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XPS表征类金刚石膜探讨
被引量：
9
1
作者
覃礼钊
张旭
吴正龙
《现代仪器》
2005年第6期18-20,共3页
介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好。
关键词
类金刚石
^
sp
^
3
组分
^
sp
^2
组分
XPS
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职称材料
题名
XPS表征类金刚石膜探讨
被引量：
9
1
作者
覃礼钊
张旭
吴正龙
机构
北京师范大学分析测试中心
北京师范大学低能核物理研究所
出处
《现代仪器》
2005年第6期18-20,共3页
文摘
介绍X射线光电子能谱(XPS)分析类金刚石(DLC)膜的原理与方法,探讨分峰拟合计算时参量设定对分析结果的影响,改进拟合方法,拟合结果更准确,结果的一致性好。
关键词
类金刚石
^
sp
^
3
组分
^
sp
^2
组分
XPS
Keywords
^
Diamond-like carbon film
sp
^
3
component
sp
^2 component XPS
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TQ171.719 [理学—物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
XPS表征类金刚石膜探讨
覃礼钊
张旭
吴正龙
《现代仪器》
2005
9
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