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三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制
被引量：
1
1
作者
阳红
刘有海
+4 位作者
张敏
陈东生
戴晓静
宋颖慧
肖虹
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2020年第2期158-160,共3页
文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm...
文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm铝合金凸球面面形PV值达0.24μm,表面粗糙度Sa值达3.5nm,表明了机床具有较好的运动精度和加工性能。
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关键词
超精密
静压支承
单点金刚石车床
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职称材料
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
被引量：
3
2
作者
黄元申
董成成
+5 位作者
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期946-951,共6页
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价...
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。
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关键词
中阶梯光栅
超精密单点金刚石车床
直线度
衍射波前
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职称材料
题名
三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制
被引量：
1
1
作者
阳红
刘有海
张敏
陈东生
戴晓静
宋颖慧
肖虹
机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2020年第2期158-160,共3页
基金
国家自然科学基金(51305413)
高档数控机床国家科技重大专项(2017ZX04022001-201-003)
中物院超精密加工技术重点实验室基金(K1128)
文摘
文章介绍了基于静压支承技术自主研制的三轴超精密单点金刚石车床SGDT350。机床采用模块化设计,构建了开放式控制体系,成功实现了机床的高精度运动。经实测机床主轴回转跳动≤50nm,导轨直线度允差≤0.3μm/250mm,加工φ75mm口径SR250mm铝合金凸球面面形PV值达0.24μm,表面粗糙度Sa值达3.5nm,表明了机床具有较好的运动精度和加工性能。
关键词
超精密
静压支承
单点金刚石车床
Keywords
ultra-precision
hydrostatical
bearing
single
diamond
lathe
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TG65 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
被引量：
3
2
作者
黄元申
董成成
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
机构
教育部光学仪器与系统工程研究中心
上海市现代光学系统重点实验室
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期946-951,共6页
基金
国家自然科学基金项目(61378060.61205156)
上海市科学仪器重点项目(14142200902)资助
文摘
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价格昂贵。使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅,可以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本。超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时,系统直线度不好,存在较大的累积误差,导致中阶梯光栅衍射波前较差,达不到制备要求。为了减小超精密单点金刚石车床固有的直线度误差,对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿。首先,以累积误差曲线为依据进行第一次补偿。实验结果表明,当补偿系数为0.75~0.85时,此时衍射波前的PV(峰谷值)值在约400 nm,一次直线度补偿效果到达极限。然后,以闪耀级的衍射波前曲线为依据进行第二次直线度补偿,二次补偿后的衍射波前PV值为约83 nm。补偿后的结果表明衍射波前得到大幅改善,有利于提高所制备光栅的质量,在光栅实际刻划中具有指导作用。
关键词
中阶梯光栅
超精密单点金刚石车床
直线度
衍射波前
Keywords
Echelle
grating
Ultra
precision
single
point
diamond
lathe
Straightness
Diffraction
wave
front
分类号
O433.4 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三轴超精密单点金刚石车床SGDT350研制
阳红
刘有海
张敏
陈东生
戴晓静
宋颖慧
肖虹
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2020
1
下载PDF
职称材料
2
光栅刻划机直线度误差补偿的研究
黄元申
董成成
黄运柏
盛斌
周红艳
孙乐
杨海马
张大伟
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
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统计分析
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