期刊文献+
共找到37篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
满足自锐效应的AFM探针针尖加工 被引量:6
1
作者 刘芳 赵钢 +1 位作者 吴亚雷 褚家如 《微细加工技术》 EI 2006年第6期52-57,62,共7页
根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效... 根据各向异性湿法刻蚀针尖的自锐效应模型和晶面交点模型,设计了AFM探针针尖加工工艺流程,并进行了针尖加工实验。通过分析实验结果并结合晶面交点模型,分别得到了针尖形状与蚀液浓度、刻蚀液温度、添加剂、掩模方向的关系。结合自锐效应模型,得到了(100)硅片刻蚀针尖自锐条件。最后对工艺参数进行了优化,采用15 mol/L的KOH溶液,在70℃,并且方形掩模边缘平行于<110>方向,可以得到满足自锐效应的、重复率高、表面粗糙度小、高宽比为1.56的单晶硅针尖。 展开更多
关键词 AFM 单晶硅 针尖 各向异性
下载PDF
单晶硅制绒的实验研究 被引量:7
2
作者 王兴普 段良飞 +4 位作者 廖承菌 杨雯 李学铭 廖华 杨培志 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期242-246,共5页
为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验... 为制备具有理想金字塔织构表面的单晶硅,采用原硅片、碱体系抛光硅片、酸体系抛光硅片分别在氢氧化钠/硅酸钠/异丙醇(NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA)体系、NaOH/IPA体系、碳酸钠/碳酸氢钠(Na2CO3/NaHCO3)体系下对单晶硅表面织构进行实验研究。利用智能型数字显微镜对表面形貌进行观察,利用紫外-可见-近红外分光光度计测量反射光谱。结果表明:酸体系抛光硅片的表面较为平整,再通过NaOH/Na2SiO3·9H2O/IPA体系制备的金字塔绒面结构完整、排布紧密、大小一致,且具有较低的反射率。 展开更多
关键词 单晶硅 抛光 各向异性 绒面
下载PDF
单晶硅表面周期性微结构的减反射特性及光伏特性 被引量:6
3
作者 程轲 王书杰 +3 位作者 付冬伟 丁万勇 邹炳锁 杜祖亮 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1647-1650,共4页
利用聚苯乙烯胶体球自组装技术和纳米压印技术在单晶硅表面构筑了两种周期性微结构.反射光谱表明,两种周期性微结构都能够对特定波长的入射光有一定的减反射效果;表面光电压谱和吸收光谱相对应,在具有减反射效果的波长范围内观察到了表... 利用聚苯乙烯胶体球自组装技术和纳米压印技术在单晶硅表面构筑了两种周期性微结构.反射光谱表明,两种周期性微结构都能够对特定波长的入射光有一定的减反射效果;表面光电压谱和吸收光谱相对应,在具有减反射效果的波长范围内观察到了表面光电压增强的现象,说明这种表面构筑微结构的技术可以有效地利用在单晶硅太阳能电池的制造和设计上,从而提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率.对这种周期性微结构的减反射机理进行了初步探讨. 展开更多
关键词 单晶硅 微结构 减反射 光伏特性
下载PDF
微细塑性铣削单晶硅实验研究 被引量:5
4
作者 程祥 高斌 +2 位作者 杨先海 刘军营 田忠强 《山东理工大学学报(自然科学版)》 CAS 2012年第4期53-55,60,共4页
为了深入探讨塑性铣削单晶硅的切削机理,对单晶硅进行了微细铣削实验研究.结果表明,合理地设定铣削参数与保证特定的铣削环境都很重要,在这个前提下,可以实现塑性切削,在单晶硅上获得具有完整几何外形的特征,同时表面质量可以达到单纳... 为了深入探讨塑性铣削单晶硅的切削机理,对单晶硅进行了微细铣削实验研究.结果表明,合理地设定铣削参数与保证特定的铣削环境都很重要,在这个前提下,可以实现塑性切削,在单晶硅上获得具有完整几何外形的特征,同时表面质量可以达到单纳米级别. 展开更多
关键词 微细加工 微细铣削 塑性切削 单晶硅
下载PDF
飞秒激光制备梯度润湿性单晶硅表面 被引量:3
5
作者 杨奇彪 卞若男 +2 位作者 王杰 周维 刘顿 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期175-180,共6页
针对化学气相沉积、自组装技术等表面制备方法存在化学污染、表面结合强度低等问题,运用飞秒激光在单晶硅表面加工正方形微凹坑阵列制备梯度润湿性表面,使用白光干涉仪、扫描电子显微镜、能谱仪和接触角测量仪分别测量单晶硅表面粗糙度... 针对化学气相沉积、自组装技术等表面制备方法存在化学污染、表面结合强度低等问题,运用飞秒激光在单晶硅表面加工正方形微凹坑阵列制备梯度润湿性表面,使用白光干涉仪、扫描电子显微镜、能谱仪和接触角测量仪分别测量单晶硅表面粗糙度、微观形貌、化学成分及接触角。通过改变激光能量密度制备不同梯度润湿性表面,研究不同激光能量密度下液滴在梯度润湿性表面上的铺展规律。结果表明:随激光能量密度增大,表面粗糙度参数算术平均高度、均方根斜率和界面扩展面积比整体呈增大趋势,表面接触角整体呈减小趋势。由于激光能量密度增大导致的单晶硅表面平行微凹槽、重凝层及不规则微纳结构使均方根斜率、界面扩展面积比及表面接触角出现波动。液滴在梯度润湿性表面定向铺展分为加速与减速两个阶段,减速阶段速度伴随明显波动现象,小体积液滴的铺展速度更快。实现了飞秒激光高精度、非接触、过程可控的梯度润湿性表面制备,结果可为制备单晶硅微流控器件提供理论参考。 展开更多
关键词 飞秒激光 单晶硅 梯度润湿性 接触角
下载PDF
室温下单晶硅显微压痕表面位错组态的TEM观察
6
作者 张琼 蔡传荣 周海芳 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第2期55-57,共3页
采用透射电镜 (TEM )定位观察了室温单晶硅显微压痕表面的微观信息 .发现了为数不少的位错圈、堆垛层错、扩展位错及压杆位错、位错偶等多种组态 .尽管产生的原因各异 ,但均为最终的低能稳定组态 .位错的存在和运动表明常温下单晶硅的... 采用透射电镜 (TEM )定位观察了室温单晶硅显微压痕表面的微观信息 .发现了为数不少的位错圈、堆垛层错、扩展位错及压杆位错、位错偶等多种组态 .尽管产生的原因各异 ,但均为最终的低能稳定组态 .位错的存在和运动表明常温下单晶硅的压痕缺口附近产生塑性变形 . 展开更多
关键词 单晶硅 塑性变形 显微压痕 微观位错组态 透射电镜 位错圈 扩展位错 压杆位错
原文传递
高能氩离子辐照硅产生的缺陷研究 被引量:1
7
作者 朱智勇 侯明东 +4 位作者 金运范 李长林 刘昌龙 张崇宏 孙友梅 《高能物理与核物理》 CSCD 北大核心 1999年第12期1248-1252,共5页
在室温下750MeV氩离子对本征单晶硅进行辐照,通过用正电子湮没寿命测量技术、电子顺磁共振技术以及红外光吸收方法研究了辐照产生的缺陷.结果表明:电中性双空位是辐照产生的主要空位团;在4.3×1014ions/cm... 在室温下750MeV氩离子对本征单晶硅进行辐照,通过用正电子湮没寿命测量技术、电子顺磁共振技术以及红外光吸收方法研究了辐照产生的缺陷.结果表明:电中性双空位是辐照产生的主要空位团;在4.3×1014ions/cm2的高剂量下未见样品发生非晶化转变;虽然在离子射程末端双空位的浓度随剂量的增加而显著增大,但在以电离激发过程为主要能损方式的区域里双空位的浓度基本不变.据此可以认为,电子能损过程对辐照产生的缺陷有退人作用. 展开更多
关键词 单晶硅 离子辐照 正电子湮没寿命 电子顺磁共振
原文传递
Study of Quantitative and Qualitative Characteristics of Nickel Clusters and Semiconductor Structures
8
作者 Elyor Bahriddinovich Saitov 《Journal of Materials Science and Chemical Engineering》 2016年第5期30-35,共6页
The possibility of building of clusters of impurity atoms of Ni in silicon and controlling their parameters is currently investigated in the present research article. Our group develops a special technique for doping,... The possibility of building of clusters of impurity atoms of Ni in silicon and controlling their parameters is currently investigated in the present research article. Our group develops a special technique for doping, the so-called “low-temperature doping” of semiconductors. This method of doping is based upon the diffusion process which is carried out in stages by gradually increasing temperature ranging from room temperature to the diffusion temperature. 展开更多
关键词 single crystalline silicon Nanoscale Structures Self-Organization of Clusters of Impurity Atoms Ni Clusters
下载PDF
Low-temperature synthesis of SiC nanowires with Ni catalyst
9
作者 Wei-Li Xie Xiao-Dong Zhang +5 位作者 Wen-Hui Liu Qi Xie Guang-Wu Wen Xiao-Xiao Huang Jian-Dong Zhu Fei-Xiang Ma 《Rare Metals》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第3期206-209,共4页
SiC nano wires were fabricated on the silicon substrate dipped with a layer of Ni catalyst at 900 ℃ by gas pressure annealing processing. The morphologies and crystal structures were determined by scanning electron m... SiC nano wires were fabricated on the silicon substrate dipped with a layer of Ni catalyst at 900 ℃ by gas pressure annealing processing. The morphologies and crystal structures were determined by scanning electron microscopy(SEM), transmission electron microscopy(TEM)and X-ray diffraction(XRD). The results show that the assynthesized nanowires are β-SiC single crystalline with diameter range of 50-100 nm, and length of tens of micron by directly annealing at 900 ℃. The SiC nano wires grow along the [111] direction with highly uniform morphology. And the possible growth mechanism of SiC nano wires is proposed.The present work provides an efficient strategy for the production of high-quality SiC nano wires. 展开更多
关键词 SIC NANOWIRES single crystalline silicon Ni CATALYST GROWTH mechanism
原文传递
单晶硅空间光调制器
10
作者 高教波 叶克飞 +1 位作者 李静 冯曰友 《应用光学》 CAS CSCD 1997年第3期46-48,共3页
详细介绍快速响应单晶硅空间光调制器件的结构、工作机理、制作工艺、性能参数。空间光调制器的极限分辨率为401p/mm,口径为40mm,在930mm(△λ=40nm)写入光灵敏度为20μW/cm2,响应时间为15ms。给出该器件的应用实例。
关键词 空间光调制器 液晶光阀 单晶硅
下载PDF
碳离子注入对硅片微动磨损性能的影响 被引量:1
11
作者 沈燕 张德坤 +1 位作者 程慧茹 王大刚 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期12-15,19,共5页
对单晶硅片〈111〉进行了注入剂量为2×10^(16) ions·cm^(-2)、注入能量分别为60 keV和80 keV的碳离子注入,采用X射线衍射仪研究了碳离子注入前后硅片晶体结构的变化,采用UMT-2型微动摩擦试验机进行了微动摩擦磨损试验,采用超... 对单晶硅片〈111〉进行了注入剂量为2×10^(16) ions·cm^(-2)、注入能量分别为60 keV和80 keV的碳离子注入,采用X射线衍射仪研究了碳离子注入前后硅片晶体结构的变化,采用UMT-2型微动摩擦试验机进行了微动摩擦磨损试验,采用超高精度三维形貌仪测量了硅片的磨痕深度,采用S-3000N型扫描电子显微镜分析了硅片的磨损形貌及磨损机理。结果表明:碳离子注入改变了硅片的晶体结构,使晶体无序化;硅片的摩擦因数和磨痕深度均随着载荷、微动振幅的增加而增大;碳离子注入后硅片的减摩效果和抗磨性能得到明显改善,当载荷达到一定值后,随着时间的延长,碳离子注入层逐渐被磨破,摩擦因数迅速增大;注入能量为60 keV硅片的减摩抗磨性能较好;碳离子注入前后硅片的磨痕均呈椭圆形,注入后磨痕面积小且表面损伤程度较轻,磨损机制以磨粒磨损为主。 展开更多
关键词 单晶硅 离子注入 微动磨损 摩擦因数
下载PDF
非晶SiO2团簇与单晶硅基底微观接触的分子动力学模拟
12
作者 陈爱莲 隆界龙 陈杨 《常州大学学报(自然科学版)》 CAS 2020年第5期1-7,共7页
通过分子动力学研究化学机械抛光过程中非晶SiO 2团簇与单晶硅的微观接触行为,采用Tersoff势函数模拟了SiO 2/Si之间的内部和表面交互作用。在考虑存在微观尺度黏着力及抛光垫的弹塑性变形的条件下,着重考察非晶SiO 2与单晶硅的微观接... 通过分子动力学研究化学机械抛光过程中非晶SiO 2团簇与单晶硅的微观接触行为,采用Tersoff势函数模拟了SiO 2/Si之间的内部和表面交互作用。在考虑存在微观尺度黏着力及抛光垫的弹塑性变形的条件下,着重考察非晶SiO 2与单晶硅的微观接触与黏着分离过程。通过分析所得载荷-深度关系曲线,表明SiO 2团簇与单晶硅基体之间的微观接触中存在弹塑性变形。采用配位数(CN)和径向分布函数(RDF)分析单晶硅基底的相变过程,解释Si-I→Si-III→BCT5→Si-II的相变路径。进一步发现,微观接触中的相变区域随接触深度的增加而变大,但因非晶SiO 2中氧原子的影响使得相变区域的界限不清晰,且相变原子β-Si的数量占优。 展开更多
关键词 分子动力学模拟 非晶氧化硅 单晶硅 相变 化学机械抛光
下载PDF
氧化硅团簇切削单晶硅粗糙峰的分子动力学模拟研究
13
作者 司丽娜 郭丹 雒建斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第16期475-481,共7页
应用分子动力学模拟方法研究了氧化硅团簇在不同的切削深度下切削单晶硅粗糙峰的过程,考察了切削过程中粗糙峰和氧化硅团簇形态变化、团簇的受力状况、粗糙峰原子配位数和温度分布等.模拟结果表明:切削深度小于0.5 nm时,被去除的材料以... 应用分子动力学模拟方法研究了氧化硅团簇在不同的切削深度下切削单晶硅粗糙峰的过程,考察了切削过程中粗糙峰和氧化硅团簇形态变化、团簇的受力状况、粗糙峰原子配位数和温度分布等.模拟结果表明:切削深度小于0.5 nm时,被去除的材料以原子或者原子簇形式存在,并黏附在颗粒表面被带走;当切削深度增大至1 nm,材料的去除率增大,并形成大的切屑.在切削过程中,由于压力和温度的升高,粗糙峰切削区域的单晶硅转变为类似Si-Ⅱ相和Bct5-Si相的过渡结构,在切削过程后的卸载阶段,过渡结构由于压力和温度的下降转变为非晶态结构. 展开更多
关键词 单晶硅 分子动力学模拟 非晶相变 超精密加工
原文传递
硅单晶中非平衡载流子寿命与注入水平的关系研究
14
作者 高英 孙燕 +4 位作者 王昕 李俊生 田蕾 李兰兰 叶灿明 《计量科学与技术》 2021年第8期66-70,共5页
阐述了硅单晶中非平衡载流子寿命与注入水平的函数关系以及少子寿命与复合寿命的区别,通过变光强测量得到一组寿命与注入水平的实测数据,用拟合法求得少子寿命及复合寿命与注入水平的函数曲线,所得结果与S-R-H理论模型相符。根据理论与... 阐述了硅单晶中非平衡载流子寿命与注入水平的函数关系以及少子寿命与复合寿命的区别,通过变光强测量得到一组寿命与注入水平的实测数据,用拟合法求得少子寿命及复合寿命与注入水平的函数曲线,所得结果与S-R-H理论模型相符。根据理论与实验成果,提出改进寿命测试一致性的方案,同时为发行少子寿命标准样品奠定了基础。 展开更多
关键词 硅单晶 非平衡载流子寿命 注入水平 少子寿命
原文传递
低能C离子注入单晶硅机械和摩擦学性能
15
作者 孙佳 覃礼钊 +5 位作者 廖斌 吴晓玲 吴正龙 梁宏 林华 程南璞 《真空》 CAS 2013年第5期75-78,共4页
采用MEVVA源将低能量(40 keV)C离子注入单晶硅,用Raman光谱和SEM对试样进行了表征,用纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损试验机分别测试了试样硬度、弹性模量和摩擦因数。结果显示,低剂量下,试样硬度基本保持不变,而弹性模量增加;当C离子注入... 采用MEVVA源将低能量(40 keV)C离子注入单晶硅,用Raman光谱和SEM对试样进行了表征,用纳米压痕仪和球-盘式摩擦磨损试验机分别测试了试样硬度、弹性模量和摩擦因数。结果显示,低剂量下,试样硬度基本保持不变,而弹性模量增加;当C离子注入剂量为2×1016cm-2时,样品出现明显非晶化,硬度开始下降。注样表面摩擦因数升高,这是由于C离子注入引起的表面损伤所致。 展开更多
关键词 MEVVA源 C离子 单晶硅 微摩擦性能
下载PDF
纳米切削过程中刀-屑接触区应力分布 被引量:5
16
作者 吉春辉 刘战强 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第19期192-198,共7页
高速切削时刀屑接触区的应力分布直接影响切削过程、切削温度及刀具磨损。利用分子动力学技术对纳米切削过程中刀屑接触区的应力分布特征进行研究,分别采用EAM势、Tersoff势及Morse势计算单晶铜原子间、单晶硅原子间、工件原子与刀具原... 高速切削时刀屑接触区的应力分布直接影响切削过程、切削温度及刀具磨损。利用分子动力学技术对纳米切削过程中刀屑接触区的应力分布特征进行研究,分别采用EAM势、Tersoff势及Morse势计算单晶铜原子间、单晶硅原子间、工件原子与刀具原子间的相互作用力。分析纳米尺度下刀屑接触长度随切削距离变化的规律,探讨刀具前角对刀屑接触区应力分布的影响,通过描述刀屑接触区切屑原子的运动情况,为阐释刀屑接触区的应力分布特征提供依据。研究结果表明在刀-铜屑接触区,正应力在切削刃处最大,随着到切削刃距离的增大而减小,在刀-硅屑接触区,正应力以规则的波动形式逐渐减小。而切应力在切削刃处为负值,随着到切削刃距离的增大,切应力在刀屑接触长度的三分之二处增大到最大值后逐渐减小至零。 展开更多
关键词 单晶铜 单晶硅 纳米切削 应力分布
下载PDF
背电极花样对单晶硅太阳电池机械性能的影响 被引量:5
17
作者 李中兰 汪雷 +3 位作者 杨德仁 朱鑫 施易展 蒋维楠 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期225-228,共4页
用三点弯方法研究了3种不同背电极花样的单晶硅太阳电池前后主电极附近以及铝背场和细栅区域的机械性能,初步探讨了背电极花样对断裂强度的影响。研究表明:背电极花样对太阳电池的断裂强度有明显影响,通过改进背电极花样能够有效提高太... 用三点弯方法研究了3种不同背电极花样的单晶硅太阳电池前后主电极附近以及铝背场和细栅区域的机械性能,初步探讨了背电极花样对断裂强度的影响。研究表明:背电极花样对太阳电池的断裂强度有明显影响,通过改进背电极花样能够有效提高太阳电池的机械性能,降低其破碎率。 展开更多
关键词 单晶硅太阳电池 背电极花样 机械性能 三点弯
下载PDF
堆积硅料的阶跃分布孔隙率对准单晶铸锭过程籽晶熔化的影响
18
作者 孙英龙 郑丽丽 张辉 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第10期1745-1757,共13页
本文针对光伏太阳能用准单晶硅铸锭系统的硅料熔化过程进行了数值模拟研究,尤其是孔隙率阶跃分布的堆积硅料熔化过程对籽晶熔化的影响。研究结果表明:堆积硅料孔隙率呈轴向阶跃分布有利于降低籽晶的熔化比例;籽晶的熔化界面形状主要受... 本文针对光伏太阳能用准单晶硅铸锭系统的硅料熔化过程进行了数值模拟研究,尤其是孔隙率阶跃分布的堆积硅料熔化过程对籽晶熔化的影响。研究结果表明:堆积硅料孔隙率呈轴向阶跃分布有利于降低籽晶的熔化比例;籽晶的熔化界面形状主要受下层孔隙率影响,在特定的平均孔隙率范围内,上下两层孔隙率差异较小时,孔隙率的轴向阶跃分布对籽晶的熔化界面形状影响较小;当籽晶的熔化比例相近时,平均孔隙率越小,籽晶的熔化界面形状越平缓,越有利于籽晶边缘区域的保留;当平均孔隙率一定时,下层孔隙率越小越有利于籽晶边缘区域的保留。堆积硅料区域孔隙率呈径向阶跃分布会使籽晶的熔化界面形状发生畸变,内层孔隙率的逐渐增大会使籽晶的熔化界面形状由“凸”逐渐转变为“凹”,外层孔隙率不大于内层孔隙率时籽晶可以得到有效保留;内外两层孔隙率差值越小,籽晶的熔化比例越小。籽晶的熔化比例分布在不同轴向阶跃分布孔隙率下呈现一定的中心对称性,而在不同径向阶跃分布孔隙率下呈现一定的周期性,孔隙率均匀分布时的籽晶熔化界面形状优于其他情况。在实际工况条件下,可以根据由不同孔隙率分布条件下获取的籽晶熔化状态数据绘制的等值线图对堆积硅料区域的孔隙率分布进行合理配置。 展开更多
关键词 准单晶硅铸锭 阶跃分布孔隙率 籽晶熔化 堆积硅料 界面形状 熔化状态
下载PDF
准单晶硅铸锭过程中固液相变界面形状的控制 被引量:3
19
作者 孟庆超 张运锋 +3 位作者 刘磊 胡志岩 王全志 熊景峰 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1545-1549,共5页
对太阳电池用准单晶硅铸锭过程中的化料、长晶阶段进行数值模拟和实验对比分析,研究不同炉体局部结构下的种晶熔化界面形状和晶体生长界面形状,从传热学的角度揭示优化控制各阶段界面形状的机理。研究结果表明:在准单晶硅铸锭的熔化及... 对太阳电池用准单晶硅铸锭过程中的化料、长晶阶段进行数值模拟和实验对比分析,研究不同炉体局部结构下的种晶熔化界面形状和晶体生长界面形状,从传热学的角度揭示优化控制各阶段界面形状的机理。研究结果表明:在准单晶硅铸锭的熔化及长晶阶段,均可通过调整铸锭炉内局部挡板的位置改变热量的传输方向,从而在有效保存种晶的同时提供良好的初始长晶界面形状,减小长晶过程中坩埚壁面附近的界面凹度,抑制此处多晶向铸锭中部生长。 展开更多
关键词 准单晶硅铸锭 定向凝固 太阳电池 数值模拟 固液界面形状
下载PDF
单晶硅衬底对Si-Al合金中块体硅生长的影响
20
作者 张鸣 Benson Kihono Njuguna +1 位作者 谭毅 李佳艳 《热加工工艺》 北大核心 2022年第7期66-71,共6页
硅与合金熔体的分离及合金元素的回收再利用一直是限制Si-Al合金凝固精炼工艺进一步应用的关键问题。本文采用温度梯度区域熔炼方法在Si-Al合金中生长块体硅。通过在合金熔体的底部引入单晶硅衬底,研究单晶衬底对于块体硅生长的形貌及... 硅与合金熔体的分离及合金元素的回收再利用一直是限制Si-Al合金凝固精炼工艺进一步应用的关键问题。本文采用温度梯度区域熔炼方法在Si-Al合金中生长块体硅。通过在合金熔体的底部引入单晶硅衬底,研究单晶衬底对于块体硅生长的形貌及杂质分布的影响。结果表明,单晶硅衬底的添加降低了合金熔体的温度梯度,块体硅以平直界面向上生长,生长速率明显变慢。在温度梯度2.4 K/mm和生长时间240 min时,块体硅的生长速率由石墨坩埚上的0.108μm/s下降至Si(100)衬底上的0.075μm/s。在相同的温度梯度和生长时间内,块体硅在Si(100)衬底上的生长速率明显快于Si(111)衬底。单晶硅衬底在块体硅生长过程中起到籽晶的作用。 展开更多
关键词 Si-Al合金 单晶硅衬底 类单晶硅
下载PDF
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部