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题名基体对金刚石厚膜质量的影响研究
被引量：2
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作者
湛玉龙
马志斌
翁国峰
吴建鹏
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机构
武汉工程大学材料科学与工程学院
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2011年第5期5-9,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(10875093)
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文摘
采用MPCVD法在钼基体上制备金刚石厚膜,测量了等离子体发射光谱,并利用XPS、Raman和SEM对金刚石厚膜进行表征。研究了Mo原子进入金刚石中的机制及其对金刚石厚膜的影响。结果表明:除了热扩散,Mo原子还会以蒸发进入等离子体的方式进入金刚石。金刚石中的Mo原子是以Mo+4、Mo+6以及介于Mo+4-Mo+6之间的化合态存在。在沿成核面到生长面的方向上,sp2C的含量会逐渐减小;成核面的内应力表现为较小的拉应力,随着生长进入连续膜生长阶段,内应力转变为压应力并随膜厚度增加压应力大小逐渐降低,在距离成核面30μm左右处,内应力转变为拉应力,且随着膜厚度进一步增加而缓慢增大。
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关键词
金刚石厚膜
内应力
sp2c含量
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Keywords
diamond thick film
internal stress
sp2c content
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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