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题名飞秒激光光斑灰度与几何特征的相关性分析
被引量：3
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作者
王福斌
孙志林
王尚政
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机构
华北理工大学电气工程学院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第5期1108-1116,共9页
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文摘
飞秒激光烧蚀单晶硅的加工过程中,CCD相机采集的光斑图像中有效灰度区域与背景难以区分。为了解决这一问题,提出一种主成分分析与限制对比度自适应直方图均衡化相结合的方法,对光斑图像进行增强处理,再提出去趋势互相关分析法对光斑序列图像的灰度特征与几何特征进行长程相关性分析。结果表明,光斑序列图像的灰度特征与光斑纹理对比度、光斑面积具有较强的长程相关性,与纹理同质性表现出较强的反相关关系,可根据这3项与灰度特征较强的相关关系对后续微槽加工过程中的灰度特征进行预测。
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关键词
飞秒激光
等离子体光斑
相关性分析
光斑灰度
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Keywords
femtosecond laser
plasma spot
correlation analysis
spot gray
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TP391.4
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名飞秒激光烧蚀光斑灰度特征的小波处理与分析
被引量：2
- 2
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作者
王福斌
孙志林
王尚政
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机构
华北理工大学电气工程学院
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2020年第18期410-418,共9页
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基金
高端钢铁联合研究基金(F2019209323)。
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文摘
对等离子体光斑的灰度特征进行分析。首先,在HSL彩色空间上对原光斑图像的L分量进行主成分提取并结合掩模处理,得到具有高信噪比的有效灰度图。对处理前后单个光斑图像的平均灰度曲线进行分析,发现原光斑图像的灰度曲线包含许多毛刺,而经处理后的曲线更为平滑。其次,对光斑序列样本图像的灰度特征进行提取,发现光斑序列图像的灰度随飞秒激光束往复烧蚀运动呈周期性变化。然后,采用分形插值与小波变换相结合的方法对光斑序列图像的平均灰度特征曲线进行处理,该方法不仅清晰地保留了平均灰度特征曲线的细节信息,而且使该曲线变得更为平滑。最后,对光斑灰度特征与烧蚀加工功率、加工平台运动之间的相关性进行分析,发现之间存在极强的相关性,这对利用光斑灰度指标调节激光功率和反馈微结构的加工深度提供了有意义的依据。
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关键词
超快光学
飞秒激光
等离子体光斑
小波处理
光斑灰度
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Keywords
ultrafast optics
femtosecond laser
plasma spot
wavelet processing
spot gray
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TP391.4
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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