动的影响;根据允许的变化条纹数来控制二维移动平台导轨精度。建立了以ZYGO公司的DynaFiz干涉仪为子口径采集仪器的干涉拼接系统,开展了单口径平面度测量及拼接实验,完成了200mm×300mm平面光学元件的平面度测试,并与大口径干涉仪所测试的全口径测量数据进行比对,拼接结果的10次实验均方差为0.001λ(λ=632.8nm)。 展开更多
关键词 计量学 拼接测量 平面度 动态干涉仪 平面光学元件
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基于变尺度法的机床平面度误差轮廓重构算法 被引量:3
9
作者 卢泽宸 赵春雨 刘志学 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期857-861,共5页
为了解决国内机床导轨安装表面平面度检测无法实现数字化描述这一问题,基于变尺度原理,提出了全新的机床导轨安装面平面度误差检测方法,通过将多段具有重合区域的短安装面拼接起来实现安装表面全长测量.同时设计出了检测仪,给出了测量原... 为了解决国内机床导轨安装表面平面度检测无法实现数字化描述这一问题,基于变尺度原理,提出了全新的机床导轨安装面平面度误差检测方法,通过将多段具有重合区域的短安装面拼接起来实现安装表面全长测量.同时设计出了检测仪,给出了测量原理,利用基准板、测量仪和机床导轨安装表面间的几何关系,建立了算法的理论模型,开发出机床导轨安装表面平面度误差轮廓重构算法,并对算法进行了仿真.结果表明,算法可以精确重构出机床导轨安装面平面度误差轮廓. 展开更多
关键词 平面度 变尺度原理 数字化检测 拼接测量 轮廓重构算法
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磨削阶段大口径非球面拼接测量技术 被引量:3
10
作者 张东旭 杨平 +3 位作者 毕果 杨旭 叶世蔚 郭隐彪 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期22-29,共8页
为实现对磨削加工阶段大口径非球面光学元件的精密测量,提出一种基于坐标测量的多段拼接综合优化数据处理模型。基于多体系统理论、最小二乘原理建立两段面形轮廓拼接数学模型;提出基于曲率原理和非球面方程最小二乘拟合的冗余数据剔除... 为实现对磨削加工阶段大口径非球面光学元件的精密测量,提出一种基于坐标测量的多段拼接综合优化数据处理模型。基于多体系统理论、最小二乘原理建立两段面形轮廓拼接数学模型;提出基于曲率原理和非球面方程最小二乘拟合的冗余数据剔除数学模型;建立多段拼接的综合优化处理模型;利用Taylor Hobson轮廓仪对口径为176 mm的非轴对称非球面光学元件的3条母线进行分段测量试验并通过文中提出的数学模型进行数据拼接处理,试验结果表明,拼接测量结果与单次测量结果相比,误差最大值的平均值为0.25μm,最小值的平均值为–0.22μm,比该光学元件的面形峰-谷值2.77μm高出一个数量级,达到检测要求。试验结果证明所提多段拼接综合优化数据处理模型的正确性及有效性,该模型可以进行工程应用。 展开更多
关键词 大口径非球面 拼接测量 冗余数据剔除 综合优化处理
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双CCD轮对图像测量系统研究 被引量:2
11
作者 薛琴 陈玮 《微计算机信息》 北大核心 2007年第19期164-166,163,共4页
从实际出发,考虑了火车轮对的检测是火车提速的瓶颈,现实检测自动化程度低,提出了利用图像处理技术和模式识别技术来检测轮对的方法。采用双CCD测量方法,解决了大视场测量问题的难度,降低了检测成本,提高了测量精度。本文从测量原理、... 从实际出发,考虑了火车轮对的检测是火车提速的瓶颈,现实检测自动化程度低,提出了利用图像处理技术和模式识别技术来检测轮对的方法。采用双CCD测量方法,解决了大视场测量问题的难度,降低了检测成本,提高了测量精度。本文从测量原理、标定方法和误差分析具体阐述了双CCD轮对测量系统。 展开更多
关键词 CCD 轮对检测 图像处理 模式识别 测量误差
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像差修正拼接法测量非球面精度的评定 被引量:1
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作者 乔玉晶 吕宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期519-524,共6页
针对用子孔径干涉像差修正拼接法测量非球面的拼接精度问题,提出了一种基于t分布统计的拼接精度分析评定方法。根据测量原理及拼接模型特点,利用残差分析对模型进行回归诊断,使用因变量预测算法和t分布统计模型对拼接精度进行估计与分... 针对用子孔径干涉像差修正拼接法测量非球面的拼接精度问题,提出了一种基于t分布统计的拼接精度分析评定方法。根据测量原理及拼接模型特点,利用残差分析对模型进行回归诊断,使用因变量预测算法和t分布统计模型对拼接精度进行估计与分析。实验结果显示:按t分布评定拼接结果的扩展不确定度为0.3623λ(0.229μm),而常规的系统误差检验方法评定拼接结果的扩展不确定度为0.234μm,两种方法结果基本一致,表明基于t分布统计的方法在保证评定结果准确度的前提下,克服了比较分析法的不确定性,解决了正态分布统计法中置信系数k不能反映子样标准差可靠性对置信概率的影响问题。 展开更多
关键词 拼接测量 拼接精度 精度评定 T分布 像差修正
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高精度钢轨三维廓形检测系统研究 被引量:2
13
作者 周振栋 杨海马 +3 位作者 刘瑾 张大伟 杨玉团 闵华 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第10期29-32,共4页
为快速、准确地检测钢轨廓形,提出了一种基于高精度激光轮廓仪的智能钢轨廓形测量系统。根据钢轨建立世界坐标系,构建钢轨廓形测量模型。采用4套高精度三维激光轮廓仪对轨身全面扫描,获取钢轨的4条轮廓线,并进行坐标系的旋转和拼接得到... 为快速、准确地检测钢轨廓形,提出了一种基于高精度激光轮廓仪的智能钢轨廓形测量系统。根据钢轨建立世界坐标系,构建钢轨廓形测量模型。采用4套高精度三维激光轮廓仪对轨身全面扫描,获取钢轨的4条轮廓线,并进行坐标系的旋转和拼接得到钢轨的真实轮廓,完成对外形尺寸及特征参数的测量和计算。经现场测试,钢轨高度、轨头宽度、轨底宽度和人工测量相比,重复误差分别在0.015~0.027 mm,0.023~0.076 mm,0.036~0.071 mm之间,绝对误差分别在0.012~0.032 mm,0.02~0.07 mm,0.01~0.12 mm之间。证明该系统可以高效、稳定地完成钢轨外形尺寸的检测工作,提高了测量速度和精度。 展开更多
关键词 钢轨轮廓 激光轮廓仪 轮廓拼接 廓形测量 模型构建
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利用图像拼接实现微结构的大视场测量 被引量:2
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作者 陈至坤 郭蕊 +2 位作者 张博伦 曾凯 王福斌 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第3期7-11,共5页
为实现基于图像的飞秒激光烧蚀硅晶片光斑阵列的完整测量,对采集的多幅光斑阵列图像拼接,得到完整的飞秒激光烧蚀光斑阵列图像。首先,对飞秒激光烧蚀光斑图像进行增强处理,对光斑进行方形拟合提取中心点,获取每两个中心点间的像素值,运... 为实现基于图像的飞秒激光烧蚀硅晶片光斑阵列的完整测量,对采集的多幅光斑阵列图像拼接,得到完整的飞秒激光烧蚀光斑阵列图像。首先,对飞秒激光烧蚀光斑图像进行增强处理,对光斑进行方形拟合提取中心点,获取每两个中心点间的像素值,运用线纹对微视觉测量系统标定,获得像素尺寸与几何尺寸之间的比例系数,根据比例系数对像素尺寸与几何尺寸进行换算,得到对光斑阵列的视觉测量值;最后,用拼接后的光斑阵列进行图像测量,得到测量尺寸与实际尺寸间的误差平均值为3.00%。经实验验证,利用图像拼接对微视觉系统大视场微结构进行图像测量是可行的。 展开更多
关键词 图像拼接 方形拟合 图像测量 微结构
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In-situ stitching interferometric test system for large piano optics
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作者 Xin Wu Ying-Jie yu +1 位作者 Ke-Bing Mou Wei-Rong Wang 《Advances in Manufacturing》 SCIE CAS CSCD 2018年第2期195-203,共9页
In-situ testing is an ideal technology for improv- ing the precision and efficiency of fabrication. We developed an in-situ subaperture stitching interferometric test system for large piano optics in the workshop envi... In-situ testing is an ideal technology for improv- ing the precision and efficiency of fabrication. We developed an in-situ subaperture stitching interferometric test system for large piano optics in the workshop environment with high precision and satisfactory repeatability. In this paper, we provide a brief account of this system and the principle ofin- situ subaperture stitching measurement. Several validation tests are presented, which demonstrate that the developed system is capable of realizing in-situ testing. The size of optical flats can be measured is up to 420 mm×780 mm, and repeatability is smaller than 0.03λ. The paper also dis- cusses the necessary requirements for a suitable workshop environment for ensuring that the tests are stable and reliable. 展开更多
关键词 In-situ measurement Subaperture stitching Dynamic interferometry Large plano optics
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基于SURF和改进CSS的弧形槽几何尺寸视觉检测算法研究 被引量:1
16
作者 李阳 陆永华 张翔 《机械制造与自动化》 2019年第6期145-149,共5页
针对汽车儿童安全座椅弧形槽内部结构复杂、几何尺寸不易测量的问题,提出一种基于SURF算法和CSS算法的弧形槽几何尺寸视觉检测算法。首先,双目相机倾斜拍摄弧形槽图像,检测弧形槽图像SURF特征并提取优质匹配集合实现图像配准,以渐入渐... 针对汽车儿童安全座椅弧形槽内部结构复杂、几何尺寸不易测量的问题,提出一种基于SURF算法和CSS算法的弧形槽几何尺寸视觉检测算法。首先,双目相机倾斜拍摄弧形槽图像,检测弧形槽图像SURF特征并提取优质匹配集合实现图像配准,以渐入渐出法融合弧形槽图像。然后,采用基于改进CSS算法对弧形槽轮廓曲线进行角点检测,利用角点分割弧段进行弧形槽尺寸检测。实验结果表明,所提出的方法实现了弧形槽宽度和长度参数测量,宽度值测量误差<2%,长度值测量误差<1%,SURF图像拼接算法平均处理时间2.50 ms,改进CSS角点检测算法平均处理时间0.30 ms,满足弧形槽检测的实时性和精度要求。 展开更多
关键词 弧形槽 加速鲁棒性特征 曲率尺度空间 图像拼接 角点检测 视觉检测
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图像拼接技术在大尺寸物体测量中的应用 被引量:1
17
作者 吴黎明 蔡文 《自动化与信息工程》 2014年第6期36-39,共4页
研究利用图像拼接技术把几张有重叠部分的图像拼接成一幅大视角高分辨率图像,应用于大尺寸物体的图像还原。试验几种拼接算法,得到算法运行时间和算法获得的物体特征数目等参数作为算法优劣评价标准。实验表明:对同一幅图像,FAST角点检... 研究利用图像拼接技术把几张有重叠部分的图像拼接成一幅大视角高分辨率图像,应用于大尺寸物体的图像还原。试验几种拼接算法,得到算法运行时间和算法获得的物体特征数目等参数作为算法优劣评价标准。实验表明:对同一幅图像,FAST角点检测算法在31.2967 ms内检测到159个特征点,相比于其他检测算法,具有更快的运行时间和更高的检测精度。 展开更多
关键词 图像拼接 角点检测 尺寸测量
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数字散斑干涉形变测量中基于多CCD的相位拼接
18
作者 隆军 蔡萍 +2 位作者 潘淑媛 刘持越 闫浩 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期240-247,共8页
在数字散斑干涉测量中,对于给定尺寸的CCD,很难在不影响形变测量横向分辨率的情况下扩大视野。针对该问题,提出了一种在不影响横向分辨率的情况下拼接多个子图像相位以扩大视野的方法。设计并搭建了一套多CCD实验装置来获取多个子图像... 在数字散斑干涉测量中,对于给定尺寸的CCD,很难在不影响形变测量横向分辨率的情况下扩大视野。针对该问题,提出了一种在不影响横向分辨率的情况下拼接多个子图像相位以扩大视野的方法。设计并搭建了一套多CCD实验装置来获取多个子图像。利用重叠区域解包裹后的相位图估计相邻子图像之间的相对位置并补偿相位偏差,实现正确的相位拼接。为了使用尽可能少的CCD获得尽可能大的视野,分析了重叠区域大小对拼接效果的影响。权衡视野和精度,重叠区域的最佳尺寸约为10%。所提方法在只使用两个CCD的条件下实现了视野从5.5 cm×4 cm扩大到10 cm×4 cm。拼接前后重叠区域的最大相对误差小于1%,证明了该方法的有效性。此外,还比较了所提方法与单CCD的形变测量均方根误差(RMSE)。结果表明,提出的方法具有与单CCD形变测量接近的测量精度。 展开更多
关键词 数字散斑干涉 相位拼接 相位偏差 形变测量 多CCD
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数字散斑干涉图像拼接方法研究
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作者 潘淑媛 蔡萍 隆军 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第1期117-122,共6页
散斑干涉测量系统的视场大小和量程受成像器件尺寸的限制。为了扩大视场和形变测量范围,对散斑干涉形变测量的图像拼接方法展开深入研究。搭建了双CCD散斑干涉测量光路,通过对两个CCD获取的散斑干涉图的拼接实现大视场形变测量。对互相... 散斑干涉测量系统的视场大小和量程受成像器件尺寸的限制。为了扩大视场和形变测量范围,对散斑干涉形变测量的图像拼接方法展开深入研究。搭建了双CCD散斑干涉测量光路,通过对两个CCD获取的散斑干涉图的拼接实现大视场形变测量。对互相关、差方和和互信息法以及归一化改进的配准算法进行了研究,并分析了重叠面积的影响。结果表明,互相关法无法配准,差方和法的配准精度相对其他方法稍低,其余算法则配准精度相同;数字散斑干涉图像拼接仅要求很小比例的重叠面积,当重叠系数大于1.5%时,都能获得比较一致的配准精度。 展开更多
关键词 数字散斑干涉 图像拼接 多CCD 配准算法 重叠面积 形变测量
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子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法 被引量:11
20
作者 汪利华 吴时彬 +2 位作者 任戈 谭毅 杨伟 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期113-118,共6页
为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子... 为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接,根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数,得到被检全孔径波前,完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性,在机械平移定位精度为1mm和转动角定位精度为0.5°时,用该算法实验检测口径为200mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠,能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差,从而可放宽对机械定位精度的要求。 展开更多
关键词 子孔径拼接 定位补偿 光学波前 光学测量
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