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集成电路老炼试验条件分析及优化 被引量:2
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作者 高会壮 王长鑫 +2 位作者 陈波 张虹 徐志阳 《现代电子技术》 2023年第18期57-60,共4页
主要从元器件老炼试验入手,依据寿命分布和反应速率理论,分析元器件老炼试验的原理和目的,并重点基于目前相关标准及研究成果,分析老炼试验条件的设置要素。结合目前国内外元器件整体质量水平及激活能的现状,分析各自标准条件下老炼试... 主要从元器件老炼试验入手,依据寿命分布和反应速率理论,分析元器件老炼试验的原理和目的,并重点基于目前相关标准及研究成果,分析老炼试验条件的设置要素。结合目前国内外元器件整体质量水平及激活能的现状,分析各自标准条件下老炼试验时间的优化途径及参考结果。从理论依据和实际操作方法出发,对典型国内外集成电路老炼试验条件进行分析。以元器件稳态寿命试验结果为特征寿命值参考,论证确定老炼试验条件的方法。分析得出:在125℃条件下,激活能为0.6 eV的器件老炼时间可控制在96 h之内;激活能取0.55 eV,则老炼时间在149 h之内。另外,对目前国内相关标准规范进行研究,针对现行试验条件提出优化方法。 展开更多
关键词 老炼试验 集成电路 元器件 稳态寿命试验 激活能 老炼时间 特征寿命
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