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基于反馈调试法的锗非球面元件加工技术试验研究
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作者 李季 薛常喜 《工程与试验》 2018年第1期57-61,共5页
使用单点金刚石车床对晶体锗试验件进行车削制造非球面红外透镜,运用反馈调试的方法校正了加工生产中所产生的面形误差,并使用Bruke X3白光干涉仪和Form Talysurf PGI 1240机械触针式轮廓仪对所加工的试验件所能达到的表面面形精度进行... 使用单点金刚石车床对晶体锗试验件进行车削制造非球面红外透镜,运用反馈调试的方法校正了加工生产中所产生的面形误差,并使用Bruke X3白光干涉仪和Form Talysurf PGI 1240机械触针式轮廓仪对所加工的试验件所能达到的表面面形精度进行测试,证实此方法可达到所要求的加工精度。 展开更多
关键词 超精密加工 单晶锗非球面透镜 晶体光学元件 光学检测
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